양자 캐스케이드 레이저 웨이퍼
양자 캐스케이드 레이저 (QCL)를 만드는 데 사용되는 이종 에피 택셜 재료는 주로 INP 기반 Gainas/Alinas 재료 시스템, GAAS 기반 GAAS/AlGaAS 재료 시스템 및 안티 모니드 재료 시스템입니다.PAM-하문다음과 같이 INP 기반 양자 캐스케이드 레이저 박막 박막을 제공 할 수 있습니다.
1. 양자 캐스케이드 레이저 다이오드에 대한 ingaas/inalas/inp
PAM210906 – QCL
4-5μm의 스펙트럼 범위를 갖는 양자-카스케이드 레이저에 대한 No. 1 INP 헤테로 에피 택셜 재료
| 레이어 번호 | 자료 | 그룹 | 반복 | 두께, Å | 도핑 수준 시(센티미터-3) |
| 27 | 에0.53조지아0.47같이 | – | – | 2000 | – |
| 26 | InP를 | – | – | – | – |
| 25 | InP를 | – | – | – | – |
| 24 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | – | |
| 23 | 에더블 엑스알더블 엑스같이 | – | |||
| 22 | 에더블 엑스조지아더블 엑스1로 | – | |||
| 21 | 에더블 엑스알더블 엑스같이 | – | |||
| 20 | 에0.669조지아0.331같이 | – | |||
| 19 | 에더블 엑스알더블 엑스같이 | – | |||
| 18 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 17 | 에더블 엑스알더블 엑스같이 | – | |||
| 16 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 15 | 에더블 엑스알더블 엑스같이 | – | |||
| 14 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 13 | 에더블 엑스알더블 엑스같이 | – | |||
| 12 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 11 | 에더블 엑스알더블 엑스같이 | – | – | ||
| 10 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 9 | 에더블 엑스알더블 엑스같이 | – | – | ||
| 8 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 7 | 에더블 엑스알더블 엑스같이 | – | |||
| 6 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 5 | 에더블 엑스알더블 엑스같이 | – | |||
| 4 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 3 | 에더블 엑스알더블 엑스같이 | – | |||
| 2 | InP를 | – | – | – | – |
| 1 | InP 기판 | 350um | 3×1017 |
스펙트럼 범위가 7-9μm 인 QCL에 대한 No. 2 Ingaas/Inalas/INP 이종 에피 택시
| 레이어 번호 | 자료 | 그룹 | 반복 | 두께, Å | 도핑 수준
시(센티미터-3) |
| 25 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | 200 | – |
| 24 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | 1 | – | – |
| 23 | InP를 | – | – | – | – |
| 22 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | – | |
| 21 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 20 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 19 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 18 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 17 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 16 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 15 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 14 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 13 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 12 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 11 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 10 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 9 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 8 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 7 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 6 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 5 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 4 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 3 | 알0.48에0.52같이 | – | |||
| 2 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | – | 5 × 1016 |
| 1 | 기판 InP | – | 1-3×1017 |
7-9μm의 스펙트럼 범위를 갖는 QCL에 대한 3 번 INALAS/IngaAS 이종 에피 택셜 성장
| 레이어 번호 | 자료 | 그룹 | 반복 | 두께, Å | 도핑 수준 시(센티미터-3) |
| 79 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | 1 | – | – |
| 78 | InP를 | – | – | 2000 | – |
| 77 | InP를 | 3 | – | – | – |
| 76 | InP를 | – | – | – | 2 × 1016 |
| 75 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | – | – |
| 74 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 73 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 72 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 71 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 70 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 69 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 68 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 67 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 66 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 65 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 64 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 63 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 62 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 61 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 60 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 59 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 58 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 57 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 56 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 55 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 54 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | – | – |
| 53 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | – | – |
| 52 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | – | – |
| 51 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | – | |
| 50 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 49 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 48 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 47 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 46 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 45 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 44 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 43 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 42 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 41 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 40 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 39 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 38 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 37 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 36 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 35 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 34 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 33 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 32 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 31 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | |||
| 30 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | |||
| 29 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | – | |
| 28 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | – | – |
| 27 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | – | |
| 26 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | – | |
| 25 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | – | |
| 24 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | 1 | – | – |
| 23 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | – | – |
| 22 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 21 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 20 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 19 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 18 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 17 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 16 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 15 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 14 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 13 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 12 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 11 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 10 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 9 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 8 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 7 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 6 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 5 | 알더블 엑스에더블 엑스같이 | – | – | ||
| 4 | 에더블 엑스조지아더블 엑스같이 | – | – | ||
| 3 | 알0.48에0.52같이 | – | – | ||
| 2 | InP를 | – | – | – | |
| 1 | InP 기판 | 350μm | 3×1018 |
2. ingaas/alinas 이종 에피 택셜 재료를 기반으로 QCL 레이저를 제조하는 이유는 무엇입니까?
QCL을 제조하기 위해 ingaas/inalas hetero epitaxial 재료를 사용하는 이유는 주로 다음과 같습니다.
1) QCL의 레이저 게인은 (M에 비례합니다.이자형)– 3/2. Ingaas의 전자 유효 질량은 GAA의 전자 유효 질량보다 작기 때문에 Ingaas/Inalas Hetero Epitaxial System의 게인은 Gaas/algaas 재료 시스템의 이득보다 큽니다.
2) Ingaas/inalas Hetiataxial 재료 시스템의 전도 밴드 순서는도 1에서와 같이 비교적 크고, 레이저 전이의 고 에너지 상태 사이의 에너지 갭은 크기 때문에 양자 캐스케이드 반도체 레이저를 더 쉽게 달성 할 수있게한다. 또한 도파관 손실 및 열 소산 효율과 같은 요인이 있습니다.
그림 1 Ingaas/Inalas Heteroepitaxial 재료의 격자 상수 (a) 및 밴드 갭 (b)
3. 양자 캐스케이드 레이저 란 무엇입니까?
QCL은 서브 밴드 사이의 전자 전이에 기초한 미드 적외선 밴드 모노폴 광원이다.
양자 캐스케이드 레이저는 어떻게 작동합니까? 작동 원리는 기존의 반도체 레이저와 다릅니다. 그 레이싱 방식은 반도체 이종 구조에서 나노 미터 수준의 두께에 수직 인 반도체 이종 구조 얇은 층에서 양자 제한 효과로 인한 분리 된 전자 상태를 사용하고, 이들 여기 상태 사이에 입자 수 반전을 생성하는 것이다. 레이저의 활성 영역은 단일 전자 주입의 다중 광자 출력을 달성하기 위해 결합 된 양자 웰 (일반적으로 500 개 이상의 층)의 다단계 연결로 구성됩니다. QCL의 지문 특징은 작동 파장이 사용 된 재료의 밴드 갭과 직접 관련이 없지만, 양자 캐스케이드 레이저 파장이 넓은 범위로 조정 될 수 있도록 결합 된 양자 웰의 서브 밴드 간격에 의해서만 결정됩니다.
현재, 양자 캐스케이드 레이저 애플리케이션은 주로 가스 감지, 적외선 대책 및 Terahertz 통신에 있습니다.
자세한 내용은 이메일로 문의하십시오[email protected] 과 [email protected].