유리 웨이퍼

유리 웨이퍼

우리는 세계 최고의 유리 웨이퍼 공급 업체 중 하나입니다. 얇은 및 초박형 유리 웨이퍼 및 다른 재료로 만들어진 기판, Borofloat, 융합 실리카 및 석영, BK7, 소다 석회 MEMS, 광섬유 AWG, LCD 패널OLED 기판 신청. 이 웨이퍼는 치수, 평면 및 노치 사양을 포함한 모든 SEMI 표준이며 정렬 표시, 구멍, 포켓, 가장자리 프로필, 두께, 평탄도, 표면 품질, 청결 또는 기타 중요한 세부 사항을 포함하여 고유 한 요구 사항에 맞게 설계된 맞춤형 사양을 제공합니다. 반도체, 의학, 통신, 레이저, 적외선, 전자, 측정 기기, 군사 및 항공 우주를 포함한 응용 분야.

1. Glass Wafer 사양

매개 변수 측정
직경 2 ', 4 ", 6", 8 ", 10"
치수 공차 ± 0.02μm
두께 0.12mm로, 0.13mm, 0.2mm의, 0.25, 0.45mm로
두께 허용차 ± 10 ㎛
두께 편차 (TTV) <0.01mm의
평탄 1/10 웨이브 / 인치
표면 거칠기 (RMS) <1.5nm의
스크래치와 발굴 5 월 2 일
입자 크기 <5μm의
활 / 워프 <10 ㎛
사용자 정의 차원은 문의하시기 바랍니다

 

2. 글라스 웨이퍼 공정

웨이퍼 절단 : 두꺼운 시트가 물 분사되고 블록이 와이어 톱질되어 블랭크 웨이퍼가 준비됩니다.

지상 가장자리 : 웨이퍼 에지는 에지 그라인딩 스테이션에서 접지 된 원통형입니다.

웨이퍼 랩핑 : 웨이퍼는 지정된 두께로 랩핑됩니다.

웨이퍼 연마 : 웨이퍼를 폴리싱하면 제작에 필요한 거울이있는 매우 평평한 표면이됩니다.

웨이퍼 청소 : 여러 세척 라인에서 웨이퍼 표면 또는 기판을 변경하거나 손상시키지 않고 화학 물질 및 입자 불순물을 제거합니다.

웨이퍼 검사 : Class 100 Clean Room의 적절한 조명 조건에서 다양한 품질 수준을 검사합니다.

웨이퍼 포장 : 모든 웨이퍼는 단일 웨이퍼 용기에 포장됩니다.

유리 웨이퍼의 투과율

3. 유리 웨이퍼의 투과율

유리 웨이퍼

유리 웨이퍼

유리 웨이퍼

유리 웨이퍼의 투과율

4. Glass Wafer의 Scratch/Dig 검사 기준

어두운 방에서 강한 빛(다각도 평행광원)으로 안경에 흠집이 있는지 검사합니다.

검사목적: 유리 표면에 미세한 흠집, 이물질, 미세 기포가 있는지 확인합니다.

검사내용: Glass 표면의 미세한 Scratch 유무 확인

참조 광원: 다각도 평행 광원

분석: Glass 표면의 미세한 Scratch, 이물질 검사

유리는 반사율이 높은 물체이며 다각도 평행 광원은 미세한 스크래치를 명확하고 매우 균일하게 비출 수 있습니다.

스크래치/파기: 60/40은 다음을 의미합니다.

60: 최대 허용 스크래치 폭(폭 0.06mm)

40: 최대 허용 굴착 직경(직경 0.4mm)

스크래치 또는 파기 번호에 대한 자세한 내용은 아래 표를 참조하십시오.

스크래치 번호 최대 허용
스크래치 폭
(mm)
  발굴 번호 최대 허용
파기 또는 거품 직경
(mm)
120 0.12 120 1.2
80 0.08 80 0.8
60 0.06 60 0.6
50 0.05 50 0.5
40 0.04 40 0.4
30 0.03 30 0.3
20 0.02 20 0.2
목적:
광학 부품의 유리 표면 품질

정의 :
스크래치: 유리 표면의 모든 표시 또는 찢어짐.
파기: 외관상 구덩이와 유사한 유리 표면의 작은 거친 부분.
거품은 발굴로 간주됩니다.

절차 :
표면 품질은 60/40과 같은 숫자로 지정됩니다. 2열은 미크론 단위로 측정된 스크래치의 최대 폭 허용치와 관련이 있습니다. 4번째 열은 굴착에 대한 최대 직경 허용치를 1/100밀리미터 단위로 나타냅니다. 따라서 아래 표에서 볼 수 있듯이 60/40의 표면 품질 콜아웃은 0.06mm의 스크래치 폭과 0.4mm의 굴착 직경을 허용합니다. 결함의 크기는 광학 비교기를 사용하여 측정됩니다.

 

자세한 내용은 이메일로 문의하십시오.victorchan@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com.

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