의 GaN 템플릿
- 기술
제품 설명
질화 갈륨 Template (질화 갈륨 template)
PAM-XIAMEN’s GaN Template consists of crystalline layers of gallium nitride (GaN), aluminum nitride (AlN), aluminum gallium nitride (AlGaN) and indium gallium nitride (InGaN), which are epilayer on sapphire and electronic grade for fabrication as MOS-based devices. PAM-XIAMEN’s Gallium Nitride Template Products enable 20-50% shorter epitaxy cycle times and higher quality epitaxial device layers, with better structural quality and higher thermal conductivity,which can improve devices in the cost, yield, and performance.
2 '(이 50.8mm)의 GaN 템플릿사파이어 기판에 에피 택시
| PAM-2 인치-N-갠트 | PAM-2 인치 - 겐트-SI | |
| 전도 유형 | N 형 | 세미 절연 |
| 도펀트 | 실리콘은 도핑되거나 도핑되지 | 철 도핑 |
| 크기 | 2 "(50mm) 디아. | |
| 두께 | 4um, 20um, 30um, 50um 100um 내지 | 30um, 90um |
| 정위 | C 축 (0001) +/- 1 ° | |
| 저항 (300K) | <0.05Ω · cm | > 1 × 106Ω · cm |
| 전위 밀도 | <1x108cm-2 | |
| 기판 구조 | 사파이어에서의 GaN (0001) | |
| 표면 처리 | 싱글 또는 더블 사이드 광택, 에피 준비 | |
| 사용 가능한 영역 | ≥ 90 % | |
사파이어 기판 상에 2 '(이 50.8mm)의 GaN 에피 템플릿
| PAM-GANT-P | ||
| 전도 유형 | P 형 | |
| 도펀트 | Mg doped | |
| 크기 | 2 "(50mm) 디아. | |
| 두께 | 5um, 20um, 30um, 50um 100um 내지 | |
| 정위 | C 축 (0001) +/- 1 ° | |
| 저항 (300K) | <1Ω · cm 또는 사용자 정의 | |
| 도펀트 농도 | 1E17 (cm-3) 또는 커스텀 | |
| 기판 구조 | 사파이어에서의 GaN (0001) | |
| 표면 처리 | 싱글 또는 더블 사이드 광택, 에피 준비 | |
| 사용 가능한 영역 | ≥ 90 % | |
사파이어 기판 위에 3 "(76.2mm)의 GaN 에피 템플릿
| PAM-3 인치-N-갠트 | |
| 전도 유형 | N 형 |
| 도펀트 | 실리콘은 도핑되거나 도핑되지 |
| 제외 지역 : | 외경으로부터 5mm |
| 두께: | 20um, 30um |
| 전위 밀도 | <1x108cm-2 |
| 시트 저항 (300K) | <0.05Ω · cm |
| 기판 : | 사파이어 |
| 동향 : | C-면 |
| 사파이어 두께 : | 430um |
| 세련: | 단일 측면, 광택 에피 준비, 원자 단계를. |
| 뒷면 코팅 : | (정의) 고품질 티타늄 코팅 두께> 0.4 ㎛의 |
| 포장: | 개별적으로 아르곤 하에서 포장 |
| Atmosphere vacuum sealed in class 100 clean room. |
사파이어 기판 위에 3 "(76.2mm)의 GaN 에피 템플릿
| PAM-3 인치 - 겐트-SI | |
| 전도 유형 | 세미 절연 |
| 도펀트 | 철 약물 복용 |
| 제외 지역 : | 외경으로부터 5mm |
| 두께: | 20um, 30um, 90um (20um 최고입니다) |
| 전위 밀도 | <1x108cm-2 |
| 시트 저항 (300K) | > 106 ohm.cm |
| 기판 : | 사파이어 |
| 동향 : | C-면 |
| 사파이어 두께 : | 430um |
| 세련: | 단일 측면, 광택 에피 준비, 원자 단계를. |
| 뒷면 코팅 : | (정의) 고품질 티타늄 코팅 두께> 0.4 ㎛의 |
| 포장: | 개별 클래스 100 클린 룸에 밀봉 아르곤 분위기 진공 포장. |
4″(100mm)GaN Templates Epitaxial on Sapphire Substrates
| PAM-4 인치-N-갠트 | |
| 전도 유형 | N 형 |
| 도펀트 | 도핑 |
| 두께: | 4um |
