Ujian Wafer Monitor Wafer Dummy Wafer

Uji Wafer Monitor Wafer Dummy Wafer

Sebagai pengeluar wafer dummy, PAM-XIAMEN menawarkan wafer dummy silikon / wafer ujian / wafer monitor, yang digunakan dalam peranti pengeluaran untuk meningkatkan keselamatan pada permulaan proses pengeluaran dan digunakan untuk semakan penghantaran dan penilaian borang proses. Oleh kerana wafer silikon tiruan sering digunakan untuk eksperimen dan ujian, saiz dan ketebalannya adalah faktor penting dalam kebanyakan keadaan. Wafer tiruan 100mm, 150mm, 200mm atau 300mm tersedia.

  • Penerangan

Penerangan Produk

Ujian Wafer Monitor Wafer Dummy Wafer

Sebagai pengeluar wafer dummy, PAM-XIAMEN menawarkan wafer dummy silikon / wafer ujian / wafer monitor, yang digunakan dalam peranti pengeluaran untuk meningkatkan keselamatan pada permulaan proses pengeluaran dan digunakan untuk semakan penghantaran dan penilaian borang proses. Oleh kerana wafer silikon tiruan sering digunakan untuk eksperimen dan ujian, saiz dan ketebalannya adalah faktor penting dalam kebanyakan keadaan. Wafer tiruan 100mm, 150mm, 200mm atau 300mm tersedia.

 

1. Senarai Wafer Uji

1.1 Wafer Ujian Digilap Satu Sebelah Jenis N (200Nos)

Sl Tidak Item SPESIFIKASI SCL
1 Kaedah berkembang CZ
2 Diameter Wafer 150 ± 0.5mm
3 Ketebalan Wafer 675 ± 25 µm
4 Orientasi Permukaan Wafer <100> ± 2 °
5 Dopant Fosforus
6 kehelan Ketumpatan Kurang daripada 5000 / cm2
8 kerintangan 4-7Ωcm
9 Variasi Ketahanan Radial (maks.) 15%
10 kebosanan  
10a · BOW (maks.) 60 µm
10b · TIR (maks.) 6 µm
10c · TAPER (maks.) 12 µm
10d · WARP (maks.) 60 µm
11 Flat Utama  
11a · Panjang 57.5 ± 2.5 mm
11b · Orientasi {110} ± 2 ° mengikut SEMI Standard
11c Flat menengah Mengikut Piawaian SEMI
12 Kemasan Permukaan Depan Cermin digilap
13 Maks. zarah bersaiz ≥0.3µm 30
14 · Calar, jerebu, cip tepi, kulit jeruk & kecacatan lain Tiada
15 Permukaan Belakang Bebas kerosakan
16 Keperluan Pembungkusan Hendaklah ditutup dengan vakum dalam lingkungan Kelas '10' dalam pembungkusan lapisan dua. Wafer harus dihantar dalam Fluorware ORION TWO wafer shipper atau setara yang dibuat dari polipropilena yang sangat bersih

 

1.2 Jenis Wafer N Ujian Digilap Dua Sisi (150 No)

Sl Tidak Perkara SPESIFIKASI SCL
1 Kaedah berkembang CZ
2 Diameter Wafer 150 ± 0.5mm
3 Ketebalan Wafer 675 ± 25µm
4 Orientasi Permukaan Wafer <100> ± 2 °
5 Dopant Fosforus
6 kehelan Ketumpatan Kurang daripada 5000 / cm2
8 kerintangan 4-7Ωcm
9 Variasi Ketahanan Radial (maks.) 15%
10 kebosanan  
10a · BOW (maks.) 60 µm
10b · TIR (maks.) 6 µm
10c · TAPER (maks.) 12 µm
10d · WARP (maks.) 60 µm
11 Flat Utama  
11a · Panjang 57.5 ± 2.5 mm
11b · Orientasi {110} ± 2 ° mengikut SEMI Standard
11c Flat menengah Mengikut Piawaian SEMI
12 Kemasan Permukaan Depan Cermin digilap
13 Maks. zarah bersaiz ≥0.3µm 30
14 · Calar, jerebu, cip tepi, Tiada
Kulit Jeruk & Kecacatan lain
15 Permukaan Belakang Cermin digilap
16 Keperluan Pembungkusan Hendaklah ditutup dengan vakum dalam Kelas '10'
persekitaran dalam pembungkusan lapisan berganda.
Wafer harus dihantar dalam Fluorware
ORION DUA penghantar wafer atau setaraf
dibuat dari polipropilena yang sangat bersih

