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웨이퍼 절단으로 인해 발생하는 비정상적인 결함: 진단, 메커니즘 및 관련 장애와 구별하는 방법

웨이퍼 절단으로 인해 발생하는 비정상적 결함: 진단, 메커니즘 및 관련 결함과 구별하는 방법 웨이퍼 절단 공정에서 비정상적인 결함이 관찰되고 근본 원인이 조사되었습니다. 고전적이고 잘 알려진 고장 외에도 다음과 같은 고장 메커니즘이 발견되었습니다. 하전된 물방울로 인한 표면 ESD(ESDFOS) 및 [...]