테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼

테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼

PAM-하문은 더미 웨이퍼를 제공 / 테스트 웨이퍼 / 모니터 웨이퍼를

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제품 설명

테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼

PAM-하문 행사더미 웨이퍼/테스트 웨이퍼/모니터 웨이퍼

더미 웨이퍼(또한라고도테스트 웨이퍼)는 주로 웨이퍼를 실험 테스트 및 상이한 사용되는

제품에 대한 일반 웨이퍼에서. 따라서, 재생 웨이퍼로 주로 적용더미 웨이퍼(테스트 웨이퍼).

더미 웨이퍼종종 생산 과정의 시작 부분에서 안전을 개선하기 위해 생산 장치에 사용되며,

배달 확인 및 프로세스 형태의 평가를 위해 사용된다. 같이더미 웨이퍼종종 실험 및 테스트에 사용됩니다,

크기와 두께는 대부분의 경우에 중요한 요소입니다.

각 공정에있어서, 막 두께, 내압성, 반사 지수 및 핀볼의 존재가 측정되고

더미 웨이퍼(테스트 웨이퍼). 또한,더미 웨이퍼(테스트 웨이퍼)는 패턴의 크기, 검사의 측정에 사용되는

결함 등의 리소그래피있다.

모니터 웨이퍼웨이퍼는 조정이 각 제조 공정에서 요구되는 경우에 사용되어야

실제 IC 제작에 앞서. 예컨대, 각 공정의 조건 등의 경우와 같이, 설정된

(의 변화)의 기판 두께에 대해 장치의 오차를 측정모니터 웨이퍼로 사용되는

고 규격 및 고가의 웨이퍼 교체. 또한, 그들은 또한 모니터링 목적에 사용된다

제품 웨이퍼와 함께 방법.모니터 웨이퍼제품의 중요한 필요 웨이퍼 물질은

주요 웨이퍼. 그들은 또한으로 불린다테스트 웨이퍼함께더미 웨이퍼.

제품 세부 사항을 위해 또는 사양을 요구 한 경우, luna@powerwaywafer.com 또는 powerwaymaterial@gmail.com에 문의하시기 바랍니다.

 

테스트 웨이퍼

싱글 사이드 광택을테스트 웨이퍼N 형 (200Nos)

SL 없음 SCL 사양
1 성장 방법 CZ
2 웨이퍼 직경 150 ± 0.5mm의
3 웨이퍼 두께 675 ± 25 ㎛의
4 웨이퍼 표면 방향 <100> ± 2 °
5 도펀트
6 전위 밀도 이하 5000 / cm2
8 저항 4-7Ωcm
9 레이디 얼 저항 변화 (최대.) 15 %
10 평탄
10A · BOW (최대.) 60 μm의
(10B) · TIR (최대.) 6 μm의
10C · 테이퍼 (최대.) 12 μm의
(d) · WARP (최대.) 60 μm의
11 플랫 차
11A · 길이 57.5 ± 2.5 mm
11B · 오리엔테이션 {110} SEMI 표준에 따라 ± 2 °
11C 플랫 차 SEMI 표준에 따라
12 전면 표면 처리 거울 광택
13 최대. 크기 ≥0.3μm의 입자 30
14 · 상처, 안개, 에지 칩, 오렌지 껍질 및 기타 결함
15 후면 손상없는 식각
16 포장 요구 사항 진공 이중층 packing.Wafers 클래스 '10'environment 내에 밀봉되어야한다 Fluorware ORION 두 웨이퍼 선적 또는 초 세정 폴리 프로필렌으로 만들어진 화장 등가 발송되어야

 

더블 사이드 광택을테스트 웨이퍼N 타입 (150 호)

SL 없음 SCL 사양
1 성장 방법 CZ
2 웨이퍼 직경 150 ± 0.5mm의
3 웨이퍼 두께 675 ±의 25μm 인
4 웨이퍼 표면 방향 <100> ± 2 °
5 도펀트
6 전위 밀도 이하 5000 / cm2
8 저항 4-7Ωcm
9 레이디 얼 저항 변화 (최대.) 15 %
10 평탄
10A · BOW (최대.) 60 μm의
(10B) · TIR (최대.) 6 μm의
10C · 테이퍼 (최대.) 12 μm의
(d) · WARP (최대.) 60 μm의
11 플랫 차
11A · 길이 57.5 ± 2.5 mm
11B · 오리엔테이션 {110} SEMI 표준에 따라 ± 2 °
11C 플랫 차 SEMI 표준에 따라
12 전면 표면 처리 거울 광택
13 최대. 크기 ≥0.3μm의 입자 30
14 · 상처, 안개, 에지 칩,
오렌지 껍질 및 기타 결함
15 후면 거울 광택
16 포장 요구 사항 진공 클래스 '10'로 밀봉하여 보관
environment in double layer packing.
Wafers should be shipped in Fluorware
ORION TWO wafer shippers or equivalent
make made from ultra clean polypropylene

 

모니터 웨이퍼/더미 웨이퍼

모니터 / 더미 실리콘 웨이퍼

웨이퍼 직경 우아한 웨이퍼 표면 웨이퍼 두께 저항 입자
정위
4 " 1 쪽 111분의 100 250-500μm 0-100 0.2μm≤qty30
6 " 1 쪽 100 500-675μm 0-100 0.2μm≤qty30
8 " 1 쪽 100 600-750μm 0-100 0.2μm≤qty30
12 " 2 쪽 100 650-775μm 0-100 0.09μm≤qty100

 

재생 200mm 웨이퍼

목# PARAMETER 단위 노트
1 성장 방법 CZ
2 정위 1-0-0
3 저항 Ωм.см 1-50
4 종류 / 도펀트 р, N /
붕소, 인
5 두께 мкм 1гр. - (620)
2гр. - 650
3гр. - 680
4гр. - 700
5гр. - 720
6 GBIR (TTV мкм 1-3гр. <30
4-5гр. <20
7 GLFR (TIR мкм <10
8 경사 мкм <60
9 мкм <40
10 금속 오염 1 / см2 <3E10
11 전면 우아한
12 표면 비주얼 :
안개, 긁힘, 얼룩, 명소 없음
오렌지 껍질 없음
균열, 크레이터 없음
13 앞면 LPD : 명시된 파라미터 값과 웨이퍼의 개수는 일괄하게는 80 % 이상이어야
<0,12мкм <100
<0,16мкм <50
<0,20мкм <20
<0,30мкм <10

 

시험 급 실리콘 웨이퍼 1

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-2

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-3

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-4

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-5

시험 급 실리콘 웨이퍼 -6-

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-7

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-8

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-9

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-10

시험 등급의 실리콘 웨이퍼-11

8″ Dummy Grade Silicon Wafer

12″ Dummy Grade Silicon Wafer Thickness 700-730um

12″ Dummy Grade Silicon Wafer Thickness 650-700um

12 "테스트 학년 실리콘 웨이퍼

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