테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼

테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼

PAM-XIAMEN은 더미 웨이퍼 제조사로서 실리콘 더미 웨이퍼 / 테스트 웨이퍼 / 모니터 웨이퍼를 제공하며, 이는 생산 공정 초기에 안전성을 향상시키기 위해 생산 장치에 사용되며 납품 확인 및 공정 형태 평가에 사용됩니다. 더미 실리콘 웨이퍼는 실험 및 테스트에 자주 사용되기 때문에 크기와 두께가 대부분의 경우 중요한 요소입니다. 100mm, 150mm, 200mm 또는 300mm 더미 웨이퍼를 사용할 수 있습니다.

  • 기술

제품 설명

테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼

PAM-XIAMEN은 더미 웨이퍼 제조사로서 실리콘 더미 웨이퍼 / 테스트 웨이퍼 / 모니터 웨이퍼를 제공하며, 이는 생산 공정 초기에 안전성을 향상시키기 위해 생산 장치에 사용되며 납품 확인 및 공정 형태 평가에 사용됩니다. 더미 실리콘 웨이퍼는 실험 및 테스트에 자주 사용되기 때문에 크기와 두께가 대부분의 경우 중요한 요소입니다. 100mm, 150mm, 200mm 또는 300mm 더미 웨이퍼를 사용할 수 있습니다.

 

1. 웨이퍼 목록 테스트

1.1 단면 연마 테스트 웨이퍼 N형(200Nos)

SL 없음 SCL 사양
1 성장 방법 CZ
2 웨이퍼 직경 150 ± 0.5mm의
3 웨이퍼 두께 675 ± 25 ㎛의
4 웨이퍼 표면 방향 <100> ± 2 °
5 도펀트
6 전위 밀도 이하 5000 / cm2
8 저항 4-7Ωcm
9 레이디 얼 저항 변화 (최대.) 15 %
10 평탄  
10A · BOW (최대.) 60 μm의
(10B) · TIR (최대.) 6 μm의
10C · 테이퍼 (최대.) 12 μm의
(d) · WARP (최대.) 60 μm의
11 플랫 차  
11A · 길이 57.5 ± 2.5 mm
11B · 오리엔테이션 {110} SEMI 표준에 따라 ± 2 °
11C 플랫 차 SEMI 표준에 따라
12 전면 표면 처리 거울 광택
13 최대. 크기 ≥0.3μm의 입자 30
14 · 상처, 안개, 에지 칩, 오렌지 껍질 및 기타 결함
15 후면 손상없는 식각
16 포장 요구 사항 진공 이중층 packing.Wafers 클래스 '10'environment 내에 밀봉되어야한다 Fluorware ORION 두 웨이퍼 선적 또는 초 세정 폴리 프로필렌으로 만들어진 화장 등가 발송되어야

 

1.2 양면 연마 테스트 웨이퍼 N형(150개)

SL 없음 SCL 사양
1 성장 방법 CZ
2 웨이퍼 직경 150 ± 0.5mm의
3 웨이퍼 두께 675 ±의 25μm 인
4 웨이퍼 표면 방향 <100> ± 2 °
5 도펀트
6 전위 밀도 이하 5000 / cm2
8 저항 4-7Ωcm
9 레이디 얼 저항 변화 (최대.) 15 %
10 평탄  
10A · BOW (최대.) 60 μm의
(10B) · TIR (최대.) 6 μm의
10C · 테이퍼 (최대.) 12 μm의
(d) · WARP (최대.) 60 μm의
11 플랫 차  
11A · 길이 57.5 ± 2.5 mm
11B · 오리엔테이션 {110} SEMI 표준에 따라 ± 2 °
11C 플랫 차 SEMI 표준에 따라
12 전면 표면 처리 거울 광택
13 최대. 크기 ≥0.3μm의 입자 30
14 · 상처, 안개, 에지 칩,
오렌지 껍질 및 기타 결함
15 후면 거울 광택
16 포장 요구 사항 진공 클래스 '10'로 밀봉하여 보관
이중층 포장의 환경.
웨이퍼는 Fluorware로 배송되어야 합니다.
ORION TWO 웨이퍼 화주 또는 동급
매우 깨끗한 폴리프로필렌으로 만든

