우리는 세계 최고의 유리 웨이퍼 공급 업체 중 하나입니다. 얇은 및 초박형 유리 웨이퍼 및 다른 재료로 만들어진 기판, Borofloat, 융합 실리카 및 석영, BK7, 소다 석회 등 MEMS, 광섬유 AWG, LCD 패널 과 OLED 기판 신청. 이 웨이퍼는 치수, 평면 및 노치 사양을 포함한 모든 SEMI 표준이며 정렬 표시, 구멍, 포켓, 가장자리 프로필, 두께, 평탄도, 표면 품질, 청결 또는 기타 중요한 세부 사항을 포함하여 고유 한 요구 사항에 맞게 설계된 맞춤형 사양을 제공합니다. 반도체, 의학, 통신, 레이저, 적외선, 전자, 측정 기기, 군사 및 항공 우주를 포함한 응용 분야.
1. Glass Wafer 사양
매개 변수 | 측정 |
직경 | 2 ', 4 ", 6", 8 ", 10" |
치수 공차 | ± 0.02μm |
두께 | 0.12mm로, 0.13mm, 0.2mm의, 0.25, 0.45mm로 |
두께 허용차 | ± 10 ㎛ |
두께 편차 (TTV) | <0.01mm의 |
평탄 | 1/10 웨이브 / 인치 |
표면 거칠기 (RMS) | <1.5nm의 |
스크래치와 발굴 | 5 월 2 일 |
입자 크기 | <5μm의 |
활 / 워프 | <10 ㎛ |
사용자 정의 차원은 문의하시기 바랍니다 |
2. 글라스 웨이퍼 공정
웨이퍼 절단 : 두꺼운 시트가 물 분사되고 블록이 와이어 톱질되어 블랭크 웨이퍼가 준비됩니다.
지상 가장자리 : 웨이퍼 에지는 에지 그라인딩 스테이션에서 접지 된 원통형입니다.
웨이퍼 랩핑 : 웨이퍼는 지정된 두께로 랩핑됩니다.
웨이퍼 연마 : 웨이퍼를 폴리싱하면 제작에 필요한 거울이있는 매우 평평한 표면이됩니다.
웨이퍼 청소 : 여러 세척 라인에서 웨이퍼 표면 또는 기판을 변경하거나 손상시키지 않고 화학 물질 및 입자 불순물을 제거합니다.
웨이퍼 검사 : Class 100 Clean Room의 적절한 조명 조건에서 다양한 품질 수준을 검사합니다.
웨이퍼 포장 : 모든 웨이퍼는 단일 웨이퍼 용기에 포장됩니다.
3. 유리 웨이퍼의 투과율
유리 웨이퍼의 투과율
4. Glass Wafer의 Scratch/Dig 검사 기준
어두운 방에서 강한 빛(다각도 평행광원)으로 안경에 흠집이 있는지 검사합니다.
검사목적: 유리 표면에 미세한 흠집, 이물질, 미세 기포가 있는지 확인합니다.
검사내용: Glass 표면의 미세한 Scratch 유무 확인
참조 광원: 다각도 평행 광원
분석: Glass 표면의 미세한 Scratch, 이물질 검사
유리는 반사율이 높은 물체이며 다각도 평행 광원은 미세한 스크래치를 명확하고 매우 균일하게 비출 수 있습니다.
스크래치/파기: 60/40은 다음을 의미합니다.
60: 최대 허용 스크래치 폭(폭 0.06mm)
40: 최대 허용 굴착 직경(직경 0.4mm)
스크래치 또는 파기 번호에 대한 자세한 내용은 아래 표를 참조하십시오.
스크래치 번호 | 최대 허용 스크래치 폭 (mm) |
발굴 번호 | 최대 허용 파기 또는 거품 직경 (mm) |
|
120 | 0.12 | 120 | 1.2 | |
80 | 0.08 | 80 | 0.8 | |
60 | 0.06 | 60 | 0.6 | |
50 | 0.05 | 50 | 0.5 | |
40 | 0.04 | 40 | 0.4 | |
30 | 0.03 | 30 | 0.3 | |
20 | 0.02 | 20 | 0.2 | |
목적: 광학 부품의 유리 표면 품질 정의 : 절차 : |
자세한 내용은 이메일로 문의하십시오.victorchan@powerwaywafer.com 과 powerwaymaterial@gmail.com.