창 (게르마늄) 싱글 수정 및 웨이퍼
- 기술
제품 설명
단결정 게르마늄 웨이퍼
PAM-XIAMEN은 2", 3", 4" 및 6" 게르마늄 웨이퍼를 제공하며 이는 VGF/LEC로 성장한 Ge 웨이퍼의 약자입니다. 약간 도핑된 N 및 P형 게르마늄 웨이퍼도 홀 효과 실험에 사용할 수 있습니다. 실온에서 결정질 게르마늄은 부서지기 쉽고 가소성이 거의 없습니다. 게르마늄은 반도체 특성을 가지고 있습니다.고순도 게르마늄P형 게르마늄 반도체를 얻기 위해 3가 원소(예: 인듐, 갈륨, 붕소)를 도핑합니다. 5가 원소(안티몬, 비소, 인 등)를 도핑하여 N형 게르마늄 반도체를 얻는다. 게르마늄은 높은 전자 이동도 및 높은 정공 이동도와 같은 우수한 반도체 특성을 가지고 있습니다.
1. 게르마늄 웨이퍼의 특성
1.1 게르마늄 웨이퍼의 일반적인 특성
| 일반 속성 구조 | 입방체, a = 5.6754 Å | ||
| 밀도 : 5.765 g / cm3 | |||
| 융점: 937.4 oC | |||
| 열 전도도 : 640 | |||
| 결정 성장 기술 | 초크 랄 스키 | ||
| 사용할 수 도핑 | / | Sb를 도핑 | 도핑 또는 조지아 |
| 도전 형 | N | N | P |
| 저항, ohm.cm | >35 | <0.05 | 0.05-0.1 |
| EPD | < 5×103/cm2 | < 5×103/cm2 | < 5×103/cm2 |
| < 5×102/cm2 | < 5×102/cm2 | < 5×102/cm2 | |
1.2 게르마늄 웨이퍼의 등급 및 적용
| 전자 학년 | 다이오드와 트랜지스터에 사용, |
| 적외선 또는 opitical 학년 | IR 광학 창이나 디스크, opitical 구성 요소에 사용 |
| 세포 학년 | 태양전지 기판에 사용 |
1.3 게르마늄 결정 및 웨이퍼의 표준 사양
| 크리스탈 방향 | <111>, <100> 및 <110> ± 0.5o 또는 사용자 지정 방향 | |||
| 성장으로 크리스탈 보울 | 1 '~ 6 "직경 X 200mm 길이 | |||
| 컷 표준 빈 | 1 "의 X 0.5mm의 | 2 "x0.6mm | 4 "x0.7mm | 5 '및 6'x0.8mm |
| 표준 연마 웨이퍼 (한 / 양면 연마) | 1 "X 0.30 mm | 2 "x0.5mm | 4 "x0.5mm | 5″&6″x0.6mm |
- 요청한 웨이퍼에 따라 특별한 크기와 방향을 사용할 수 있습니다.
