PAM XIAMEN은 LaAlO3 단결정 기질을 제공합니다
란탄 알루민산 염 (LaAlO3) 단결정 기판은 YBaCuO 및 기타 고온 초전도체 재료 및 격자, 낮은 유전 상수 및 작은 마이크로파 손실과 잘 일치하는 대규모 고온 초전도 필름이므로 LaAlO3 기판은 높은 제조에 적합합니다. 온도 초전도체 마이크로파 전자 장치(예: 원격 통신의 고온 초전도체 마이크로파 필터).
1. LaAlO3 단결정 기판의 사양
| 성장 방법 | CZ |
| 결정 구조 | 육각형(실온) |
| 큐브(>435℃) | |
| 격자 상수 | 육각형 a=5.357A |
| c=13.22A | |
| 큐브 a=3.821A | |
| 밀도 | 6.52g/cm3 |
| 융점 | 2080℃ |
| 경도 | 6.5 모스 |
| 유전 상수 | 24.5 |
| CTE | 9.2×10-6/k |
| 탄젠트 손실(10GHz) | ~3×10-4(300k) ~0.6×10-4(77k) |
| 외모 | 색상과 외관은 소둔 조건에 따라 갈색 노란색에서 갈색까지 다양합니다. |
| 화학적 안정성 | 실온에서 무기산에 불용성, 150℃ 이상의 온도에서 인산(H3PO4)에 용해 |
2. LaAlO3 단결정 기판의 크기 목록
2-1(100) Orient LaAlO3 Substrates, (001) 동일합니다.
LaAlO3(100) 방향. 5 x 5 x 0.5mm 기판, 2면 Epi 광택 처리
LaAlO3, (100) 방향. 5 x 5 x 0.5mm 기판, 1SP
LaAlO3, (100) 방향. 3×3 x 0.5mm 기판, 1SP
LaAlO3, (100) 방향 10 x 5 x 0.5mm 기판, 1면 Epi 연마
LaAlO3, (100) 방향. 10 x 5 x 1.0mm 기판, 1면 Epi 광택 처리
LaAlO3, (100) 방향. 10x10x1.0mm 기판, 2면 EPI 광택 처리
LaAlO3, (100) 방향. 10x10x1.0mm 기판, 1면 EPI 광택 처리”
LaAlO3,(100) 방향 10x10x 0.5mm 기판, 1 SP
LaAlO3,(100) 방향. 10x10x 0.5mm 기판, 2면 EPI 광택 처리
LaAlO3,(100) 방향 15x15x 0.5mm 기판, 1 SP”
LaAlO3, (100) 방향. 1″x 1″ x 0.5mm 기판, 2면 에피 폴리싱
LaAlO3,(100) 방향. 1″x 1″ x 0.5mm 기판, 1면 에피 폴리싱 처리
LaAlO3, (100) 방향. 20×20 x 0.5mm 기판, 2면 에피 폴리싱
LaAlO3, (100) 방향. 20×20 x 0.5mm 기판, 한쪽면 연마
2-2 (110) 또는 (111) LaAlO3도 사용할 수 있습니다.
자세한 내용은 다음 주소로 이메일을 보내주십시오. victorchan@powerwaywafer.com