테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼

테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼

더미 웨이퍼 제조업체 인 PAM-XIAMEN은 생산 공정 초기에 안전성을 높이기 위해 생산 장치에 사용되는 실리콘 더미 웨이퍼 / 테스트 웨이퍼 / 모니터 웨이퍼를 제공하며, 공정 형태의 배송 확인 및 평가에 사용됩니다. 더미 실리콘 웨이퍼는 실험 및 테스트에 자주 사용되기 때문에 대부분의 경우 크기와 두께가 중요한 요소입니다. 100mm, 150mm, 200mm 또는 300mm 더미 웨이퍼를 사용할 수 있습니다.

  • 기술

제품 설명

테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼

더미 웨이퍼 제조업체 인 PAM-XIAMEN은 생산 공정 초기에 안전성을 높이기 위해 생산 장치에 사용되는 실리콘 더미 웨이퍼 / 테스트 웨이퍼 / 모니터 웨이퍼를 제공하며, 공정 형태의 배송 확인 및 평가에 사용됩니다. 더미 실리콘 웨이퍼는 실험 및 테스트에 자주 사용되기 때문에 대부분의 경우 크기와 두께가 중요한 요소입니다. 100mm, 150mm, 200mm 또는 300mm 더미 웨이퍼를 사용할 수 있습니다.

 

1. Test Wafer List

1.1 Single Side Polished Test Wafer N Type (200Nos)

SL 없음 SCL 사양
1 성장 방법 CZ
2 웨이퍼 직경 150 ± 0.5mm의
3 웨이퍼 두께 675 ± 25 ㎛의
4 웨이퍼 표면 방향 <100> ± 2 °
5 도펀트
6 전위 밀도 이하 5000 / cm2
8 저항 4-7Ωcm
9 레이디 얼 저항 변화 (최대.) 15 %
10 평탄  
10A · BOW (최대.) 60 μm의
(10B) · TIR (최대.) 6 μm의
10C · 테이퍼 (최대.) 12 μm의
(d) · WARP (최대.) 60 μm의
11 플랫 차  
11A · 길이 57.5 ± 2.5 mm
11B · 오리엔테이션 {110} SEMI 표준에 따라 ± 2 °
11C 플랫 차 SEMI 표준에 따라
12 전면 표면 처리 거울 광택
13 최대. 크기 ≥0.3μm의 입자 30
14 · 상처, 안개, 에지 칩, 오렌지 껍질 및 기타 결함
15 후면 손상없는 식각
16 포장 요구 사항 진공 이중층 packing.Wafers 클래스 '10'environment 내에 밀봉되어야한다 Fluorware ORION 두 웨이퍼 선적 또는 초 세정 폴리 프로필렌으로 만들어진 화장 등가 발송되어야

 

1.2 Double Side Polished Test Wafer N Type (150 Nos)

SL 없음 SCL 사양
1 성장 방법 CZ
2 웨이퍼 직경 150 ± 0.5mm의
3 웨이퍼 두께 675 ±의 25μm 인
4 웨이퍼 표면 방향 <100> ± 2 °
5 도펀트
6 전위 밀도 이하 5000 / cm2
8 저항 4-7Ωcm
9 레이디 얼 저항 변화 (최대.) 15 %
10 평탄  
10A · BOW (최대.) 60 μm의
(10B) · TIR (최대.) 6 μm의
10C · 테이퍼 (최대.) 12 μm의
(d) · WARP (최대.) 60 μm의
11 플랫 차  
11A · 길이 57.5 ± 2.5 mm
11B · 오리엔테이션 {110} SEMI 표준에 따라 ± 2 °
11C 플랫 차 SEMI 표준에 따라
12 전면 표면 처리 거울 광택
13 최대. 크기 ≥0.3μm의 입자 30
14 · 상처, 안개, 에지 칩,
오렌지 껍질 및 기타 결함
15 후면 거울 광택
16 포장 요구 사항 진공 클래스 '10'로 밀봉하여 보관
environment in double layer packing.
Wafers should be shipped in Fluorware
ORION TWO wafer shippers or equivalent
make made from ultra clean polypropylene

 

1.3 Monitor Wafer/더미 웨이퍼

모니터 / 더미 실리콘 웨이퍼

웨이퍼 직경 우아한 웨이퍼 표면 웨이퍼 두께 저항 입자
정위
4 " 1 쪽 111분의 100 250-500μm 0-100 0.2μm≤qty30
6 " 1 쪽 100 500-675μm 0-100 0.2μm≤qty30
8 " 1 쪽 100 600-750μm 0-100 0.2μm≤qty30
12 " 2 쪽 100 650-775μm 0-100 0.09μm≤qty100

 

1.4 REGENERATED 200mm WAFERS

목# PARAMETER 단위 노트
1 성장 방법   CZ  
2 정위   1-0-0  
3 저항 Ωм.см 1-50  
4 종류 / 도펀트   р, N /  
붕소, 인
5 두께 мкм 1гр. - (620)  
2гр. - 650
3гр. - 680
4гр. - 700
5гр. - 720
6 GBIR (TTV мкм 1-3гр. <30  
4-5гр. <20
7 GLFR (TIR мкм <10  
8 경사 мкм <60  
9 мкм <40  
10 금속 오염 1 / см2 <3E10  
11 전면   우아한  
12 표면 비주얼 :      
안개, 긁힘, 얼룩, 명소   없음
오렌지 껍질   없음
균열, 크레이터   없음
13 앞면 LPD :     명시된 파라미터 값과 웨이퍼의 개수는 일괄하게는 80 % 이상이어야
<0,12мкм   <100
<0,16мкм   <50
<0,20мкм   <20
<0,30мкм   <10

2. Dummy Wafer Definition

Dummy wafer (also called as test wafers) is a Si dummy wafer mainly used for experiment and test and being different from general wafers for product. Accordingly, reclaimed wafers are mostly applied as dummy grade wafers (테스트 웨이퍼).

In each process, film thickness, pressure resistance, reflection index and presence of pinball are measured using dummy Si wafer(test wafer). Also, dummy wafers (test wafers) are used for measurement of pattern size, check of defect and so on in lithography.

모니터 웨이퍼 are the wafers to be used in the case that an adjustment is required in each production step prior to the actual IC production. For example, when the conditions of each process are set, such as the case of measuring tolerance of device against ( the variation of ) substrate thickness, monitor wafers are being used as a substitution of high-standard and high value wafers. Moreover, they are also used for the monitoring purpose in the process together with product wafers. Monitor wafers are necessary wafer materials as important as product prime wafers. They are also called as test wafers together with dummy wafers.

제품 세부 사항을 위해 또는 사양을 요구 한 경우, [email protected] 또는 [email protected]에 문의하시기 바랍니다.

시험 급 실리콘 웨이퍼 1

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-2

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-3

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-4

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-5

시험 급 실리콘 웨이퍼 -6-

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-7

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-8

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-9

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-10

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-11

8″ Dummy Grade Silicon Wafer

12″ Dummy Grade Silicon Wafer Thickness 700-730um

12″ Dummy Grade Silicon Wafer Thickness 650-700um

12 "테스트 학년 실리콘 웨이퍼

4″ Test Grade Silicon Wafers with Single Side Polished

12”Dummy wafer

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