Как изготавливаются чипы из карбида кремния (SiC)?

Как изготавливаются чипы из карбида кремния (SiC)?

Как изготавливается чип из карбида кремния (SiC)? Вообще говоря, чипсы — это полуфабрикаты, вырезанные из вафель.PAM-XIAMEN может предложить пластины SiC для изготовления чипов, дополнительные спецификации см.https://www.powerwaywafer.com/sic-wafer. Каждая пластина объединяет сотни чипов, а каждый чип состоит из тысяч ячеек. Итак, как сделать клетку?

Первый шаг: инъекционная маска. Пластина сначала очищается, наносится слой пленки оксида кремния, а затем путем равномерного клея, экспонирования, проявки формируется рисунок фоторезиста. Наконец, рисунок переносится на маску для травления в процессе травления.

Второй этап: Ионная имплантация. Поместите замаскированную пластину в ионный имплантер и имплантируйте высокоэнергетические ионы. Затем маску снимают и отжигают для активации имплантированных ионов.

Третий шаг: Делаем сетку. Слой оксида затвора и слой электрода затвора последовательно наносятся на пластину для формирования управляющей структуры на уровне затвора.

Четвертый шаг: создание пассивирующего слоя. Для предотвращения пробоя между электродами наносится диэлектрический слой с хорошими изолирующими свойствами.

Пятый шаг: Изготовление электродов сток-исток. В пассивирующем слое открываются отверстия, и металл напыляется, образуя электроды сток-исток.

При приложении положительного напряжения между электродом сток-исток и электродом затвор-исток канал открывается, электроны текут от истока к стоку, а от стока к истоку течет ток.

Изготовлено основное силовое устройство (ячейка).

Чипы SiC могут эффективно повысить эффективность работы, снизить потери энергии, сократить выбросы углерода, повысить надежность системы, уменьшить объем и сэкономить место.

Пожалуйста, нажмите на ссылку, чтобы посмотреть короткое видео об изготовлении чипа SiC:https://youtu.be/8EyJApHZBJ8

powerwaywafer

Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с нами по электронной почте по адресу victorchan@powerwaywafer.com и powerwaymaterial@gmail.com.

Поделиться этой записью