 

1.3 모니터 웨이퍼/더미 웨이퍼

모니터 / 더미 실리콘 웨이퍼

웨이퍼 직경 우아한 웨이퍼 표면 웨이퍼 두께 저항 입자
정위
4 " 1 쪽 111분의 100 250-500μm 0-100 0.2μm≤qty30
6 " 1 쪽 100 500-675μm 0-100 0.2μm≤qty30
8 " 1 쪽 100 600-750μm 0-100 0.2μm≤qty30
12 " 2 쪽 100 650-775μm 0-100 0.09μm≤qty100

 

1.4 재생된 200mm 웨이퍼

목# PARAMETER 단위 노트
1 성장 방법   CZ  
2 정위   1-0-0  
3 저항 Ωм.см 1-50  
4 종류 / 도펀트   р, N /  
붕소, 인
5 두께 мкм 1гр. - (620)  
2гр. - 650
3гр. - 680
4гр. - 700
5гр. - 720
6 GBIR (TTV мкм 1-3гр. <30  
4-5гр. <20
7 GLFR (TIR мкм <10  
8 경사 мкм <60  
9 мкм <40  
10 금속 오염 1 / см2 <3E10  
11 전면   우아한  
12 표면 비주얼 :      
안개, 긁힘, 얼룩, 명소   없음
오렌지 껍질   없음
균열, 크레이터   없음
13 앞면 LPD :     명시된 파라미터 값과 웨이퍼의 개수는 일괄하게는 80 % 이상이어야
<0,12мкм   <100
<0,16мкм   <50
<0,20мкм   <20
<0,30мкм   <10

 

1.5 코인롤 실리콘 웨이퍼

사양: 12", 베어 실리콘, 두께 >750um, 노치, IPA, DI 워터를 울트라 소닉으로 처리할 약간의 스크래치 및 얼룩. (PAM171117-SI)

2. 더미 웨이퍼 정의

더미 웨이퍼(테스트 웨이퍼라고도 함)은 주로 실험 및 테스트에 사용되는 Si 더미 웨이퍼로 일반 제품용 웨이퍼와 다릅니다. 따라서 재생 웨이퍼는 대부분 더미 등급 웨이퍼(테스트 웨이퍼).

각 공정에서 더미 Si 웨이퍼(테스트 웨이퍼)를 이용하여 막두께, 내압성, 반사율, 핀볼 유무를 측정한다. 또한 더미 웨이퍼(테스트 웨이퍼)는 리소그래피에서 패턴 크기 측정, 결함 검사 등에 사용됩니다.

모니터 웨이퍼실제 IC 생산에 앞서 각 생산 단계에서 조정이 필요한 경우에 사용되는 베어 실리콘 웨이퍼입니다. 예를 들어, 기판 두께에 대한 소자의 허용오차(변화)를 측정하는 경우와 같이 각 공정의 조건이 설정될 때, 스페이서 웨이퍼용 코인롤 실리콘 웨이퍼는 고수준 및 고부가가치 웨이퍼의 대체품으로 사용되고 있다. . 또한 제품 웨이퍼와 함께 공정에서 모니터링 목적으로도 사용됩니다. 모니터 웨이퍼는 제품 프라임 웨이퍼만큼 중요한 웨이퍼 재료입니다. 더미 웨이퍼와 함께 테스트 웨이퍼라고도 합니다.

제품 세부 사항을 위해 또는 사양을 요구 한 경우, [email protected] 또는 [email protected]에 문의하시기 바랍니다.

시험 급 실리콘 웨이퍼 1

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-2

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-3

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-4

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-5

시험 급 실리콘 웨이퍼 -6-

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-7

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-8

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-9

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-10

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-11

8″ 더미 그레이드 실리콘 웨이퍼

12″ 더미 그레이드 실리콘 웨이퍼 두께 700-730um

12″ 더미 등급 실리콘 웨이퍼 두께 650-700um

12 "테스트 학년 실리콘 웨이퍼

4 "단면이 연마 된 테스트 그레이드 실리콘 웨이퍼

12”더미 웨이퍼

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