substrato de GaN autoportante

Independente de GaN substrato

PAM-XIAMEN estabeleceu a tecnologia de fabricação para autoportante (de nitreto de gálio) lâmina de substrato de GaN, que é para UHB-LED e LD. Crescido por tecnologia de hidreto de epitaxia em fase de vapor (HVPE), O nosso substrato de GaN tem baixa densidade de defeitos.

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Descrição do produto

substrato de GaN autoportante

Como fornecedora líder de substrato de GaN, a PAM-XIAMEN estabeleceu a tecnologia de fabricação para autônomo (Nitreto de Gálio)GaN substrato de bolachaque é substrato de GaN em massa para UHB-LED, LD e fabricação como dispositivos baseados em MOS. Cultivado pela tecnologia de epitaxia em fase de vapor de hidreto (HVPE), nossosubstrato de GaNpara dispositivos III-nitreto tem baixa densidade de defeitos e menor ou menor densidade de macro defeitos. A espessura do substrato GaN é de 330~530μm.

Além dos dispositivos de energia, os substratos semicondutores de nitreto de gálio são cada vez mais usados ​​na fabricação de LEDs de luz branca porque os substratos GaN LED fornecem características elétricas aprimoradas e seu desempenho excede os dispositivos atuais. Além disso, o rápido desenvolvimento da tecnologia de substrato de nitreto de gálio levou ao desenvolvimento de substratos livres de GaN de alta eficiência com baixa densidade de defeitos e densidade de macro defeitos livres. Portanto, tais substratos de GaN podem ser cada vez mais usados ​​para LEDs brancos. Como resultado, o mercado de substrato de GaN a granel está crescendo rapidamente. A propósito, o wafer de GaN em massa pode ser usado para testar conceitos de dispositivos de energia vertical.

1. Especificação do substrato GaN independente

 Aqui mostra especificação de detalhe:

1.1 4 ″ GaN dopado com Si tipo N (nitreto de gálio) Substrato autônomo

Item PAM-FS-GaN100-N+
Tipo de condução Tipo N/Si dopado
Tamanho 4″(100)+/-1mm
Espessura 480+/-50
Orientação C-eixo (0001) +/- 0.5o
Primária Plano Local (10-10)+/-0,5o
Comprimento Plano primária 32+/-1mm
Secundário Plano Local (1-210)+/-3o
Comprimento Plano secundário 18+/-1mm
Resistividade (300K) <0.05Ω · cm
Densidade deslocamento <5x106cm-2
FWHM <=100arc.sec
TTV <=30um
ARCO <=+/-30um
Acabamento de superfície Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido
Superfície de volta: Terra 1.Fine
2.Polido.
Área Útil ≥ 90%

 

1.2 4 ″ Tipo N de GaN dopado com baixa dopagem (nitreto de gálio) Substrato autônomo

Item PAM-FS-GaN100-N-
Tipo de condução Tipo N
Tamanho 4″(100)+/-1mm
Espessura 480+/-50
Orientação C-eixo (0001) +/- 0.5o
Primária Plano Local (10-10)+/-0,5o
Comprimento Plano primária 32+/-1mm
Secundário Plano Local (1-210)+/-3o
Comprimento Plano secundário 18+/-1mm
Resistividade (300K) <0.5Ω · cm
Densidade deslocamento <5x106cm-2
FWHM <=100arc.sec
TTV <=30um
ARCO <=+/-30um
Acabamento de superfície Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido
Superfície de volta: Terra 1.Fine
2.Polido.
Área Útil ≥ 90%

 

1.3 4 ″ GaN semi-isolante (Nitreto de gálio) Substrato autônomo

Item PAM-FS-GaN100-SI
Tipo de condução Semi-isolante
Tamanho 4″(100)+/-1mm
Espessura 480+/-50
Orientação C-eixo (0001) +/- 0.5o
Primária Plano Local (10-10)+/-0,5o
Comprimento Plano primária 32+/-1mm
Secundário Plano Local (1-210)+/-3o
Comprimento Plano secundário 18+/-1mm
Resistividade (300K) >10^6Ω·cm
Densidade deslocamento <5x106cm-2
FWHM <=100arc.sec
TTV <=30um
ARCO <=+/-30um
Acabamento de superfície Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido
Superfície de volta: Terra 1.Fine
2.Polido.
Área Útil ≥ 90%

 

1.4 2″ GaN dopado com Si (Nitreto de gálio) Substrato autônomo

Item PAM-FS-GaN50-N+
Tipo de condução Tipo N/Si dopado
Tamanho 2 "(50,8) +/- um milímetro
Espessura 400+/-50
Orientação C-eixo (0001) +/- 0.5o
Primária Plano Local (10-10)+/-0,5o
Comprimento Plano primária 16 +/- 1 milímetro
Secundário Plano Local (1-210)+/-3o
Comprimento Plano secundário 8 +/- 1 milímetro
Resistividade (300K) <0.05Ω · cm
Densidade deslocamento <5x106cm-2
FWHM <=100arc.sec
TTV <= 15um
ARCO <=+/-20um
Acabamento de superfície Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido
  Superfície Traseira: 1. Chão Fino
  2.Polido.
Área Utilizável ≥ 90%


 

Substrato autônomo de 1,5 2 ″ GaN dopado com baixo teor de gálio (nitreto de gálio)

Item PAM-FS-GaN50-N-
Tipo de condução Tipo N
Tamanho 2 "(50,8) +/- um milímetro
Espessura 400+/-50
Orientação C-eixo (0001) +/- 0.5o
Primária Plano Local (10-10)+/-0,5o
Comprimento Plano primária 16 +/- 1 milímetro
Secundário Plano Local (1-210)+/-3o
Comprimento Plano secundário 8 +/- 1 milímetro
Resistividade (300K) <0.5Ω · cm
Densidade deslocamento <5x106cm-2
FWHM <=100arc.sec
TTV <= 15um
ARCO <=+/-20um
Acabamento de superfície Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido
  Superfície Traseira: 1. Chão Fino
    2.Polido.
Área Utilizável ≥ 90%


