LED 제조를 위한 GaN 파운드리 서비스

LED 제조를 위한 GaN 파운드리 서비스

PAM-XIAMEN은 제안할 수 있습니다LED 에피택시 웨이퍼GaN 파운드리 서비스 및 LED용 소모품을 제공할 수 있습니다. GaN 파운드리 서비스에는 OEM 성장 서비스, COW 프로세스 및 다양한 테스트 서비스가 포함됩니다. 구체적으로 다음과 같습니다.

질화 갈륨 웨이퍼

1. OEM 서비스 – 맞춤형 AlGaN 기반 박막 Epi 구조

우리는 2, 4 인치 DUV-LED 에피 택셜 웨이퍼 커스텀 서브를 공급합니다. 그리고 우리 GaN 파운드리의 GaN 에피택셜 웨이퍼의 파장은 265nm에서 280nm입니다.

또한 2&4인치 AlGaN 기반 에피택셜 LED 구조의 커스텀 서빙도 가능합니다. 여기서 AlGaN 에피층의 Al 조성은 0~100% 사이에서 조정 가능합니다.

2. GaN 칩 파운드리 서비스 – 청색, UVA 및 UVC LED 장치용 COW 공정

GaN 서비스: 포토리소그래피, 반응성 이온 에칭(GaN, AlN 및 AlGaN용), 반응성 이온 에칭(SiO2, Si3N4), PECVD(SiO2, Si3N4)를 포함한 청색, UVA 및 UVC LED 장치용 파운드리의 COW 프로세스 및 단일 OEM 서비스 ), 전자빔 증착(Au, Ni, Cr, Al, Ti), 전자빔 증착(ITO), 급속 어닐링, CMP(Thinning, Grinding, Polishing) 등

2.1 GaN LED용 포토리소그래피

4인치 이하의 GaN LED 웨이퍼에 대해 1μm 정밀 포토리소그래피를 수행할 수 있으며 고객의 요구에 따라 정밀하게 제어할 수 있습니다.

GaN 파운드리 서비스 - 포토리소그래피 장비

2.2 GaN 기반 LED Epi를 위한 유도 결합 플라즈마 에칭(ICP)

GaN, AlN 및 AlGaN 재료에 대한 패턴 에칭을 수행할 수 있습니다.

2.3 GaN 반도체 웨이퍼용 반응성 이온 에칭(RIE)

SiO2 및 SiNx 박막의 경우 GaN 웨이퍼에서 패턴 에칭이 수행됩니다.

2.4 GaN 에피웨이퍼용 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)

6인치 이하 웨이퍼의 경우 GaN 에피택시 표면에 균일하고 조밀하며 두께 제어가 가능한 SiO2 또는 SiNx 필름을 형성하기 위해 플라즈마 강화 화학 기상 증착이 수행됩니다.

2.5 GaN 에피택셜 웨이퍼 위의 전자빔 증발 코팅(E-Beam)

전자총에서 나오는 전자빔을 target에 쏘아 GaN 표면에 ITO 박막증착을 하고, 재질은 Au, Ni, Cr, Al, Ti 등

Ag 및 Pt와 같은 금속 박막의 증착.

2.6 GaN 박막의 RTA(Rapid Annealing)

귀하의 공정 요구 사항에 따라 당사의 급속 어닐링은 N2 및 O2와 같은 다양한 가스를 사용하여 다양한 공정에 맞출 수 있으며 다양한 가열 및 냉각 속도, 어닐링 온도 및 어닐링 시간을 설정하여 금속 전극을 합금 및 융합하여 전기적 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 제품.

3. GaN 테스트 서비스

우리는 아래와 같이 GaN 웨이퍼에 대한 테스트 서비스를 제공합니다.

3.1 반도체 박막 재료의 XRD 테스트

2-4인치 반도체 박막 재료의 서로 다른 결정면의 ω-스캔: 로킹 커브 테스트는 반전된 공간 이미징 원리를 사용하여 반전된 공간 매핑 측정을 실현하고 AlGaN과 같은 3원계 합금 재료의 구성 및 응력을 얻을 수 있습니다. 필름 두께 측정 기능도 있습니다.

GaN 파운드리 서비스 - XRD 장비

3.2 에피웨이퍼용 AFM 테스트

AFM 테스트에는 재료의 전류 채널을 조사할 수 있는 C-AFM 모듈이 장착된 재료의 표면 지형을 감지할 수 있는 태핑 및 접촉의 두 가지 모드가 있습니다. KPFM 기능을 사용하여 금속 재료의 일함수와 반도체 재료의 표면 전위를 테스트할 수 있습니다. LFM 기능을 사용하여 유기 물질 표면의 마이크로 도메인의 마찰력을 테스트할 수 있습니다. MFM을 사용하여 샘플의 자구 분포를 측정할 수 있습니다.

