Tag - wafer semicondutor

Sistema de reconhecimento de cluster de defeitos para wafers semicondutores fabricados

O International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) identifica os dados de teste de produção como um elemento essencial para melhorar o design e a tecnologia no ciclo de feedback do processo de fabricação. Uma das observações feitas a partir dos dados do teste de produção de alto volume é que as matrizes que falham devido a uma falha sistemática têm uma [...]

Colagem completa de silício com camada atômica de dióxido de titânio depositado e filmes intermediários de óxido de alumínio

Colagem total de silício com camada atômica de dióxido de titânio depositado e filmes intermediários de óxido de alumínio Os wafers de silício sobre isolante (SOI) feitos por colagem direta de wafer são amplamente utilizados como substratos iniciais para a fabricação de sistemas microeletromecânicos (MEMS). Adicionar outra camada ao lado do SiO2 SOI, ou substituí-lo por outro material, será uma forma [...]

Modelagem computacional de interações superficiais e transporte de contaminantes em microestruturas durante o enxágue de pastilhas semicondutoras padronizadas

Computer modeling of surface interactions and contamin Highlights • Dynamics of contaminant removal from the surface of micro/nanotrench is simulated. • The trench is rectangular and made of one or two different materials. • Various diffusivities and surface characteristics are considered in the model. • In multimaterial trench, cleaning dynamics strongly depends on stacking order. • Dynamics has two regimes [...]