Apakah Langkah Pemprosesan selepas Kristal Silikon Tumbuh?

Apakah Langkah Pemprosesan selepas Kristal Silikon Tumbuh?

Sebagai pembekal wafer semikonduktor, wafer silikon oleh FZ atau CZ disediakan pada gred perdana, gred ujian dan sebagainya. Lebih banyak spesifikasi wafer, sila lihathttps://www.powerwaywafer.com/silicon-wafer. Pasca pemprosesan kristal silikon daripada PAM-XIAMEN diperkenalkan di bawah.

Selepas kristal silikon ditanam, keseluruhan pengeluaran wafer hanya separuh jalan. Seterusnya, kristal mesti dipotong dan diuji. Batang kristal yang dipotong kepala dan ekornya akan menjalani beberapa siri pemprosesan seperti pengisaran dan penghirisan diameter luar.

1. Menghiris Kristal Silikon

Untuk masa yang lama, penghirisan wafer telah menggunakan gergaji diameter dalam. Bilah gergaji adalah bilah nipis berbentuk cincin, dan pinggir diameter dalam bertatahkan zarah berlian. Elakkan pecah yang disebabkan oleh bilah yang meninggalkan jongkong semasa peringkat pemotongan akhir.

penghirisan wafer

Menghiris Wafer

Ketebalan, haluan dan meledingkan wafer yang dihiris adalah titik utama kawalan proses.

Sebagai tambahan kepada kestabilan dan reka bentuk mesin pemotong itu sendiri, faktor yang mempengaruhi kualiti wafer mempunyai pengaruh yang besar terhadap ketegangan mata gergaji dan penyelenggaraan ketajaman berlian.

2. Pembundaran Tepi Wafer Silikon Diced

Tepi wafer potong baru ialah sudut tepat tajam berserenjang dengan satah pemotongan. Oleh kerana ciri-ciri bahan keras dan rapuh kristal tunggal silikon, sudut ini mudah retak, yang bukan sahaja menjejaskan kekuatan wafer, tetapi juga merupakan sumber zarah pencemaran dalam proses. Dalam fabrikasi semikonduktor seterusnya, pinggir wafer yang tidak diproses juga mempengaruhi ketebalan kumpulan optik dan lapisan epitaxial, dan bentuk tepi dan diameter luar wafer yang dihiris secara automatik dipangkas oleh mesin berangka komputer.

Namun, peralatan yang diperlukan mahal dan tahap teknikalnya tinggi. Melainkan diperlukan oleh pelanggan, proses ini tidak akan dijalankan.

pembulatan tepi

Pembundaran Tepi Wafer

3. Lapping Wafer Silikon

Tujuan lapping adalah untuk menghilangkan tanda gergaji atau lapisan kerosakan permukaan yang disebabkan oleh pengisaran dadu atau roda, dan pada masa yang sama membawa permukaan wafer kepada kerataan yang boleh digilap.

laping wafer

wafer Lapping

4. Goresan Wafer Silikon

Selepas proses pemprosesan yang disebutkan di atas, lapisan yang rosak terbentuk pada permukaan wafer silikon disebabkan oleh tegasan pemprosesan, yang mesti dikeluarkan oleh etsa kimia sebelum menggilap. Larutan etsa boleh dibahagikan kepada dua jenis: berasid dan beralkali.

goresan wafer

wafer Etching

5. Mendapat Wafer Silikon

Kecacatan dan kecacatan pada wafer dirasai di bahagian bawah lapisan dengan letupan pasir untuk memudahkan proses IC seterusnya.

6. Penggilapan Permukaan Wafer Silikon

Penggilapan permukaan adalah langkah terakhir dalam pemprosesan wafer. Ia menghilangkan kira-kira 10-20 mikron ketebalan permukaan wafer. Tujuannya adalah untuk memperbaiki kecacatan mikro yang ditinggalkan dalam proses sebelumnya, dan mencapai pengoptimuman kerataan tempatan untuk memenuhi keperluan proses IC. Pada asasnya, proses ini adalah mekanisme tindak balas kimia-mekanikal. Lapisan atas wafer terhakis oleh NaOH, KOH, dan NH4OH dalam bahan pelelas, dan sumber kuasa kakisan disediakan oleh geseran mekanikal.

penggilap wafer

wafer Polishing

7. Pembersihan Wafer

Selepas menggilap, wafer silikon masing-masing dibersihkan secara fizikal dan kimia dengan air ultratulen dan bahan kimia.

pembersihan wafer

wafer Cleaning

8. Pemeriksaan Wafer

Kerataan wafer dan butiran adalah faktor utama yang mempengaruhi dalam peranti litar bersepadu. Oleh itu, kerataan dan saiz zarah setiap wafer silikon perlu diperiksa oleh instrumen yang direka khas untuk memastikan kualiti wafer.

periksa wafer

wafer Inspection

9. Pembungkusan Wafer

Wafer silikon yang diperiksa dimuatkan ke dalam kaset siap kapal ultra-bersih dan dimeterai vakum dalam beg kalis lembapan khas.

pembungkusan wafer

wafer Pembungkusan

powerwaywafer

Untuk maklumat lebih lanjut, sila hubungi kami melalui e-mel di [email protected] dan [email protected].

Kongsi catatan ini