Карбид кремния (SiC) представляет собой составной полупроводниковый материал, состоящий из углеродных и кремниевых элементов, и называется полупроводниковым материалом с широкой запрещенной зоной, поскольку ширина запрещенной зоны превышает 2,2 эВ.PAM-XIAMEN может предоставить пластины N-типа и полуизолирующие SiC-пластины. Дополнительные характеристики пластин SiC см. на страницеhttps://www.powerwaywafer.com/sic-wafer.
Как производятся пластины SiC? Вы можете перейти по ссылкеhttps://youtu.be/HeSXVKLj8kgпосмотреть видео производственного процесса.
Во-первых, использовать порошок кремния высокой чистоты и порошок углерода высокой чистоты в качестве сырья для выращивания монокристаллов SiC методом физического переноса паров (PVT).
Во-вторых, использовать многопроволочное оборудование для резки кристалла SiC на тонкие срезы толщиной не более 1 мм.
В-третьих, пластины шлифуются до желаемой плоскостности и шероховатости с помощью алмазной суспензии разного размера частиц.
В-четвертых, пластины SiC подвергаются механической полировке и химико-механической полировке для получения пластин SiC с зеркальной полировкой.
Затем используйте оптические микроскопы и другие инструменты для определения плотности микротрубок, шероховатости поверхности, удельного сопротивления, деформации, TTV, поверхностных царапин и других параметров пластин SiC.
Наконец, полированные пластины SiC очищаются чистящим средством и чистой водой для удаления поверхностных загрязнений, таких как полировальная жидкость, а затем пластины продуваются и высушиваются азотом сверхвысокой чистоты и сушильной машиной.
После этого используйте химическое осаждение из паровой фазы и другие методы для создания эпитаксиальных пластин SiC на подложках и, наконец, создайте соответствующие устройства.
Благодаря своим превосходным физическим свойствам: широкой запрещенной зоне, высокой электропроводности, высокой теплопроводности, пластины SiC широко используются в коммуникациях 5G, интеллектуальных сетях, транспортных средствах на новых источниках энергии, высокоскоростных поездах и других областях, а также обладают огромным рыночным потенциалом.
Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с нами по электронной почте по адресуvictorchan@powerwaywafer.com и powerwaymaterial@gmail.com.