GaAs (арсенида галли) Вафли
Являясь ведущим поставщиком подложек GaAs, компания PAM-XIAMEN производит подложки вафельных пластин GaAs (арсенида галлия) Epi-ready, включая полупроводниковые n-типа, полупроводники с легированием C и p-типа высшего качества и фиктивного качества. Удельное сопротивление подложки GaAs зависит от легирующих примесей: легированная Si или легированная Zn составляет (0,001 ~ 0,009) Ом·см, легированная C составляет >= 1E7 Ом·см. Ориентация кристаллов пластины GaAs должна быть (100) и (111). Для ориентации (100) отклонение может составлять 2°/6°/15°. EPD пластины GaAs обычно составляет <5000/см2 для светодиодов или <500/см2 для светодиодов или микроэлектроники.
- Описание
Описание продукта
(-галли) GaAs-пластина
PAM-XIAMEN разрабатывает и производит составные полупроводниковые подложки - кристалл арсенида галлия и пластину. Мы использовали передовую технологию выращивания кристаллов, вертикальное градиентное замораживание (VGF) и процесс производства пластин GaAs, установили производственную линию от выращивания кристаллов, резки, шлифовки до полировки и построили чистую комнату класса 100 для очистки и упаковки пластин GaAs. Наши пластины GaAs включают слитки/пластины размером от 2 до 6 дюймов для светодиодов, LD и микроэлектроники. Мы всегда стремимся улучшить качество существующих в настоящее время подложек для пластин GaAs и разработать подложки большого размера. Предлагаемые размеры пластин GaAs составляют 2”, 3”, 4” и 6”, а толщина должна быть 220-700 мкм. Более того, цена на пластины GaAs у нас конкурентоспособна.
1. Спецификации пластин GaAs
1.1 (GaAs)-галлиВафли для светодиодных приложений
| Пункт | Технические условия | Замечания |
| Проводимость Тип | SC / п-типа | SC / р-типа с Zn дурмана Доступные |
| Метод роста | VGF | |
| добавка | кремний | Zn доступен |
| вафли Diamter | 2, 3 и 4 дюйма | Слиток или как вырезать Имеющиеся |
| Кристаллическая ориентация | (100) 2 °/ 6 ° / 15 ° от (110) | Другие дезориентации доступны |
| О | EJ или США | |
| Концентрация носителей | (0,4 ~ 2,5) Е18 / см3 | |
| Удельное сопротивление при комнатной температуре | (1,5 ~ 9) Е-3 Ohm.cm | |
| Мобильность | 1500 ~ 3000cm2 / · сек | |
| Etch Pit Плотность | <5000 / см2 | |
| Лазерная маркировка | по требованию | |
| Чистота поверхности | Р / Е или Р / Р | |
| Толщина | 220 ~ 450um | |
| эпитаксии Готовый | Да | |
| Пакет | Одноместный вафельные контейнер или кассеты | |
1,2 (GaAs)-галлиВафли для LD-приложений
| Пункт | Технические условия | Замечания |
| Проводимость Тип | SC / п-типа | |
| Метод роста | VGF | |
| добавка | кремний | |
| вафли Diamter | 2, 3 и 4 дюйма | Слиток или вырезать доступны |
| Кристаллическая ориентация | (100) 2 °/ 6 ° / 15 ° от (110) | Другие дезориентации доступны |
| О | EJ или США | |
| Концентрация носителей | (0,4 ~ 2,5) Е18 / см3 | |
| Удельное сопротивление при комнатной температуре | (1,5 ~ 9) Е-3 Ohm.cm | |
| Мобильность | 1500 ~ 3000 см2 / В · сек | |
| Etch Pit Плотность | <500 / см2 | |
| Лазерная маркировка | по требованию | |
| Чистота поверхности | Р / Е или Р / Р | |
| Толщина | 220 ~ 350um | |
| эпитаксии Готовый | Да | |
| Пакет | Одноместный вафельные контейнер или кассеты | |
1,3 (GaAs)-галлиВафли, полуизолирующие для микроэлектроники
| Пункт | Технические условия | Замечания |
| Проводимость Тип | изоляционный | |
| Метод роста | VGF | |
| добавка | легированный C | |
| вафли Diamter | 2, 3 и 4 дюйма | Слиток доступен |
| Кристаллическая ориентация | (100)+/- 0,5° | |
| О | EJ, США или вырезы | |
| Концентрация носителей | н / | |
| Удельное сопротивление при комнатной температуре | > 1E7 Ohm.cm | |
| Мобильность | > 5000 см2 / В · сек | |
| Etch Pit Плотность | <8000 / см2 | |
| Лазерная маркировка | по требованию | |
| Чистота поверхности | P / P | |
| Толщина | 350 ~ 675um | |
| эпитаксии Готовый | Да | |
| Пакет | Одноместный вафельные контейнер или кассеты | |
1,4 6 дюймов (150 мм) (GaAs)-галлиВафли, полуизолирующие для микроэлектроники
