Independente de GaN substrato
PAM-XIAMEN estabeleceu a tecnologia de fabricação para autoportante (de nitreto de gálio) lâmina de substrato de GaN, que é para UHB-LED e LD. Crescido por tecnologia de hidreto de epitaxia em fase de vapor (HVPE), O nosso substrato de GaN tem baixa densidade de defeitos.
- Descrição
Descrição do produto
substrato de GaN autoportante
Como fornecedora líder de substrato de GaN, a PAM-XIAMEN estabeleceu a tecnologia de fabricação para autônomo (Nitreto de Gálio)GaN substrato de bolachaque é substrato de GaN em massa para UHB-LED, LD e fabricação como dispositivos baseados em MOS. Cultivado pela tecnologia de epitaxia em fase de vapor de hidreto (HVPE), nossosubstrato de GaNpara dispositivos III-nitreto tem baixa densidade de defeitos e menor ou menor densidade de macro defeitos. A espessura do substrato GaN é de 330~530μm.
Além dos dispositivos de energia, os substratos semicondutores de nitreto de gálio são cada vez mais usados na fabricação de LEDs de luz branca porque os substratos GaN LED fornecem características elétricas aprimoradas e seu desempenho excede os dispositivos atuais. Além disso, o rápido desenvolvimento da tecnologia de substrato de nitreto de gálio levou ao desenvolvimento de substratos livres de GaN de alta eficiência com baixa densidade de defeitos e densidade de macro defeitos livres. Portanto, tais substratos de GaN podem ser cada vez mais usados para LEDs brancos. Como resultado, o mercado de substrato de GaN a granel está crescendo rapidamente. A propósito, o wafer de GaN em massa pode ser usado para testar conceitos de dispositivos de energia vertical.
1. Especificação do substrato GaN independente
Aqui mostra especificação de detalhe:
1.1 4 ″ GaN dopado com Si tipo N (nitreto de gálio) Substrato autônomo
Item | PAM-FS-GaN100-N+ |
Tipo de condução | Tipo N/Si dopado |
Tamanho | 4″(100)+/-1mm |
Espessura | 480+/-50 |
Orientação | C-eixo (0001) +/- 0.5o |
Primária Plano Local | (10-10)+/-0,5o |
Comprimento Plano primária | 32+/-1mm |
Secundário Plano Local | (1-210)+/-3o |
Comprimento Plano secundário | 18+/-1mm |
Resistividade (300K) | <0.05Ω · cm |
Densidade deslocamento | <5x106cm-2 |
FWHM | <=100arc.sec |
TTV | <=30um |
ARCO | <=+/-30um |
Acabamento de superfície | Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido |
— | Superfície de volta: Terra 1.Fine |
— | 2.Polido. |
Área Útil | ≥ 90% |
1.2 4 ″ Tipo N de GaN dopado com baixa dopagem (nitreto de gálio) Substrato autônomo
Item | PAM-FS-GaN100-N- |
Tipo de condução | Tipo N |
Tamanho | 4″(100)+/-1mm |
Espessura | 480+/-50 |
Orientação | C-eixo (0001) +/- 0.5o |
Primária Plano Local | (10-10)+/-0,5o |
Comprimento Plano primária | 32+/-1mm |
Secundário Plano Local | (1-210)+/-3o |
Comprimento Plano secundário | 18+/-1mm |
Resistividade (300K) | <0.5Ω · cm |
Densidade deslocamento | <5x106cm-2 |
FWHM | <=100arc.sec |
TTV | <=30um |
ARCO | <=+/-30um |
Acabamento de superfície | Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido |
— | Superfície de volta: Terra 1.Fine |
— | 2.Polido. |
Área Útil | ≥ 90% |
1.3 4 ″ GaN semi-isolante (Nitreto de gálio) Substrato autônomo
Item | PAM-FS-GaN100-SI |
Tipo de condução | Semi-isolante |
Tamanho | 4″(100)+/-1mm |
Espessura | 480+/-50 |
Orientação | C-eixo (0001) +/- 0.5o |
Primária Plano Local | (10-10)+/-0,5o |
Comprimento Plano primária | 32+/-1mm |
Secundário Plano Local | (1-210)+/-3o |
Comprimento Plano secundário | 18+/-1mm |
Resistividade (300K) | >10^6Ω·cm |
Densidade deslocamento | <5x106cm-2 |