 

Substrato autônomo de 1,6 2 ″ GaN semi-isolante (nitreto de gálio)

Item PAM-FS-GaN50-SI
Tipo de condução Semi-isolante
Tamanho 2 "(50,8) +/- um milímetro
Espessura 400+/-50
Orientação C-eixo (0001) +/- 0.5o
Primária Plano Local (10-10)+/-0,5o
Comprimento Plano primária 16 +/- 1 milímetro
Secundário Plano Local (1-210)+/-3o
Comprimento Plano secundário 8 +/- 1 milímetro
Resistividade (300K) >10^6Ω·cm
Densidade deslocamento <5x106cm-2
FWHM <=100arc.sec
TTV <= 15um
ARCO <=+/-20um
Acabamento de superfície Superfície frontal:Ra<=0,3nm.Epi-ready polido
  Superfície Traseira: 1. Chão Fino
    2.Polido.
Área Utilizável ≥ 90%

1,7 15mm,10mm,5mmFree-standingGaN substrato

Item PAM-FS-GaN15-N PAM-FS-GaN15-SI
PAM-FS-GaN10-N PAM-FS-GaN10-SI
PAM-FS-GaN5-N PAM-FS-GaN5-SI
Tipo de condução N-tipo Semi-isolante
Tamanho 14,0 mm*15 mm 10,0 mm*10,5 mm 5,0*5,5 mm
Espessura 330-450um
Orientação C-eixo (0001) +/- 0.5o
Primária Plano Local  
Comprimento Plano primária  
Secundário Plano Local  
Comprimento Plano secundário  
Resistividade (300K) <0.5Ω · cm > 106Ω · cm
Densidade deslocamento <5x106cm-2
Marco Defeito Densidade 0cm-2
TTV <= 15um
ARCO <= 20um
Acabamento de superfície Superfície frontal: Ra <0.2nm.Epi-pronto polido
  Superfície de volta: Terra 1.Fine
    Grinded 2.Rough
Área Útil ≥ 90%


            

Nota:

Bolacha de validação:Considerando a conveniência de uso, o PAM-XIAMEN oferece wafer de validação de safira de 2" para substrato de GaN independente de tamanho inferior a 2".

2. Propriedades do substrato independente de GaN

Parâmetros de rede a=0,3189nm; c = 0,5185 nm
Gap de banda 3,39eV
Densidade 6,15g/cm3
term. Coeficiente de Expansão uma: 5,59×10-6/K; c: 3,17×10-6/ K
Índice de refração 2.33-2.7
Constante dielétrica 9.5
Condutividade térmica 1,3 W/(cm*k)
Campo Elétrico Destrutivo 3,3MV/cm
Velocidade de deriva de saturação 2,5E7 cm/s
Mobilidade Eletrônica 1300 centímetros2/(V*s)

3. Aplicação de substrato GaN

Iluminação de estado sólido: dispositivos de GaN são usados ​​como ultra-alto brilho diodos emissores de luz (LEDs), TVs, automóveis e iluminação geral

Armazenamento de DVD: diodos laser azuis

Dispositivo de energia: Dispositivos fabricados em substrato a granel de GaN são usados ​​como vários componentes em eletrônicos de alta potência e alta frequência, como estações base de celular, satélites, amplificadores de potência e inversores/conversores para veículos elétricos (EV) e veículos elétricos híbridos (HEV). ). A baixa sensibilidade do GaN à radiação ionizante (como outros nitretos do grupo III) o torna um material adequado para aplicações espaciais, como matrizes de células solares para satélites e dispositivos de alta potência e alta frequência para comunicação, clima e satélites de vigilância


Substrato de nitreto de gálio puro Iacordo para o re-crescimento de III-Nitretos

Estações Base sem fio: transistores de potência de RF

Acesso sem fio de banda larga: MMICs alta frequência, RF-Circuits MMICs

Sensores de Pressão: MEMS

Sensores de calor: detectores de Pyro-elétricos

Power Condicionado: sinal misto GaN Integração / Si

Automotive Electronics: produtos eletrônicos de alta temperatura

De energia Linhas de Transmissão: eletrônica de alta tensão

Sensores Quadro: detectores de UV

Células solares: o gap de banda larga do GaN cobre o espectro solar de 0,65 eV a 3,4 eV (que é praticamente todo o espectro solar), produzindo nitreto de índio e gálio

(InGaN) ligas perfeito para a criação de material da célula solar. Devido a esta vantagem, células solares InGaN cultivadas em substratos de GaN estão prestes a se tornar uma das mais importantes novas aplicações e mercado em crescimento para wafers de substrato de GaN.

Ideal para HEMTs, FETs

Projeto de diodo GaN Schottky: Aceitamos especificações personalizadas de diodos Schottky fabricados nas camadas independentes de nitreto de gálio (GaN) cultivadas em HVPE dos tipos n e p.

Ambos os contatos (ôhmico e Schottky) foram depositados na superfície superior usando Al/Ti e Pd/Ti/Au.

 

Observação:
O governo chinês anunciou novos limites à exportação de materiais de gálio (como GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs e GaSb) e materiais de germânio usados ​​para fabricar chips semicondutores. A partir de 1º de agosto de 2023, a exportação desses materiais só será permitida se obtivermos uma licença do Ministério do Comércio da China. Espero sua compreensão e cooperação!

Vamos oferecer relatórios de ensaio, por favor, veja abaixo um exemplo:

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