SiC 웨이퍼의 색상이 다른 이유는 무엇입니까?

SiC 웨이퍼의 색상이 다른 이유는 무엇입니까?

SiC 웨이퍼의 넓은 밴드 갭으로 인해 SiC는 가시광 선의 일부 또는 거의 전부를 흡수하지 않습니다. 흡수 된 빛의 파장은 밴드 갭, 주요 불순물의 에너지 수준 및 밴드의 여기 에너지 수준에 따라 달라집니다. 전도대에서 캐리어 흡수가 대부분의 SiC 폴리 타입에 존재한다는 것은 잘 알려져 있습니다. n 형 4H SiC의 경우 460m (청색 표시 등)에서 발생하는 반면 n 형 6h SiC 웨이퍼, 620 nm (적색광)에서 발생합니다. 고순도 4H SiC 및 6h SiC는 밴드 갭이 넓고 유리처럼 무색 투명합니다. 그러나 n 형 또는 p 형 도핑은 가시 범위에서 캐리어 흡수를 유도하고 고유 한 광 흡수 및 투과 특성으로 각 SiC 결정에 고유 한 색상을 부여합니다. 아래 표 1은 도핑 유형이 다른 주요 SiC 다 형체의 색상을 요약 한 것입니다. 도펀트 농도가 증가함에 따라 SiC 결정의 색상이 어두워 짐에 따라 색상과 색 심도가 도펀트 유형 및 농도의 좋은 지표가됩니다. SiC 결정의 색상은 n 형 재료의 다 형체를 식별하는데도 좋은 표시입니다.

표 1 : 다양한 폴리 타입의 SiC 웨이퍼 색상

다형 다형 N 유형 P 유형
3C-SiC 노란색 노란색 회갈색
4H-SiC를 무색 호박색 블루
6H-SiC를 무색 녹색 블루
15R-SiC 무색 노란색 블루

 

 

 

 

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