 

1.3 Pantau Wafer/Dummy Wafer

Wafer Monitor / Dummy Silicon

Diameter Wafer Digilap Permukaan Wafer Ketebalan Wafer kerintangan Zarah
orientasi
4 " 1 sisi 100/111 250-500μm 0-100 0.2μm≤qty30
6 " 1 sisi 100 500-675μm 0-100 0.2μm≤qty30
8 " 1 sisi 100 600-750μm 0-100 0.2μm≤qty30
12 " 2 sisi 100 650-775μm 0-100 0.09μm≤qty100

 

1.4 WAFERS 200mm DIJANA SEMULA

Item # PARAMETER Unit nilai Catatan
1 Menghubungi pertumbuhan   CZ  
2 orientasi   1-0-0  
3 kerintangan Ωм.см 1-50  
4 Jenis / dopan   р, n /  
Boron, Fosforus
5 ketebalan мкм 1гр. - 620,  
2гр. - 650
3гр. - 680
4гр. - 700
5гр. - 720
6 GBIR (TTV мкм 1-3гр. <30,  
4-5гр. <20
7 GLFR (TIR мкм <10  
8 Warp мкм <60  
9 Bow мкм <40  
10 Pencemaran logam 1 / см2 <3E10  
11 Permukaan depan   Digilap  
12 Visual permukaan depan:      
Jerebu, calar, noda, bintik   tiada
Orange Peel   tiada
Retak, Kawah   tiada
13 LPD Bahagian Depan:     Jumlah wafer dengan nilai parameter yang dinyatakan tidak boleh kurang dari 80% kumpulan,
<0,12мкм   <100
<0,16мкм   <50
<0,20мкм   <20
<0,30мкм   <10

 

1.5 Wafer Silikon Coinroll

Spec : 12” , Bare Silicon, Thickness >750um , Notch , Sedikit calar dan noda yang akan kami proses IPA , air DI dengan Ultra sonik. (PAM171117-SI)

2. Definisi Wafer Dummy

wafer tiruan(juga dipanggil sebagai wafer ujian) ialah wafer Si dummy yang digunakan terutamanya untuk percubaan dan ujian dan berbeza daripada wafer umum untuk produk. Sehubungan itu, wafer tebus guna kebanyakannya digunakan sebagai wafer gred dummy (wafer ujian).

Dalam setiap proses, ketebalan filem, rintangan tekanan, indeks pantulan dan kehadiran bola pin diukur menggunakan wafer Si dummy (wafer ujian). Juga, wafer tiruan (wafer ujian) digunakan untuk pengukuran saiz corak, pemeriksaan kecacatan dan sebagainya dalam litografi.

Pantau waferadalah wafer silikon kosong untuk digunakan sekiranya pelarasan diperlukan dalam setiap langkah pengeluaran sebelum pengeluaran IC sebenar. Sebagai contoh, apabila keadaan setiap proses ditetapkan, seperti kes mengukur toleransi peranti terhadap ( variasi ) ketebalan substrat, wafer silikon coinroll untuk wafer spacer sedang digunakan sebagai pengganti wafer standard tinggi dan bernilai tinggi. . Selain itu, ia juga digunakan untuk tujuan pemantauan dalam proses bersama-sama dengan wafer produk. Wafer monitor adalah bahan wafer yang diperlukan sama pentingnya dengan wafer utama produk. Ia juga dipanggil sebagai wafer ujian bersama-sama dengan wafer tiruan.

Untuk maklumat lebih lanjut mengenai produk atau jika anda memerlukan spesifikasi, sila hubungi kami di [email protected] atau [email protected]

gred ujian silikon wafer-1

Wafer silikon gred ujian-2

gred ujian silikon wafer-3

Wafer silikon gred ujian-4

Wafer silikon gred ujian-5

Wafer silikon gred ujian-6

Wafer silikon gred ujian-7

Wafer silikon gred ujian-8

Wafer silikon gred ujian-9

Wafer silikon gred ujian-10

Wafer silikon gred ujian-11

8 ″ Dummy Grade Silicon Wafer

12 "Dummy Grade Silicon Wafer Ketebalan 700-730um

12 "Dummy Grade Silicon Wafer Ketebalan 650-700um

12 "Ujian Gred Silicon Wafer

4″ Wafer Silikon Gred Ujian dengan Satu Sebelah Digilap

Wafer boneka 12 "

Awak juga mungkin menyukai…