Como as bolachas de carboneto de silício são feitas?

Como as bolachas de carboneto de silício são feitas?

O carboneto de silício (SiC) é um material semicondutor composto por elementos de carbono e silício, e é chamado de material semicondutor de banda larga porque a distância entre bandas é maior que 2,2eV.PAM-XIAMEN pode fornecer wafers de SiC tipo N e semi-isolantes. Mais especificações do wafer SiC, visitehttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer.

Como as bolachas de SiC são feitas? Você pode seguir o linkhttps://youtu.be/HeSXVKLj8kgpara assistir ao vídeo do processo de fabricação.

Em primeiro lugar, use pó de silício de alta pureza e pó de carbono de alta pureza como matérias-primas para cultivar cristais únicos de SiC por transporte físico de vapor (PVT).

Em segundo lugar, use um equipamento de corte multifio para cortar o cristal de SiC em fatias finas com espessura não superior a 1 mm.

Em terceiro lugar, as pastilhas são moídas até a planicidade e rugosidade desejadas através de pasta de diamante de diferentes tamanhos de partículas.

Em quarto lugar, os wafers de SiC passam por polimento mecânico e polimento mecânico químico para obter wafers polidos de SiC com superfície espelhada.

Em seguida, use microscópios ópticos e outros instrumentos para detectar a densidade do microtubo, rugosidade da superfície, resistividade, urdidura, TTV, arranhões na superfície e outros parâmetros dos wafers de SiC.

Finalmente, os wafers polidos de SiC são limpos com agente de limpeza e água pura para remover contaminantes da superfície, como o líquido de polimento, e então os wafers são soprados e secos por gás nitrogênio de pureza ultra-alta e uma máquina de secagem.

Depois disso, use a deposição de vapor químico e outros métodos para gerar wafers epitaxiais de SiC em substratos e, finalmente, faça dispositivos relacionados.

Devido às suas propriedades físicas superiores: alta banda gap, alta condutividade elétrica, alta condutividade térmica, os wafers de SiC são amplamente utilizados em comunicações 5G, redes inteligentes, veículos de novas energias, trens de alta velocidade e outros campos e têm um enorme potencial de mercado.

Para obter mais informações, entre em contato conosco pelo e-mail victorchan@powerwaywafer.com e powerwaymaterial@gmail.com.

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