| Пункт | Технические условия | Замечания |
| Проводимость Тип | Полуизолирующих | - |
| Grow метод | VGF | - |
| добавка | легированный C | - |
| Тип | N | - |
| Diamater (мм) | 150 ± 0,25 | - |
| Ориентация | (100)0°±3,0° | - |
| NOTCH Ориентация | 〔010〕 ± 2 ° | - |
| NOTCH Deepth (мм) | (1-1,25)мм 89°-95° | - |
| Концентрация носителей | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж | - |
| Удельное сопротивление (ohm.cm) | >1,0×107 | - |
| Мобильность (см2 / В) | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж | - |
| вывих | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж | - |
| Толщина (мкм) | 675 ± 25 | - |
| Край исключение для луки и Деформации (мм) | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж | - |
| Лук (мкм) | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж | - |
| Деформация (мкм) | ≤20.0 | - |
| ТТВ (мкм) | ≤10.0 | - |
| МДП (мкм) | ≤10.0 | - |
| LFPD (мкм) | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж | - |
| Полировка | P / P Epi-Ready | - |
1,5 2″(50,8 мм) LT-GaAs (Низкотемпературный-Grown арсенид галлия) Вафельные Технические характеристики
| Пункт | Технические условия |
| Проводимость Тип | Полуизолирующих |
| Grow метод | VGF |
| добавка | Sub: C допированный / Epi: Недопированный |
| Тип | N |
| Diamater (мм) | 150 ± 0,25 |
| Ориентация | (100)0°±3,0° |
| NOTCH Ориентация | 〔010〕 ± 2 ° |
| NOTCH Deepth (мм) | (1-1,25)мм 89°-95° |
| Концентрация носителей | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж |
| Удельное сопротивление (ohm.cm) | >1,0×107 или 0,8-9×10-3 |
| Мобильность (см2 / В) | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж |
| вывих | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж |
| Толщина (мкм) | 675 ± 25 |
| Край исключение для луки и Деформации (мм) | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж |
| Лук (мкм) | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж |
| Деформация (мкм) | ≤20.0 |
| ТТВ (мкм) | ≤10.0 |
| МДП (мкм) | ≤10.0 |
| LFPD (мкм) | пожалуйста, проконсультируйтесь с нашим отделом продаж |
| Полировка | P / P Epi-Ready |
2. Рынок и применение пластин GaAs
Арсенид галлия является важным полупроводниковым материалом. Он относится к составным полупроводникам группы III-V и структуре кристаллической решетки цинковой обманки с постоянной решетки 5,65 × 10-10 м, температурой плавления 1237 ° C и шириной запрещенной зоны 1,4 электрон-вольта. Арсенид галлия можно превратить в полуизолирующие материалы с высоким сопротивлением, которые можно использовать для изготовления подложек интегральных схем, инфракрасных детекторов, детекторов гамма-фотонов и т. д. Поскольку его подвижность электронов в 5-6 раз выше, чем у кремния, подложка SI GaAs имеет широко использовались в производстве микроволновых устройств и высокоскоростных цифровых схем. Полупроводниковые устройства, изготовленные на основе арсенида галлия, обладают такими преимуществами, как высокая частота, высокая температура, низкотемпературные характеристики, низкий уровень шума и высокая радиационная стойкость, что расширяет рынок подложек GaAs.
3. Сертификат испытаний пластины GaAs при необходимости может включать следующие анализы:
1 / Шероховатость поверхности арсенида галлия, включая переднюю и заднюю стороны (нанометры).
2/Концентрация легирования арсенида галлия (см-3)
3/EPD арсенида галлия (см-2)
4/Мобильность Gallium Arsendie (В.сек)
5/Рентгеноструктурный анализ (кривые качания) арсенида галлия: полуширина кривой дифракционного отражения
6/Низкотемпературная фотолюминесценция (спектры излучения в диапазоне 0,7-1,0 мкм) арсенида галлия: доля экситонной фотолюминесценции в спектре излучения ближнего ИК-диапазона при температуре 4 К или 5 К и плотности оптического возбуждения 1 Вт/см2
7/Коэффициент пропускания или коэффициент поглощения: например, мы можем измерить коэффициент поглощения монокристаллического нелегированного GaAs при 1064 нм: <0,6423 см-1, и это соответствует минимуму пропускания 33,2% для заготовки толщиной ровно 6,5 мм при 1064 нм.