| 전위 밀도 | <1x108cm-2 |
| 시트 저항 (300K) | <0.05Ω · cm |
| 기판 : | 사파이어 |
| 동향 : | C-면 |
| 사파이어 두께 : | – |
| 세련: | 단일 측면, 광택 에피 준비, 원자 단계를. |
| 포장: | 개별적으로 아르곤 분위기 하에서 포장 |
| 진공 클래스 100 클린 룸에 밀봉. |
2 "(이 50.8mm)의 AlGaN, InGaN으로, 사파이어 템플릿에 AlN을 에피 택시 : 사용자 정의
2”(50.8mm)AlN Epitaxy on Sapphire Templates
| PAM-AlNT-SI | |
| 전도 유형 | 반 절연 |
| 직경 | 1mm ± Ф의이 50.8mm |
| 두께: | +/- 10 % 내지 1000nm |
| 기판 : | 사파이어 |
| 동향 : | C 축 (0001) +/- 1 ° |
| 평면 방향 | 비행기 |
| 의 XRD FWHM (0002) | <200 초각. |
| 쓸모있는 표면적 | ≥90 % |
| 세련: | 없음 |
2 '(이 50.8mm)사파이어 템플릿에 InGaN으로 에피 택시
| PAM-의 InGaN | |
| 전도 유형 | – |
| 직경 | 1mm ± Ф의이 50.8mm |
| 두께: | 100~200, 사용자 정의 |
| 기판 : | 사파이어 |
| 동향 : | C 축 (0001) +/- 1O |
| 도펀트 | 에 |
| 전위 밀도 | ~ 108cm-2 |
| 쓸모있는 표면적 | ≥90 % |
| 표면 처리 | 싱글 또는 더블 사이드 광택, 에피 준비 |
2 "(이 50.8mm) 사파이어 템플릿에 AlGaN으로 에피 택시
| PAM-AlNT-SI | |
| 전도 유형 | 반 절연 |
| 직경 | 1mm ± Ф의이 50.8mm |
| 두께: | +/- 10 % 내지 1000nm |
| 기판 : | 사파이어 |
| 동향 : | C-면 |
| 평면 방향 | 비행기 |
| 의 XRD FWHM (0002) | <200 초각. |
| 쓸모있는 표면적 | ≥90 % |
| 세련: | 없음 |
GaN Template on Sapphire& Silicon
4H 또는 6H SiC 기판 2 "(이 50.8mm)의 GaN
| 1) 버퍼 우프 GaN 또는 AlN으로 버퍼는 유효하다; | ||||
| 2) n 형 (SI는 도핑되거나 도핑되지 않은), p 형 또는 반 절연성 질화 갈륨 에피 층을 사용할; | ||||
| 3) n 형의 SiC의 수직 형 전도성 구조물; | ||||
| 4)의 AlGaN - 20-60nm 두께 (20 % -30 % 알루미늄), Si의 도핑 버퍼; | ||||
| 25um 두께 330μm +/- 2 "웨이퍼상의 5) GaN으로 된 n 형 층을 포함한다. | ||||
| 6) 단일 또는 양면 연마 에피 준비, 라 <0.5um | ||||
| XRD 7) 일반 값 : | ||||
| 웨이퍼 ID | 기판 ID | XRD (102) | XRD (002) | 두께 |
| #2153 | X-70105033 (AlN을 포함) | 298 | 167 | 679um |
| Single or double side polished, epi-ready, Ra<0.5um | ||||
6 "(150mm), N-GaN으로의 양면이 연마 평면 사파이어
| 목표 | 말 | |
| 기판 직경 | 150mm | +/- 0.15 mm |
| 기판 두께 | 1300 음 또는 1000um | +/- 25 음 |
| C면 (0001), m면을 향해 각도 offcut | 0.2 ° | +/- 0.1 ℃에서 |
| Single primary flat length | 47.5 mm | +/- 1 mm |
| Flat orientation | a-plane | +/- 0.2 deg |
| Si-doped n-GaN thickness | 4 um | +/- 5% |
| Si concentration in n-GaN | 5e18 cm-3 | yes |
| u-GaN thickness | 1 um | no this layer |
| XRD rocking curve (002) | < 250 arcsec | <300 arcsec |
| XRD rocking curve (102) | < 250 arcsec | <350 arcsec |
| 전위 밀도 | < 5e8 cm-2 | yes |
| Front side surface, AFM (5×5 um2) Ra | < 0.5 nm, Epi-ready | yes |
| Back side surfac\e | 0.6 – 1.2 um, fine ground | yes |
