단결정 실리콘 웨이퍼의 연삭 유도 지하 에지 손상 노치 레이저 복구

단결정 실리콘 웨이퍼의 연삭 유도 지하 에지 손상 노치 레이저 복구

가장자리와의 노치 실리콘 웨이퍼 일반적으로 다이아몬드 연삭 가공, 연삭 유도 서브 표면 손상이 웨이퍼 파손 및 입자 오염의 문제가 발생한다. 그러나, 가장자리의 노치 표면이 곡률이 큰 날카로운 모서리를 갖고, 따라서이 화학 - 기계적 연마에 의해 완성되기 어렵다. 이 연구에서의 Nd 나노초 펄스 : YAG 레이저는 붕소 도핑의 가장자리에 노치를 조사하는 데 사용 단결정 실리콘 웨이퍼 연삭에 의한 지하 손상을 복구 할 수 있습니다. 반사 손실과 곡면을 조사하는 것이 고려되었다 레이저 플루 언스의 변경하고 손상 회복 거동을 조사 하였다. 은 표면 거칠기, 레이저 회수 영역의 결정화도 및 경도를 각각 백색광 간섭계 레이저 마이크로 라만 분광법, 및 나노 인 덴 테이션을 사용하여 측정 하였다. 그 결과, 레이저 조사 후에 손상된 영역은 나노 표면 거칠기 단결정 구조로 회수하고, 표면 경도도 개선 된 것으로 나타났다. 이 연구는 레이저 회복의 가장자리와 노치의 표면 무결성을 향상시키기위한 유망한 후 연마 공정이 있음을 보여줍니다 실리콘 웨이퍼.

 

출처 : IOPscience

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