테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼
PAM-XIAMEN은 더미 웨이퍼 제조사로서 실리콘 더미 웨이퍼 / 테스트 웨이퍼 / 모니터 웨이퍼를 제공하며, 이는 생산 공정 초기에 안전성을 향상시키기 위해 생산 장치에 사용되며 납품 확인 및 공정 형태 평가에 사용됩니다. 더미 실리콘 웨이퍼는 실험 및 테스트에 자주 사용되기 때문에 크기와 두께가 대부분의 경우 중요한 요소입니다. 100mm, 150mm, 200mm 또는 300mm 더미 웨이퍼를 사용할 수 있습니다.
- 기술
제품 설명
테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼
PAM-XIAMEN은 더미 웨이퍼 제조사로서 실리콘 더미 웨이퍼 / 테스트 웨이퍼 / 모니터 웨이퍼를 제공하며, 이는 생산 공정 초기에 안전성을 향상시키기 위해 생산 장치에 사용되며 납품 확인 및 공정 형태 평가에 사용됩니다. 더미 실리콘 웨이퍼는 실험 및 테스트에 자주 사용되기 때문에 크기와 두께가 대부분의 경우 중요한 요소입니다. 100mm, 150mm, 200mm 또는 300mm 더미 웨이퍼를 사용할 수 있습니다.
1. 웨이퍼 목록 테스트
1.1 단면 연마 테스트 웨이퍼 N형(200Nos)
| SL 없음 | 목 | SCL 사양 |
| 1 | 성장 방법 | CZ |
| 2 | 웨이퍼 직경 | 150 ± 0.5mm의 |
| 3 | 웨이퍼 두께 | 675 ± 25 ㎛의 |
| 4 | 웨이퍼 표면 방향 | <100> ± 2 ° |
| 5 | 도펀트 | 인 |
| 6 | 전위 밀도 | 이하 5000 / cm2 |
| 8 | 저항 | 4-7Ωcm |
| 9 | 레이디 얼 저항 변화 (최대.) | 15 % |
| 10 | 평탄 | |
| 10A | · BOW (최대.) | 60 μm의 |
| (10B) | · TIR (최대.) | 6 μm의 |
| 10C | · 테이퍼 (최대.) | 12 μm의 |
| (d) | · WARP (최대.) | 60 μm의 |
| 11 | 플랫 차 | |
| 11A | · 길이 | 57.5 ± 2.5 mm |
| 11B | · 오리엔테이션 | {110} SEMI 표준에 따라 ± 2 ° |
| 11C | 플랫 차 | SEMI 표준에 따라 |
| 12 | 전면 표면 처리 | 거울 광택 |
| 13 | 최대. 크기 ≥0.3μm의 입자 | 30 |
| 14 | · 상처, 안개, 에지 칩, 오렌지 껍질 및 기타 결함 | 무 |
| 15 | 후면 | 손상없는 식각 |
| 16 | 포장 요구 사항 | 진공 이중층 packing.Wafers 클래스 '10'environment 내에 밀봉되어야한다 Fluorware ORION 두 웨이퍼 선적 또는 초 세정 폴리 프로필렌으로 만들어진 화장 등가 발송되어야 |
1.2 양면 연마 테스트 웨이퍼 N형(150개)
| SL 없음 | SCL 사양 | |
| 1 | 성장 방법 | CZ |
| 2 | 웨이퍼 직경 | 150 ± 0.5mm의 |
| 3 | 웨이퍼 두께 | 675 ±의 25μm 인 |
| 4 | 웨이퍼 표면 방향 | <100> ± 2 ° |
| 5 | 도펀트 | 인 |
| 6 | 전위 밀도 | 이하 5000 / cm2 |
| 8 | 저항 | 4-7Ωcm |
| 9 | 레이디 얼 저항 변화 (최대.) | 15 % |
| 10 | 평탄 | |
| 10A | · BOW (최대.) | 60 μm의 |
| (10B) | · TIR (최대.) | 6 μm의 |
| 10C | · 테이퍼 (최대.) | 12 μm의 |
| (d) | · WARP (최대.) | 60 μm의 |
| 11 | 플랫 차 | |
| 11A | · 길이 | 57.5 ± 2.5 mm |
| 11B | · 오리엔테이션 | {110} SEMI 표준에 따라 ± 2 ° |
| 11C | 플랫 차 | SEMI 표준에 따라 |
| 12 | 전면 표면 처리 | 거울 광택 |
| 13 | 최대. 크기 ≥0.3μm의 입자 | 30 |
| 14 | · 상처, 안개, 에지 칩, | 무 |
| 오렌지 껍질 및 기타 결함 | ||