FWHM | <=100arc.sec |
TTV | <=30um |
ARCO | <=+/-30um |
Acabamento de superfície | Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido |
— | Superfície de volta: Terra 1.Fine |
— | 2.Polido. |
Área Útil | ≥ 90% |
1.4 2″ GaN dopado com Si (Nitreto de gálio) Substrato autônomo
Item | PAM-FS-GaN50-N+ | |||
Tipo de condução | Tipo N/Si dopado | |||
Tamanho | 2 "(50,8) +/- um milímetro | |||
Espessura | 400+/-50 | |||
Orientação | C-eixo (0001) +/- 0.5o | |||
Primária Plano Local | (10-10)+/-0,5o | |||
Comprimento Plano primária | 16 +/- 1 milímetro | |||
Secundário Plano Local | (1-210)+/-3o | |||
Comprimento Plano secundário | 8 +/- 1 milímetro | |||
Resistividade (300K) | <0.05Ω · cm | |||
Densidade deslocamento | <5x106cm-2 | |||
FWHM | <=100arc.sec | |||
TTV | <= 15um | |||
ARCO | <=+/-20um | |||
Acabamento de superfície | Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido | |||
Superfície Traseira: 1. Chão Fino | ||||
2.Polido. | ||||
Área Utilizável | ≥ 90% |
Substrato autônomo de 1,5 2 ″ GaN dopado com baixo teor de gálio (nitreto de gálio)
Item | PAM-FS-GaN50-N- | ||||
Tipo de condução | Tipo N | ||||
Tamanho | 2 "(50,8) +/- um milímetro | ||||
Espessura | 400+/-50 | ||||
Orientação | C-eixo (0001) +/- 0.5o | ||||
Primária Plano Local | (10-10)+/-0,5o | ||||
Comprimento Plano primária | 16 +/- 1 milímetro | ||||
Secundário Plano Local | (1-210)+/-3o | ||||
Comprimento Plano secundário | 8 +/- 1 milímetro | ||||
Resistividade (300K) | <0.5Ω · cm | ||||
Densidade deslocamento | <5x106cm-2 | ||||
FWHM | <=100arc.sec | ||||
TTV | <= 15um | ||||
ARCO | <=+/-20um | ||||
Acabamento de superfície | Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido | ||||
Superfície Traseira: 1. Chão Fino | |||||
2.Polido. | |||||
Área Utilizável | ≥ 90% |
Substrato autônomo de 1,6 2 ″ GaN semi-isolante (nitreto de gálio)
Item | PAM-FS-GaN50-SI | ||||
Tipo de condução | Semi-isolante | ||||
Tamanho | 2 "(50,8) +/- um milímetro | ||||
Espessura | 400+/-50 | ||||
Orientação | C-eixo (0001) +/- 0.5o | ||||
Primária Plano Local | (10-10)+/-0,5o | ||||
Comprimento Plano primária | 16 +/- 1 milímetro | ||||
Secundário Plano Local | (1-210)+/-3o | ||||
Comprimento Plano secundário | 8 +/- 1 milímetro | ||||
Resistividade (300K) | >10^6Ω·cm | ||||
Densidade deslocamento | <5x106cm-2 | ||||
FWHM | <=100arc.sec | ||||
TTV | <= 15um | ||||
ARCO | <=+/-20um | ||||
Acabamento de superfície | Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido | ||||
Superfície Traseira: 1. Chão Fino | |||||
2.Polido. | |||||
Área Utilizável | ≥ 90% |
1,7 15mm,10mm,5mmFree-standingGaN substrato
Item | PAM-FS-GaN15-N | PAM-FS-GaN15-SI | |
PAM-FS-GaN10-N | PAM-FS-GaN10-SI | ||
PAM-FS-GaN5-N | PAM-FS-GaN5-SI | ||
Tipo de condução | N-tipo | Semi-isolante | |
Tamanho | 14,0 mm*15 mm 10,0 mm*10,5 mm 5,0*5,5 mm | ||
Espessura | 330-450um | ||
Orientação | C-eixo (0001) +/- 0.5o | ||
Primária Plano Local | |||
Comprimento Plano primária | |||
Secundário Plano Local | |||
Comprimento Plano secundário | |||
Resistividade (300K) | <0.5Ω · cm | > 106Ω · cm | |
Densidade deslocamento | <5x106cm-2 | ||
Marco Defeito Densidade | 0cm-2 | ||
TTV | <= 15um | ||
ARCO | <= 20um | ||
Acabamento de superfície | Superfície frontal: Ra <0.2nm.Epi-pronto polido | ||
Superfície de volta: Terra 1.Fine | |||
Grinded 2.Rough | |||
Área Útil | ≥ 90% |
Nota:
Bolacha de validação:Considerando a conveniência de uso, o PAM-XIAMEN oferece wafer de validação de safira de 2" para substrato de GaN independente de tamanho inferior a 2".
