Края и вырезы кремниевые пластины обычно обрабатываются с помощью алмазного шлифования и шлифовального-индуцированное повреждение подповерхностных вызывает разрушение пластин и проблемы загрязнения частиц. Тем не менее, краевые и режекторные поверхности имеют большую кривизну и острые углы, таким образом, трудно быть завершена химио-механического полирования. В этом исследовании наносекундного импульсного Nd: YAG-лазера был использован облучать край и выемку легированного бором монокристаллический кремниевой пластины для восстановления шлифовальной-индуцированного повреждения геологической среды. Потери на отражение и изменение плотности энергии лазерного излучения при облучении искривленной поверхности были рассмотрены, а поведение восстановления повреждений были исследованы. Шероховатость поверхности, степень кристалличности, и твердость восстановленной области лазерной была измерена с помощью белого света интерферометрии, лазерной микро-спектроскопии комбинационного рассеяния, и наноиндентирования, соответственно. Результаты показали, что после облучения лазера поврежденной область была восстановлена ​​на монокристаллической структуру с нанометровой шероховатостью поверхности, а также твердость поверхности была также улучшена. Это исследование показывает, что восстановление лазера является перспективным процессом после измельчения для улучшения целостности поверхности кромки и паза кремниевые пластины.

Источник: IOPscience

Для получения дополнительной информации, пожалуйста, посетите наш веб-сайт:https://www.powerwaywafer.com,
отправить нам письмо по адресуsales@powerwaywafer.comиpowerwaymaterial@gmail.com