| 15 | 후면 | 거울 광택 |
| 16 | 포장 요구 사항 | 진공 클래스 '10'로 밀봉하여 보관 |
| 이중층 포장의 환경. | ||
| 웨이퍼는 Fluorware로 배송되어야 합니다. | ||
| ORION TWO 웨이퍼 화주 또는 동급 | ||
| 매우 깨끗한 폴리프로필렌으로 만든 |
1.3 모니터 웨이퍼/더미 웨이퍼
모니터 / 더미 실리콘 웨이퍼
| 웨이퍼 직경 | 우아한 | 웨이퍼 표면 | 웨이퍼 두께 | 저항 | 입자 |
| 정위 | |||||
| 4 " | 1 쪽 | 111분의 100 | 250-500μm | 0-100 | 0.2μm≤qty30 |
| 6 " | 1 쪽 | 100 | 500-675μm | 0-100 | 0.2μm≤qty30 |
| 8 " | 1 쪽 | 100 | 600-750μm | 0-100 | 0.2μm≤qty30 |
| 12 " | 2 쪽 | 100 | 650-775μm | 0-100 | 0.09μm≤qty100 |
1.4 재생된 200mm 웨이퍼
| 목# | PARAMETER | 단위 | 값 | 노트 |
| 1 | 성장 방법 | CZ | ||
| 2 | 정위 | 1-0-0 | ||
| 3 | 저항 | Ωм.см | 1-50 | |
| 4 | 종류 / 도펀트 | р, N / | ||
| 붕소, 인 | ||||
| 5 | 두께 | мкм | 1гр. - (620) | |
| 2гр. - 650 | ||||
| 3гр. - 680 | ||||
| 4гр. - 700 | ||||
| 5гр. - 720 | ||||
| 6 | GBIR (TTV | мкм | 1-3гр. <30 | |
| 4-5гр. <20 | ||||
| 7 | GLFR (TIR | мкм | <10 | |
| 8 | 경사 | мкм | <60 | |
| 9 | 활 | мкм | <40 | |
| 10 | 금속 오염 | 1 / см2 | <3E10 | |
| 11 | 전면 | 우아한 | ||
| 12 | 표면 비주얼 : | |||
| 안개, 긁힘, 얼룩, 명소 | 없음 | |||
| 오렌지 껍질 | 없음 | |||
| 균열, 크레이터 | 없음 | |||
| 13 | 앞면 LPD : | 명시된 파라미터 값과 웨이퍼의 개수는 일괄하게는 80 % 이상이어야 | ||
| <0,12мкм | <100 | |||
| <0,16мкм | <50 | |||
| <0,20мкм | <20 | |||
| <0,30мкм | <10 |
1.5 코인롤 실리콘 웨이퍼
사양: 12", 베어 실리콘, 두께 >750um, 노치, IPA, DI 워터를 울트라 소닉으로 처리할 약간의 스크래치 및 얼룩. (PAM171117-SI)
2. 더미 웨이퍼 정의
더미 웨이퍼(테스트 웨이퍼라고도 함)은 주로 실험 및 테스트에 사용되는 Si 더미 웨이퍼로 일반 제품용 웨이퍼와 다릅니다. 따라서 재생 웨이퍼는 대부분 더미 등급 웨이퍼(테스트 웨이퍼).
각 공정에서 더미 Si 웨이퍼(테스트 웨이퍼)를 이용하여 막두께, 내압성, 반사율, 핀볼 유무를 측정한다. 또한 더미 웨이퍼(테스트 웨이퍼)는 리소그래피에서 패턴 크기 측정, 결함 검사 등에 사용됩니다.
모니터 웨이퍼실제 IC 생산에 앞서 각 생산 단계에서 조정이 필요한 경우에 사용되는 베어 실리콘 웨이퍼입니다. 예를 들어, 기판 두께에 대한 소자의 허용오차(변화)를 측정하는 경우와 같이 각 공정의 조건이 설정될 때, 스페이서 웨이퍼용 코인롤 실리콘 웨이퍼는 고수준 및 고부가가치 웨이퍼의 대체품으로 사용되고 있다. . 또한 제품 웨이퍼와 함께 공정에서 모니터링 목적으로도 사용됩니다. 모니터 웨이퍼는 제품 프라임 웨이퍼만큼 중요한 웨이퍼 재료입니다. 더미 웨이퍼와 함께 테스트 웨이퍼라고도 합니다.
제품 세부 사항을 위해 또는 사양을 요구 한 경우, luna@powerwaywafer.com 또는 powerwaymaterial@gmail.com에 문의하시기 바랍니다.
12″ 더미 그레이드 실리콘 웨이퍼 두께 700-730um
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