4″ 에피택시 실리콘 웨이퍼

4″ 에피택시 실리콘 웨이퍼

PAM XIAMEN offers 4″ Epitaxial Silicon Wafer. If necessary, we can do SRP (spreading resistance profile) test for you.

매개 변수 투기 단위
1 성장 방법 CZ  
2 직경 100+/-0.5 MM
3 유형 도펀트 P-붕소  
4 저항 0.002 – 0.003 옴-cm
5 저항 방사형 변화 <10 %
6 크리스탈 방향 <111> 4 +/- 0.5 정도
7 플랫 차 정위 두 가구 연립 주택 정도
길이 두 가구 연립 주택 MM
8 플랫 차 정위 두 가구 연립 주택 정도
길이 두 가구 연립 주택 MM
9 두께 525 +/- 25 μm의
10 TTV ≦10 μm의
11 ≤40 μm의
12 경사 ≤40 μm의
13 전면 우아한  
14 뒷면 에칭
5000 +/-10% 옹스톰 SiO2
15 표면 외관 흠집, 연무, 가장자리 칩, 오렌지 껍질, 결함, 오염 없음
16 에지 프로필 모서리 라운딩  
17 입자(>0.3μm) N / A 에이/와프
18
19 에피 레이어 1 N 포스
20 저항 3.8 – 5.2 옴 cm
21 두께 29.0 – 35.0
 
22 에피 레이어 2 N 포스
23 저항 0.0014 – 0.0026 옴 cm
24 두께 36.0 – 44.0

 

The SRP graph below shows the resistance and thickness of epilayers:

SRP of silicon epi layer

자세한 내용은 다음 주소로 이메일을 보내주십시오.sales@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com

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