3.3 에피택셜 웨이퍼 PL 스펙트럼 스캐닝 이미저

에피택셜 웨이퍼 PL 스펙트럼 스캐닝 이미저는 6인치 에피택셜 웨이퍼에서 호환 가능하며 테스트 내용에는 파란색 LED 에피택셜 웨이퍼 피크 파장(WLP), 주파장(WLD), 스펙트럼 반폭(HW), 통합 광도(INT)가 포함됩니다. , 피크 강도(PI); 에피택셜 필름 두께 및 반사율(PR); 각 측정 매개변수(Mean), 평균 제곱 오차(Std), 표준 편차율(CV) 및 기타 통계 결과의 평균값을 표시 및 출력하고 각 매개변수의 매핑 분포를 그래픽으로 표시합니다. 에피택셜 웨이퍼의 휨을 측정합니다.

3.4 켈빈 탐침력 현미경

원자력현미경은 금속재료의 일함수와 반도체재료의 표면전위를 시험할 수 있는 KPFM 시험기능을 가지고 있다.

동시에 조명 조건에서 반도체 장치의 표면 전위 변화를 테스트하기 위해 광 보조 테스트 시스템을 설치할 수 있습니다.

3.5 고온 및 저온 홀 효과 테스트

우리는 반도체 박막 재료의 고온 홀 측정을 제공하며 테스트 온도는 90-700K, 자석의 자기장 강도는 0.5T, 최대 측정 면저항은 10^11ohm/sq, 최소 테스트 전류는 1μA, DC 범위는 1μA ~ 20mA이며 AC 모드도 사용할 수 있습니다(AC 모드에서는 고저항 샘플을 측정할 수 없음).

3.6 심층 과도 스펙트럼

고온 심층 과도 분광법 및 빛을 이용한 심층 과도 분광법 테스트는 반도체 심층 에너지 준위와 매체 및 극미량 불순물 및 결함의 인터페이스 상태를 감지하기 위해 제공됩니다. 깊은 수준의 과도 스펙트럼은 반도체 밴드 갭을 특성화하기 위해 제공될 수 있습니다. 불순물의 DLTS 스펙트럼, 깊은 결함 수준 및 온도(예: 에너지) 분포 내의 인터페이스 상태.

3.7 양자 전송 테스트

저온 및 강한 자기장 양자 수송 테스트, 라인 자기 저항 테스트 및 홀 테스트를 제공합니다. 일반적으로 샘플은 먼저 가변 온도 IV를 측정한 다음 자기 저항을 측정합니다. 자기 저항 측정 범위는 0.1ohm-100ohm입니다.

III-V 반도체의 경우 저온 및 강한 자기장 홀 테스트를 통해 온도에 따른 샘플 이동도 및 전자 농도 변화를 얻을 수 있습니다. 2차원 전자 가스와 같은 하위 감금 효과의 수량 샘플의 경우, 낮은 온난하고 강한 자기장은 Zeeman 분할로 이어질 수 있으므로 SdH 진동과 같은 양자 효과가 관찰되고 다른 하위 대역의 수송 특성(이동성 전자 농도 지출 ) 얻어 질 수있는.

3.8 반도체 박막 재료 및 구조의 전기적 파라미터 분석

반도체 박막 재료 및 구조의 전기적 파라미터 분석 제공, DC 소스 측정 단위 표시기: 최대 전압 210V, 최대 전류 100mA, 최대 전력 2W; 펄스 측정 단위 표시기: 시스템 펄스 발생기 주파수: 50MHz-1Hz; 최소 펄스 폭: 10ns; 최대 펄스 전압: 80V, -40V-40V.

3.9 팁 강화 라만 분광계

마이크로 영역 라만 테스트를 제공하고 Neaspec 팁 강화 라만 분광계(TERS)를 소유하며 10nm의 공간 분해능과 증가된 라만 강도를 제공합니다.

1000배 이상 강력하며 3차 이상의 근거리 강도와 비트 신뢰도를 측정할 수 있습니다.

3.10 광학 테스트

광학 테스트 플랫폼에는 213, 266, 325, 532 및 633nm 레이저가 있으며 방출 파장이 다른 재료를 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 분광기는 iHR550 장비를 채택하고 해상도는 0.33nm에 도달하며 수집 파장 범위는 자외선, 가시 광선 및 적외선 부분을 포함합니다.

Opitcal 테스트는 벌크 재료 및 미크론 크기의 샘플을 측정할 수 있습니다. 플랫폼 분광 장치는 통합되지 않았으며 광학 편광, 압력 분광, 저온 및 가변 전력 측정과 같은 다양한 테스트 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 기능을 가진 구성 요소를 자유롭게 결합할 수 있습니다. 반도체 박막 재료 및 구조의 시간 분해 스펙트럼 테스트를 제공합니다. 시간 경과에 따른 스펙트럼의 변화를 기록함으로써 순간적인 과정에서 발생하는 이벤트와 과정을 이해할 수 있으므로 정상 상태 스펙트럼(통합 스펙트럼)에서 얻을 수 없는 정보를 얻을 수 있습니다. 캐리어 방사선 수명의 측정은 여기 상태의 수명, 전이 확률, 충돌 단면적, 반응 속도 및 에너지 전달과 같은 관련 정보를 얻는 데 사용됩니다.

파워 웨이 웨이퍼

자세한 내용은 이메일로 문의하십시오.[email protected][email protected].

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