| Wafer bowing | < 100 um | no this data |
| n-GaN resistivity (300K) | < 0.01 ohm-cm2 | yes |
| Total thickness variation | < 25 um | <10um |
| Defect density | Macro defects (>100 um):< 1/wafer Micro defects (1-100 um):< 1/cm2 | Macro defects (>100 um):< 10/wafer Micro defects (1-100 um):< 10/cm2 |
| Laser marking | on the backside of the wafer flat | yes |
| 패키지 | packaged in a class 100 clean room environment, in cassettes of 25 pcs or single wafer containers, under nitrogen atmosphere, double sealed | yes |
| 에지 제외 | < 3 mm | yes |
| Useable surface area | > 90% | yes |
Hydride Vapour Phase Epitaxy (HVPE) process
GaN template on sapphire is grown by HVPE process and technology for the production of compound semiconductors such as GaN, AlN, and AlGaN. GaN templates are used in a wide applications: nanowire growth, solid state lighting, short wavelength optoelectronics and RF power device.
In the HVPE process, Group III nitrides (such as GaN, AlN) are formed by reacting hot gaseous metal chlorides (such as GaCl or AlCl) with ammonia gas (NH3). The metal chlorides are generated by passing hot HCl gas over the hot Group III metals. All reactions are done in a temperature controlled quartz furnace.
우리는 예를 들어 아래를 참조하십시오, 시험 보고서를 제공합니다 :
More products:
GaN Thin Film on Sapphire (Al2O3) Template
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회사는 결정 성장, 결정 처리, 웨이퍼 처리, 연마, 세척 및 테스트를 통합하는 완전한 SiC(실리콘 카바이드) 웨이퍼 기판 생산 라인을 보유하고 있습니다. 오늘날 우리는 결함 억제와 같은 핵심 기술을 뛰어 넘는 5x5mm2,10x10mm2, 2",3",4" 및 6" 크기로 제공되는 on-axis 또는 off-axis에서 반절연 및 전도성이 있는 상업용 4H 및 6H SiC 웨이퍼를 공급합니다. , 종자 결정 가공 및 급속한 성장, 탄화규소 에피택시, 소자 등과 관련된 기초 연구 및 개발 촉진
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Gallium Nitride (GaN) HEMTs (High Electron Mobility Transistors) are the next generation of RF power transistor technology. Thanks to GaN technology, PAM-XIAMEN now offer AlGaN/GaN HEMT Epi Wafer on sapphire or Silicon, and AlGaN/GaN on sapphire template.
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PAM-XIAMEN은 더미 웨이퍼 제조사로서 실리콘 더미 웨이퍼 / 테스트 웨이퍼 / 모니터 웨이퍼를 제공하며, 이는 생산 공정 초기에 안전성을 향상시키기 위해 생산 장치에 사용되며 납품 확인 및 공정 형태 평가에 사용됩니다. 더미 실리콘 웨이퍼는 실험 및 테스트에 자주 사용되기 때문에 크기와 두께가 대부분의 경우 중요한 요소입니다. 100mm, 150mm, 200mm 또는 300mm 더미 웨이퍼를 사용할 수 있습니다.
