InAs вафельные

Описание продукта

PAM-XIAMEN offers Compound Semiconductor InAs wafer – indium arsenide wafer which is grown by LEC(Liquid Encapsulated Czochralski) as epi-ready or mechanical grade with n type, p type or semi-insulating in different orientation(111)(100) or (110). In addition, InAs single crystal has high electron mobility and is an ideal material for making Hall devices.

Indium arsenide, InAs, is a semiconductor composed of indium and arsenic. It has the appearance of grey cubic crystals with a melting point of 942 °C and lattice constant of 0.6058nm, and the indidum arsenide crystal structure is a zinc blende structure. Indium arsenide wafer is used for construction of infrared detectors, for the wavelength range of 1–3.8 µm. The detectors are usually photovoltaic photodiodes. Cryogenically cooled detectors have lower noise, but InAs detectors can be used in higher-power applications at room temperature as well. Because of the superior indium arsenide properties, indium arsenide thin films are also used for making of diode lasers.

Indium arsenide band gap is a direct transition, which is similar to gallium arsenide, and the forbidden band width is (300K)0.45eV. Indium arsenide is sometimes used together with indium phosphide. Alloyed with gallium arsenide, it forms indium gallium arsenide – a material with band gap dependent on In/Ga ratio, a method principally similar to alloying indium nitride with gallium nitride to yield indium gallium nitride.

Вот спецификация деталь:

2 "(50,8) Спецификация InAs вафли

3 "(76,2 мм) Спецификация InAs вафли

4 "(100 мм) Спецификация InAs вафли

2″ InAs Wafer Specification

Item	Specifications
Dopant	low doped	Stannum	Sulphur	Zinc
Conduction Type	N-type	N-type	N-type	P-type
Wafer Diameter	2″
Wafer Orientation	(111)±0.5° , (110)±0.5°
Wafer Thickness	500±25um
Primary Flat Length	16±2mm
Secondary Flat Length	8±1mm
Carrier Concentration	5×1016cm-3	(5-20)x1017cm-3	(1-10)x1017cm-3	(1-10)x1017cm-3
Mobility	≥2×104cm2/V.s	7000-20000cm2/V.s	6000-20000cm2/V.s	100-400cm2/V.s
EPD	<5×104cm-2	<5×104cm-2	<3×104cm-2	<3×104cm-2
TTV	<10um
BOW	<10um
WARP	<12um
Laser marking	upon request
Suface finish	P/E, P/P
Epi ready	yes
Package	Single wafer container or cassette

 

3″ InAs Wafer Specification

Item	Specifications
Dopant	low doped	Stannum	Sulphur	Zinc
Conduction Type	N-type	N-type	N-type	P-type
Wafer Diameter	3″
Wafer Orientation	(111)±0.5° , (110)±0.5°
Wafer Thickness	600±25um
Primary Flat Length	22±2mm
Secondary Flat Length	11±1mm
Carrier Concentration	5×1016cm-3	(5-20)x1017cm-3	(1-10)x1017cm-3	(1-10)x1017cm-3
Mobility	≥2×104cm2/V.s	7000-20000cm2/V.s	6000-20000cm2/V.s	100-400cm2/V.s
EPD	<5×104cm-2	<5×104cm-2	<3×104cm-2	<3×104cm-2
TTV	<12um
BOW	<12um
WARP	<15um
Laser marking	upon request
Suface finish	P/E, P/P
Epi ready	yes
Package	Single wafer container or cassette

4″ InAs Wafer Specification

Item	Specifications
Dopant	low doped	Stannum	Sulphur	Zinc
Conduction Type	N-type	N-type	N-type	P-type
Wafer Diameter	4″
Wafer Orientation	(111)±0.5° , (110)±0.5°
Wafer Thickness	900±25um
Primary Flat Length	16±2mm
Secondary Flat Length	8±1mm
Carrier Concentration	5×1016cm-3	(5-20)x1017cm-3	(1-10)x1017cm-3	(1-10)x1017cm-3
Mobility	≥2×104cm2/V.s	7000-20000cm2/V.s	6000-20000cm2/V.s	100-400cm2/V.s
EPD	<5×104cm-2	<5×104cm-2	<3×104cm-2	<3×104cm-2
TTV	<15um
BOW	<15um
WARP	<20um
Laser marking	upon request
Suface finish	P/E, P/P
Epi ready	yes
Package	Single wafer container or cassette

 

Stitched Flatness Map of InAs Wafer

 

 

Wafer Spec(example):

1) 2” (50,8 мм) InAs
Type/Dopant:N/S
Orientation：[111B]±0.5°
Thickness：500±25um
Epi-Ready
SSP

2) 2” (50,8 мм) InAs
Type/Dopant:N/low doped
Orientation : (111)B
Thickness：500um±25um
SSP

3) 2” (50,8 мм) InAs
Type/Dopant:N / low doped
Orientation : <111>A ±0.5°
Thickness：500um±25um
epi-ready
Ra<=0.5nm
Carrier Concentration(cm-3):1E16~3E16
Mobility(cm -2 ):>20000
EPD（cm -2 ）:<15000
SSP

4) 2” (50,8 мм) InAs
Type/Dopant:N/low doped
Orientation : <100> with [001]O.F.
Thickness：2mm
AS cut

5) 2” (50,8 мм) InAs
Type/Dopant:N/P
Orientation ：(100),
Carrier Concentration(cm-3)：(5-10)E17,
Thickness：500 um
SSP

6)Indium Arsenide wafers,
2″Ø×500±25µm,
p-type InAs:Zn
(110)±0.5°,
Nc=(1-3)E18/cc ,
Both-sides-polished,
Sealed under nitrogen in single wafer cassette.

 

Все пластины предлагаются с высоким качеством эпитаксии готовой отделкой. Поверхности характеризуются в доме, передовые оптических методами, которые включают метрологический Surfscan мутность и мониторинг частиц, спектроскопическую эллипсометрию и скользящее падение интерферометрию

Влияние температуры отжига на оптические свойства поверхностных слоев накопления электронов в п-типа (1 0 0) InAs вафель была исследована с помощью спектроскопии комбинационного рассеяния. Он обладает, что комбинационное пики из-за рассеяния на неэкранированных фононов LO исчезают с повышением температуры, что свидетельствует о том, что накопление слоя электронов в поверхности InAs устраняется путем отжига. Участие механизм анализировали с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, рентгеновской дифракции и высокой разрешающей способностью просвечивающей электронной микроскопии. Результаты показывают, что аморфные In2O3 и As2O3 фаза образуются на поверхности InAs при отжиге и, тем временем, тонкая кристаллический, как слой на границе раздела между окисленным слоем и пластиной также генерируются, что приводит к уменьшению толщины накопления поверхностных электронного слой, поскольку, как адатомы ввести акцептор типа поверхностных состояний.

The emission wavelength of InAs is 3.34μm, and lattice-matched In-GaAsSb, InAsPSb and InAsSb multi-epitaxial materials can be grown on the indium arsenide substrates, which can manufacture lasers and detectors for optical fiber communication in the 2～4μm band.

We also offer InAs wafer epi service, take below as an example:

2”size InAs epi wafer(PAM190730-INAS):
Epi layer: Thikness 0.5 um, InAs epi layer(undoped, n type),
Substrate:2” semi-insulating GaAs

More details about InAs epi wafer, please refer to:

InAs Heteroepitaxy

Относительные продукты:
InAs вафельные
InSb вафельные
InP пластины
GaAs вафельные
GaSb вафельные
GaP вафельные

Indium Arsenide Ingot with Zinc Blende Structure Grown By VGF