비냉각 적외선(IR) 초점면 검출기는 냉장 장치 없이 상온에서 작동할 수 있는 검출기 중 하나로 빠른 기동, 저전력 소모, 소형, 경량, 장수명, 저비용 등 많은 장점을 가지고 있다. 그리고 마이크로볼로미터의 기술은 열전대/열전대, 강유전체 등과 같은 다른 유형을 극복하여 비냉각 적외선 감지기의 주류 기술 방향이 되었으며 이 분야에서 거의 전체 시장 점유율을 차지합니다. 비냉각 적외선 감지기 어레이의 센서 재료 제공PAM-하문VOX입니다. 자세한 내용은 아래 표를 참조하십시오.

1. 비냉각식 적외선 검출기 사양

2. 비냉각식 IR 감지기 소개

적외선 감지기에는 냉각식 적외선 감지기와 비냉각식 감지기의 두 가지 유형이 있습니다. 비냉각식 적외선 감지기는 상온 근처에서 작동하며 대상의 입사 적외선을 전기적인 비디오 신호로 변환할 수 있는 이미징 센서를 말합니다. 다양한 작동 원리에 따라 비냉각식 IR 감지는 초전기, 열전퇴, 열 다이오드 및 마이크로볼로미터 유형으로 나눌 수 있습니다. 그 중 마이크로볼로미터는 서미스터형 센서이다. 적외선이 냉각되지 않은 적외선 센서를 조사한 후 센서의 온도가 상승하고 열 필름의 저항 값이 변경됩니다. Microbolometer 감지기는 가장 성숙한 기술과 가장 높은 시장 점유율을 자랑하는 주류 비냉각식 적외선 초점면 감지기입니다.

Microbolometer의 픽셀 구조 개략도

비냉각식 감지기의 열 소자의 주요 재료는 주로 바나듐 산화물(VOx)과 비정질 실리콘(α-Si)입니다. 그리고 VOx 재료는 TCR이 높고(상온에서 약 2%/K~3%/K), 그 준비 기술은 수년간의 개발 끝에 매우 성숙했으며 비냉각식 마이크로볼로미터 카메라에 널리 사용되었습니다.

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