Bagaimana Cip Silicon Carbide (SiC) Dibuat?

Bagaimana Cip Silicon Carbide (SiC) Dibuat?

Bagaimanakah cip silikon karbida (SiC) dibuat? Secara umumnya, kerepek ialah produk separuh siap yang telah dipotong daripada wafer.PAM-XIAMEN boleh menawarkan wafer SiC untuk membuat kerepek, spesifikasi lanjut sila rujukhttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer. Setiap wafer menyepadukan ratusan cip, dan setiap cip terdiri daripada beribu-ribu sel. Jadi, bagaimana untuk membuat sel?

Langkah pertama: Topeng suntikan. Wafer dibersihkan pada mulanya, lapisan filem silikon oksida didepositkan, dan kemudian corak photoresist terbentuk melalui gam seragam, pendedahan, pembangunan. Akhirnya corak dipindahkan ke topeng etching melalui proses etching.

Langkah kedua: Implantasi ion. Letakkan wafer bertopeng ke dalam implanter ion dan implan ion bertenaga tinggi. Kemudian, topeng dikeluarkan dan disepuhlindap untuk mengaktifkan ion yang ditanam.

Langkah ketiga: Membuat grid. Lapisan oksida get dan lapisan elektrod get didepositkan secara berurutan pada wafer untuk membentuk struktur kawalan aras get.

Langkah keempat: Membuat lapisan pempasifan. Lapisan dielektrik dengan sifat penebat yang baik diendapkan untuk mengelakkan kerosakan antara elektrod.

Langkah kelima: Membuat elektrod sumber saliran. Lubang dibuka pada lapisan pempasifan, dan logam terpercik untuk membentuk elektrod sumber saliran.

Apabila voltan positif dikenakan di antara elektrod sumber saliran dan elektrod sumber get, saluran terbuka, elektron mengalir dari punca ke longkang, dan arus mengalir dari longkang ke punca.

Peranti kuasa asas (sel) telah dibuat.

Cip SiC boleh meningkatkan kecekapan kerja dengan berkesan, mengurangkan kehilangan tenaga, mengurangkan pelepasan karbon, meningkatkan kebolehpercayaan sistem, mengurangkan volum dan menjimatkan ruang.

Sila klik pautan untuk menonton video pendek membuat cip SiC:https://youtu.be/8EyJApHZBJ8

powerwaywafer

Untuk maklumat lebih lanjut, sila hubungi kami melalui e-mel di [email protected] dan [email protected].

Kongsi catatan ini