- Description
설명
SiC 재생 웨이퍼 및 처리
PAM-XIAMEN은 다음과 같은 SiC 재생 웨이퍼 서비스를 제공할 수 있습니다.
SiC 재생 웨이퍼:
PAM-XIAMEN은 소유권 회수 프로세스를 통해 다음을 제공할 수 있습니다.SiC를LED, RF 또는 전력 장치 제조업체에 웨이퍼 서비스를 회수합니다. EPI, EPI GaN 또는 장치 레이어를 제거한 다음 표면을 연마하여 Epi 준비 상태가 될 때까지 고객이 다시 에피할 수 있어 비용을 절감할 수 있습니다.우리는 고객 요구에 따라 표면 거칠기 <0.3nm도 보장할 수 있습니다. 각 웨이퍼는 CMP로 래핑되거나 에칭되어 패턴, 스크래치 및 기타 결함을 제거합니다. 그 결과 연마 및 세척 준비가 완료된 깨끗하고 고품질의 웨이퍼가 탄생합니다. 재생 공정이 끝나면 완성된 웨이퍼가 고객 표준 및 사양을 완벽하게 준수하는지 확인하기 위해 포장 전 최종 품질 검사를 실시합니다. 재생된 웨이퍼를 용기에 담습니다. 용기는 이중백으로 포장되어 라벨이 붙어 있습니다. 마지막 단계로 당사는 제품 품질을 검증하기 위해 필요에 따라 적합성 인증서 및/또는 분석 인증서를 제공합니다.
아래는 CMP 이후의 AFM 이미지를 예시로 보여줍니다.
SiC 표면 준비:
PAM-XIAMEN은 실리콘 카바이드 웨이퍼 세정 공정에 대한 오랜 경험을 바탕으로 새 제품에 깨끗하고 낮은 금속 오염을 제공할 수 있는 공정을 개발했습니다.SiC 기판.
