<111>을 향한 방향 (110)을 갖는 단결정 게르마늄 웨이퍼
방향을 가진 단결정 게르마늄 웨이퍼 (110)는 4 도로 <111>을 향해 잘못 입력했다. 또는 12도. Dopant없이 제공됩니다. 실리콘과 유사한 화학적 특성으로 인해 단결정 게르마늄은 유사한 응용을 가지고 있습니다. 홀 효과 게르마늄 웨이퍼는 감마 방사선에 대한 감도가 높으며 사진의 응용을 감지하는 데 효과적입니다. 따라서, 단결정 게르마늄 웨이퍼는 LED, 섬유 광학, 태양 전지 및 적외선 광학과 같은 광분해 요건이 높은 응용 분야의 주요 옵션입니다. 더 많은Ge 웨이퍼(110) <111>에 대한 오해와 함께 : 아래를 참조하십시오.
1. 잘못된 모노 크라이언트 GE의 사양
No.1 단결정 GE 웨이퍼 (PAMP21040)
4 인치 GE (110) 웨이퍼 4도. <111>
도핑되지 않은,
두께 : 300 ± 25UM
단면 광택
No.2 단일 결정 GE 기판 (PAMP21256)
4 인치 GE (110), 12도 웨이퍼
도핑되지 않은,
두께 : 300 ± 25UM
단면 광택
'(110) 웨이퍼의 결정 방향은 <1111>'에 대한 오해와 동일합니다.
2. 기준-단결정 게르마늄 웨이퍼의 방향을 감지하기위한 X- 선 회절 기준
게르마늄 단결정 웨이퍼의 결정 방향은 X- 선 회절 방법에 의해 결정될 수있다. 구체적으로, λ의 파장을 갖는 단색 X- 선의 빔이 게르마늄 결정의 표면에 발생하고, 결정의 주요 결정 평면 사이의 방목 각도 θ는 Bragg의 법칙을 준수 할 때, X- 선 회절이 발생할 것이다. 카운터는 회절 라인을 검출하는 데 사용되며, 결정의 주요 결정 방향은 회절 라인의 위치에 따라 결정될 수있다. 게르마늄 단결정의 결정 방향은 X- 선 방향기구에 의해 결정된다. 일반적으로, 구리 표적의 KA 방사선이 사용된다. 니켈 필터 후, 대략적인 단색 X- 선은 파장 λ = 0.154178NM으로 얻을 수있다. Bragg 공식 :
adsin θ = nλ (1)
공식 :
"θ"는 브래그 각도 (방목 각도),도 (분)입니다.
"λ"는 X- 선 파장, λcuka = 0.154178nm을 나타냅니다.
"N"은 간섭 수준, 긍정적 인 정수입니다.
"D"는 회절 결정 평면 사이의 거리입니다.
d=a/√h2+k2+l2(2)
공식 :
"A"는 격자 상수, a = 5.6575 (GE)입니다.
"H, K, L"은 결정 평면 지수 (Miller Index)를 나타냅니다.
입사 X 빔, 회절 된 X 빔 및 회절 표면의 정상은 동일한 평면에 있으며, 회절 된 X 빔과 투과 된 X 빔 사이의 각도는 2θ이다.
CUKD 방사선이 입사 X- 빔 (in = 0.154178nm)으로 사용될 때, Germanium의 낮은 인덱스 결정 평면에서 회절하는 브래그 각도 (방목 각도)는 다음 표에서와 같이 표시됩니다.
| 회절 각도 | 브래그 각도 θ | ||
| h | 케이 | 엘 | |
| 1 | 1 | 1 | 13°39' |
| 2 | 2 | 0 | 22°40' |
| 3 | 1 | 1 | 26°52' |
| 4 | 0 | 0 | 33°02' |
| 3 | 3 | 1 | 36°26' |
| 4 | 2 | 2 | 41°52' |
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