Примечание:
Правительство Китая объявило о новых ограничениях на экспорт галлиевых материалов (таких как GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs и GaSb) и германиевых материалов, используемых для изготовления полупроводниковых микросхем. С 1 августа 2023 года экспорт этих материалов разрешен только при наличии лицензии Министерства торговли Китая. Надеемся на ваше понимание и сотрудничество!
Вам также может понравиться ...
-
Float-Zone монокристаллического кремния
PAM-XIAMEN может предложить кремниевые пластины с плавающей зоной, полученные методом Float Zone. Монокристаллические кремниевые стержни получают путем выращивания в зоне плавания, а затем перерабатывают монокристаллические кремниевые стержни в кремниевые пластины, называемые кремниевыми пластинами зоны плавания. Поскольку кремниевая пластина зонного расплава не контактирует с кварцевым тиглем во время процесса плавления кремния в зоне, кремниевый материал находится во взвешенном состоянии. Тем самым он меньше загрязняется в процессе зонной плавки кремния. Содержание углерода и кислорода ниже, примесей меньше, а удельное сопротивление выше. Он подходит для изготовления силовых устройств и некоторых высоковольтных электронных устройств.
-
Корпусная GaN-подложка
РАМ-СЯМЫНЬ установила технологии изготовления для автономных (нитрид галлия) GaN-подложка пластины, которая является для UHB-LED и LD. Выращенный по технологии гидридной эпитаксии из паровой фазы (HVPE), Наша GaN-подложка имеет низкую плотность дефектов.
-
Подложка SiC вафли
Компания имеет полную линию по производству подложек для пластин SiC (карбид кремния), объединяющую выращивание кристаллов, обработку кристаллов, обработку пластин, полировку, очистку и тестирование. В настоящее время мы поставляем коммерческие пластины SiC 4H и 6H с полуизоляцией и проводимостью по оси или вне оси, доступные размеры: 5x5 мм2, 10x10 мм2, 2”, 3”, 4”, 6” и 8″, преодолевая ключевые технологии, такие как как подавление дефектов, обработка затравочных кристаллов и быстрый рост, содействие фундаментальным исследованиям и разработкам, связанным с эпитаксией карбида кремния, устройствами и т. д.
-
CdZnTe (CZT) Вафли
Кадмий теллурида цинка (CdZnTe или CZT) представляет собой новый полупроводниковый, что позволяет преобразовывать излучение эффективно электрон, то оно в основном используется в инфракрасной области тонкопленочных эпитаксии подложки, детекторы рентгеновского излучения и детекторы гамма-излучения CdZnTe. -
Ge (германий) монокристаллов и Вафли
PAM-XIAMEN предлагает германиевые пластины размером 2, 3, 4 и 6 дюймов, что является сокращением от Ge, выращенного VGF / LEC. Слабо легированные германиевые пластины P и N типов также могут быть использованы для эксперимента с эффектом Холла. При комнатной температуре кристаллический германий хрупок и малопластичен. Германий обладает полупроводниковыми свойствами. Германий высокой чистоты легируют трехвалентными элементами (например, индием, галлием, бором) для получения германиевых полупроводников Р-типа; и пятивалентные элементы (такие как сурьма, мышьяк и фосфор) легируются для получения германиевых полупроводников N-типа. Германий обладает хорошими полупроводниковыми свойствами, такими как высокая подвижность электронов и высокая подвижность дырок. -
InP пластины
PAM-XIAMEN предлагает пластины VGF InP (фосфид индия) основного или тестового класса, включая низколегированные, N-типа или полуизолирующие. Подвижность пластин InP различна для разных типов: низколегированная пластина> = 3000 см2/Вс, тип N>1000 или 2000 см2В·с (зависит от различной концентрации легирования), тип P: 60+/-10 или 80+/-10 см2. /Vs (зависит от различной концентрации легирования Zn) и полуоскорбительного > 2000 см2/Vs, EPD фосфида индия обычно ниже 500/см2.
-
GaAs Epiwafer
PAM-XIAMEN производит различные типы полупроводниковых материалов n-типа n-типа, легированных кремнием, на основе Ga, Al, In, As и P, выращенных методами MBE или MOCVD. Мы поставляем изготовленные на заказ структуры эпивафер GaAs в соответствии со спецификациями клиентов. Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительной информации.
-
Нанотехнология Фоторезист
PAM-СЯМЫНЬ Предложения фоторезиста пластины с фоторезистом
