Dengan kemajuan berterusan teknologi semikonduktor, peranti semikonduktor seperti LED, sel fotovoltaik, laser semikonduktor, dan lain-lain telah digunakan secara meluas dalam kehidupan dan kerja harian manusia. Untuk memastikan kawalan kualiti dan kos dalam proses pengeluaran peranti semikonduktor, secara amnya perlu melakukan pelbagai ujian prestasi dalam talian pada peranti semikonduktor dalam proses pengeluaran. Mengambil LED sebagai contoh, dalam proses pembuatan LED, biasanya perlu melakukan ujian electroluminescence (EL) pada wafer epitaxial LED.
Untuk memastikan prestasi wafer LED yang ditawarkan oleh kami (lebih banyak spesifikasi wafer sila lihat:https://www.powerwaywafer.com/gan-wafer/epitaxial-wafer.html), kami akan menguji prestasi wafer selepas ia dibuat. Di bawah ini kami menerangkan teknik ujian electroluminescence yang dilakukan pada wafer LED GaAs kami:
1. Wafer LED Merah berasaskan GaA untuk Ujian EL
| struktur | Ketebalan (nm) |
| C-GaP | – |
| Mg-GaP | – |
| Mg-AlGaInP (lapisan peralihan) | – |
| Mg-AlInP | – |
| AlInP | – |
| MQW: AlGaInP | – |
| Si-AlInP | – |
| Si-Al0.6GaInP | – |
| Si-GaInP | 8.8 |
| Si-GaAs (lapisan sentuhan ohm) | – |
| Si-GaInP (lapisan terukir) | – |
| Si-GaAs (lapisan penampan) | – |
| GaAs substrat |
2. Apakah itu Electroluminescence?
Electroluminescence juga dipanggil pendaran medan. Pada masa ini, teknologi pengimejan electroluminescence telah digunakan oleh banyak pengeluar sel solar dan modul untuk mengesan potensi kecacatan produk dan mengawal kualiti produk.
Bagi filem electroluminescence LED, spektroskopi electroluminescence ialah teknik penting untuk mencirikan LED baharu dan memudahkan pembangunannya. Prestasi peranti pemancar cahaya boleh dikaji oleh electroluminescence dan spektroskopi penyelesaian masa. Mengikut spektrum pelepasan, koordinat kromatik dan indeks pemaparan warna LED, serta sifat asas seperti jurang jalur semikonduktor boleh dikira.
3. How to Do the Electroluminescence Testing?
Pengukuran EL biasanya dilakukan pada peranti siap (seperti LED) kerana ia memerlukan struktur peranti untuk menyuntik arus. Alat ujian electroluminescence menggunakan arus hadapan 1-40mA ke sel, bertindak pada kedua-dua belah simpang resapan, dan tenaga elektrik mengujakan atom dalam keadaan dasar, menjadikannya dalam keadaan teruja, dan atom dalam teruja keadaan tidak stabil dan menjalankan sinaran spontan. Melalui fungsi penapis dan tahap pendedahan filem untuk memahami peralihan intrinsik dalam pelepasan spontan; melalui hubungan antara hayat pembawa minoriti, ketumpatan dan keamatan cahaya, daripada tahap pendedahan filem, untuk menilai sama ada terdapat kecacatan pada wafer epi LED GaAs.
Apabila melakukan ujian El untuk wafer LED di atas, kami menguji di tengah wafer, pilih beberapa titik, dan kemudian menguji pada arus 20mA. Data electroluminescence yang kami uji ditunjukkan seperti rajah di bawah:
4. FAQ for GaAs LED Wafer
Q: How do you typically make contact to the GaP:C p-contact layer of GaAs LED wafer? For example, ITO or Ti/Pt/Au?
A: Usually we make ITO as contact for GaAs LED epitaxy.
Remark：
The Chinese government has announced new limits on the exportation of Gallium materials (such as GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs, and GaSb) and Germanium materials used to make semiconductor chips. Starting from August 1, 2023, exporting these materials is only allowed if we obtains a license from the Chinese Ministry of Commerce. Hope for your understanding and cooperation!
Untuk maklumat lanjut, sila hubungi kami e-mel divictorchan@powerwaywafer.com dan powerwaymaterial@gmail.com.