Bagi filem nipis yang dihasilkan, di antara banyak sifatnya, ketebalan dan keseragaman filem adalah parameter yang paling kritikal. Oleh itu, memantau dan mengawal ketebalan dan keseragaman filem nipis telah menjadi bahagian penting dan tidak boleh diketepikan dalam pengeluaran perindustrian.Jika anda memerlukannya, PAM-XIAMEN boleh membekalkannyawafer semikonduktordengan perkhidmatan pengukuran optik.Ambil filem LiNbO3 pada Silicon Wafer sebagai contoh.
1. Ketebalan Filem LiNbO3 Diuji oleh Pengukuran Berasaskan Optik
Kami menghasilkan wafer dan menguji ketebalan filem untuk pelanggan kami. Data yang ditunjukkan seperti rajah di bawah diuji oleh teknologi pengukuran optik. Untuk kaedah ujian khusus, sila e-mel ditech@powerwaywafer.com.
Ketebalan Filem LiNbO3 Diuji oleh Pengukuran Optik
2. Sistem Pengukuran Optik Bukan Kenalan
Di antara pelbagai kaedah untuk mengesan ketebalan filem, pengukuran optik adalah salah satu kaedah yang paling banyak digunakan kerana bukan sentuhan, kepekaan tinggi, ketepatan tinggi dan metrologi dua dimensi imej optik. Selain itu, ia mempunyai kelebihan iaitu pantas, tepat dan tidak merosakkan filem berbanding kaedah lain.
Dari sudut pandangan teori, mengikut prinsip optik yang berasaskan kaedah pengukuran, ia boleh dikelaskan kepada gangguan, pembelauan, penghantaran, pantulan, polarisasi dan kaedah lain. Di dalamnya, teknik pengukuran optik termasuk pinggir gangguan gelang Newton, interferometer Michelson, elipsometri, gangguan cahaya putih dan kaedah lain. Untuk mengetahui kaedah dengan lebih baik, kelebihan dan kekurangan kaedah ini disenaraikan dalam jadual.
| Keburukan | Kelebihan | |
| cincin Newton | Pengukuran sebenar adalah sukar | Instrumen mudah dan mudah alih |
| Interferometer Michelson | Gelung nombor manual mudah menyebabkan ralat besar | Ia berpotensi untuk dibangunkan menjadi ukuran mudah alih automatik ketebalan filem yang ringan |
| Ellipsometer | Ia dipengaruhi oleh faktor seperti lapisan antara muka, model matematik yang kompleks diperlukan untuk menyelesaikan ketebalan | Ia mempunyai sensitiviti yang lebih tinggi |
| Interferometer cahaya putih | Cahaya tungsten Deuterium-halogen lemah dan mudah terjejas oleh persekitaran | Ia mempunyai ketepatan tinggi, membolehkan pemantauan dalam talian ketebalan filem |
We specifically introduce the optical measurement system of ellipsometry and white light interferometry as follows:
2.1 Ellipsometry to Measure Thin Film Thickness
Ellipsometry is an optical method to study the phenomenon of light at the interface of two media and the characteristics of the medium. Its principle is to use the change of polarization state that occurs when polarized light is reflected or transmitted at the interface.
Ellipsometry has a wide range of applications, such as the study of optical properties such as semiconductors, optical masks, wafers, metals, dielectric films, glass (or coatings), laser mirrors, large-area optical films, organic films, etc. It also can be used for measurements of electricity, amorphous semiconductors, polymer films, and real-time monitoring of film growth processes. Combined with a computer, it has the advantages of manually changing the incident angle, real-time measurement, and fast data acquisition.
2.2 Measurement of Film Thickness by White Light Interferometry
Interferometer ialah alat optik yang menggunakan prinsip gangguan untuk mengukur perbezaan dalam laluan optik untuk menentukan kuantiti fizik yang berkaitan. Sebarang perubahan dalam perbezaan laluan optik antara dua rasuk koheren akan sangat sensitif membawa kepada pergerakan pinggir gangguan, dan perubahan laluan optik bagi rasuk cahaya koheren tertentu disebabkan oleh laluan geometri yang dilaluinya atau perubahan dalam indeks biasan. daripada medium, jadi melalui gangguan Perubahan pergerakan di pinggir mengukur perubahan kecil dalam panjang geometri atau indeks biasan, dengan itu kuantiti fizik lain yang berkaitan dengan ini diukur.
Ketepatan pengukuran ditentukan oleh ketepatan mengukur perbezaan laluan optik. Setiap kali pinggir gangguan bergerak mengikut satu jarak pinggir, perbezaan laluan optik berubah dengan satu panjang gelombang (~10-7 meter), jadi interferometer mengukur perbezaan laluan optik dalam unit panjang gelombang cahaya. Ketepatan pengukuran yang tinggi tidak dapat ditandingi oleh mana-mana kaedah pengukuran lain.
Menggunakan peralatan pengukuran optik berdasarkan prinsip gangguan cahaya putih untuk menentukan ketebalan filem optik, ketebalan filem yang boleh diukur ialah 10nm ~ 50um dan resolusi ialah 1nm.
Untuk maklumat lanjut, sila hubungi kami e-mel divictorchan@powerwaywafer.com dan powerwaymaterial@gmail.com.