2. 게르마늄 웨이퍼 사양
2.1 2", 3", 4" 및 6" 크기의 게르마늄 웨이퍼 사양
| 명세서 | 비고 | |
| 성장 방법 | VGF | — |
| 전도 유형 | n-type, p type | |
| 도펀트 | 갈륨 또는 안티몬 | — |
| 웨이퍼을 직경 | (2) 3,4 (6) | 인치 |
| 크리스탈 방향 | (100), (111), (110) | — |
| 두께 | 200 ~ 550 | 음 |
| 의 | EJ 또는 미국 | — |
| 캐리어 농도 | 고객에 따라 요청 | |
| RT에서 저항 | (~ 80 0.001) | Ohm.cm |
| 에치 피트 밀도 | <5000 | / cm2 |
| 레이저 마킹 | 요청에 따라 | — |
| 표면 처리 | P / E 또는 P / P | — |
| 준비 에피 | 예 | — |
| 패키지 | 단일 웨이퍼 용기 또는 카세트 | — |
2.2 태양전지용 게르마늄 웨이퍼
| 4 인치 웨이퍼의 Ge 규격 | 태양 전지에 대한 | — |
| 도핑 | P | — |
| 물질을 도핑 | GE-조지아 | — |
| 직경 | 100 ± 0.25 mm | — |
| 정위 | (100) (9) <111> +/- 0.5 ° 향해서 | |
| 오프 방향 경사각 | N / A | — |
| 기본 평면 방향 | N / A | — |
| 기본 평면 길이 | 32 ± 1 | MM |
| 차 평면 방향 | N / A | — |
| 차 평면 길이 | N / A | mm |
| CC | (0.26-2.24) E18 | / CC |
| 저항 | (0.74-2.81) E-2 | ohm.cm |
| 전자 이동도 | 382-865 | cm2 / VS |
| EPD | <300 | / cm2 |
| 레이저 마크 | N / A | — |
| 두께 | 175 ± 10 | μm의 |
| TTV | ＜15 | μm의 |
| TIR | N / A | μm의 |
| 활 | <10 | μm의 |
| 경사 | ＜10 | μm의 |
| 전면 얼굴 | 우아한 | — |
| 맨 얼굴 | 바닥 | — |
2.3 Ge Wafer(longpass SWIR 필터용 광학 필터 기판으로)
PAM180212-GE
| DSP Ge 웨이퍼 | |
| 디아 | 4” |
| 두께 | 1.50mm +/- 0.10mm |
| 정위 | N / A |
| 전도도 | N / A |
| 저항 | N / A |
| 표면 처리 | 양면 광택; 최소 90mm 직경. 중앙 클리어 조리개 |
| 기타 매개변수 | 60-40 스크래치 발굴 또는 그 이상 |
| 2분 이내의 병렬 처리 | |
| 표면은 직경 25mm당 불규칙한 1개 이내로 광학적으로 평평합니다. 맑은 조리개에서 |
2.4 얇은 FIR 창으로 사용되는 게르마늄(PAM211121-GE)
4″ Germanium wafer with low plasma frequency, 175µm+/-25um. (100), single side polished.
3. 게르마늄 웨이퍼 공정
과학 기술의 발전으로 게르마늄 웨이퍼 제조업체의 가공 기술은 점점 더 성숙해졌습니다. 게르마늄 웨이퍼 생산에서 잔류물 처리에서 나오는 이산화게르마늄은 염소화 및 가수분해 단계에서 추가로 정제됩니다.
1) 고순도 게르마늄 영역 정제하는 동안 얻을 수있다.
2) 게르마늄 결정은 초크 랄 스키 프로세스로 제조된다.
3) 게르마늄 웨이퍼는 여러 절단, 연삭, 및 에칭 공정을 통하여 제조된다.
4) 웨이퍼 세정 및 검사된다. 이 과정에서 웨이퍼 사용자 요구 사항에 따라 연마 한면 광택 또는 양면이며, 에피 준비 웨이퍼 온다.
5) 얇은 게르마늄 웨이퍼는 질소 분위기에서 단일 웨이퍼 용기에 포장됩니다.
4. 게르마늄의 적용:
게르마늄 빈 또는 창은 야간 및 상업용 보안, 화재 진압 및 산업용 모니터링 장비에 대한 열 감지 이미징 솔루션에 사용됩니다. 또한, 이들은 레이저에 대한 분석 및 측정 기기 용 필터, 원격 온도 측정 용 창문, 거울과 같이 사용된다.
얇은 게르마늄 기판은 III-V 삼중 접합 태양 전지와 전력 집중 PV(CPV) 시스템 및 롱패스 SWIR 필터 애플리케이션을 위한 광학 필터 기판으로 사용됩니다.
5. 게르마늄 웨이퍼 테스트:
결정 게르마늄 웨이퍼의 저항률은 Four Probe Resistance Tester로 측정하였고, 게르마늄의 표면 거칠기는 profilometer로 측정하였다.
말:
The Chinese government has announced new limits on the exportation of Gallium materials (such as GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs, and GaSb) and Germanium materials used to make semiconductor chips on July 3, 2023. Exporting these materials is only allowed if we obtains a license from the Chinese Ministry of Commerce. Hope for your understanding and cooperation!
자세한 내용은 이메일로 문의하십시오victorchan@powerwaywafer.com및powerwaymaterial@gmail.com.
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