2. Propriedades do substrato independente de GaN
Parâmetros de rede | a=0,3189nm; c = 0,5185 nm |
Gap de banda | 3,39eV |
Densidade | 6,15g/cm3 |
term. Coeficiente de Expansão | uma: 5,59×10-6/K; c: 3,17×10-6/ K |
Índice de refração | 2.33-2.7 |
Constante dielétrica | 9.5 |
Condutividade térmica | 1,3 W/(cm*k) |
Campo Elétrico Destrutivo | 3,3MV/cm |
Velocidade de deriva de saturação | 2,5E7 cm/s |
Mobilidade Eletrônica | 1300 centímetros2/(V*s) |
3. Aplicação de substrato GaN
Iluminação de estado sólido: dispositivos de GaN são usados como ultra-alto brilho diodos emissores de luz (LEDs), TVs, automóveis e iluminação geral
Armazenamento de DVD: diodos laser azuis
Dispositivo de energia: Dispositivos fabricados em substrato a granel de GaN são usados como vários componentes em eletrônicos de alta potência e alta frequência, como estações base de celular, satélites, amplificadores de potência e inversores/conversores para veículos elétricos (EV) e veículos elétricos híbridos (HEV). ). A baixa sensibilidade do GaN à radiação ionizante (como outros nitretos do grupo III) o torna um material adequado para aplicações espaciais, como matrizes de células solares para satélites e dispositivos de alta potência e alta frequência para comunicação, clima e satélites de vigilância
Substrato de nitreto de gálio puro Iacordo para o re-crescimento de III-Nitretos
Estações Base sem fio: transistores de potência de RF
Acesso sem fio de banda larga: MMICs alta frequência, RF-Circuits MMICs
Sensores de Pressão: MEMS
Sensores de calor: detectores de Pyro-elétricos
Power Condicionado: sinal misto GaN Integração / Si
Automotive Electronics: produtos eletrônicos de alta temperatura
De energia Linhas de Transmissão: eletrônica de alta tensão
Sensores Quadro: detectores de UV
Células solares: o gap de banda larga do GaN cobre o espectro solar de 0,65 eV a 3,4 eV (que é praticamente todo o espectro solar), produzindo nitreto de índio e gálio
(InGaN) ligas perfeito para a criação de material da célula solar. Devido a esta vantagem, células solares InGaN cultivadas em substratos de GaN estão prestes a se tornar uma das mais importantes novas aplicações e mercado em crescimento para wafers de substrato de GaN.
Ideal para HEMTs, FETs
Projeto de diodo GaN Schottky: Aceitamos especificações personalizadas de diodos Schottky fabricados nas camadas independentes de nitreto de gálio (GaN) cultivadas em HVPE dos tipos n e p.
Ambos os contatos (ôhmico e Schottky) foram depositados na superfície superior usando Al/Ti e Pd/Ti/Au.
Observação:
O governo chinês anunciou novos limites à exportação de materiais de gálio (como GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs e GaSb) e materiais de germânio usados para fabricar chips semicondutores. A partir de 1º de agosto de 2023, a exportação desses materiais só será permitida se obtivermos uma licença do Ministério do Comércio da China. Espero sua compreensão e cooperação!