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에피 택셜 실리콘 웨이퍼
실리콘 에피택시얼 웨이퍼(Epi Wafer)는 단결정 실리콘 웨이퍼 위에 증착된 에피택셜 실리콘 단결정의 층입니다(참고: 고농도로 도핑된 단결정 실리콘 웨이퍼 위에 다결정 실리콘 층의 층을 성장시키는 것이 가능하지만, 벌크 Si 기판과 상부 에피택셜 실리콘 층 사이에 버퍼층(예: 산화물 또는 폴리-Si)이 필요하며 박막 트랜지스터에도 사용할 수 있습니다.
실리콘 에피택시얼 웨이퍼(Epi Wafer)는 단결정 실리콘 웨이퍼 위에 증착된 에피택셜 실리콘 단결정의 층입니다(참고: 고농도로 도핑된 단결정 실리콘 웨이퍼 위에 다결정 실리콘 층의 층을 성장시키는 것이 가능하지만, 벌크 Si 기판과 상부 에피택셜 실리콘 층 사이에 버퍼층(예: 산화물 또는 폴리-Si)이 필요하며 박막 트랜지스터에도 사용할 수 있습니다.
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