Photomask Middium и небольшой размер
Pam Xiamen предлагает фотомаску среднего и небольшого размера.
Точность хромовой пластины (стандартный размер: 6 -дюймовый кварц)
| Точность/оценка | Максимальная точность | Высокая задача | Средняя точность | Общая точность |
| Мин. Линия/ширина пространства | 0,75 мкм/0,75 мкм | 3 мкм / 3 мкм | 5 мкм / 5 мкм | 10мкм / 10мкм |
| Управление CD | ± 0,1 мкм | ± 0,3 мкм | ± 0,5 мкм | ± 1.0μm |
| Общая точность шага | ± 0.25μm | ± 0,5 мкм | ± 0.75μm | ± 1.0μm |
| Точность регистрации | ± 0.25μm | ± 0,5 мкм | ± 0.75μm | ± 1.0μm |
| Точность наложения | ± 0.25μm | ± 0,5 мкм | ± 0.75μm | ± 1.0μm |
| Ортогональность | ± 0.5μrad | ± 0.75μrad | ± 1.0μrad | ± 2.0μrad |
Материал хромированной пластины (Photomask Blank Plate)
| Материал | Стекло содовой извести 、 Кварц | |||
| Максимум. Размер | 3006,4009 5009 6012,6025,7012,9012,12 ″ x12 ″, 14 ″ x14 ″ | |||
| Нормальный размер | 1,5 ± 0,2 мм, 2,3 ± 0,2 мм, 3,0 ± 0,2 мм, 4,8 ± 0,2 мм | |||
| Толщина | 6,35 ± 0,2 мм (QZ) | |||
| Тип фильма | Низкий отражательный хром | |||
| Оптическая плотность (λ = 450 нм) | Между тарелками3,0 ± 0,3 в пластине ± 0,3 | |||
| Отражательная способность (λ = 436 нм) | Между тарелками 10 ± 5% в пластине ± 2% | |||
Основные области применения:
1. IC Cuting, IC Poard, IC Lead Frame и другие связанные с ними отрасли;
2. Led (PSS), MEMS, датчик и энкодер и другие промышленные компоненты Fine Electronic.
Для получения дополнительной информации, пожалуйста, посетите наш веб -сайт:https://www.powerwaywafer.com,
отправьте нам письмо по адресу[email protected]и[email protected]
Найденная в 1990 году, Xiamen Powerway Advanced Material Co., Ltd (PAM-Xiamen) является ведущим производителем полупроводниковых материалов в Китае.PAM-Xiamen разрабатывает передовые технологии роста кристаллов и эпитаксии, производственные процессы, инженерные субстраты и полупроводниковые устройства.Технологии Pam-Xiamen обеспечивают более высокую производительность и более низкую стоимость производства полупроводниковой пластины.
Качество является нашим первым приоритетом. Pam-Xiamen был ISO9001: 2008, владеет и делится четырьмя современными фасадом, которые могут предоставить довольно большой спектр квалифицированных продуктов для удовлетворения различных потребностей наших клиентов, и каждый заказ должен быть обработан с помощью нашей строгой системы качества. Отчет о каждой партии предоставляется, и каждая вафля является гарантией.
