Комнатная температура Склеивание Вафли Использование Si и Ge пленок с чрезвычайно низкой электропроводностью

Комнатная температура Склеивание Вафли Использование Si и Ge пленок с чрезвычайно низкой электропроводностью

Технический потенциал комнатной температуры склеивания пластин в вакууме с использованием аморфный Si (а-Si), и Ge Изучено (а-Ge) пленки. микроскопия изображения Передачи электроны не выявили интерфейса, соответствующий исходная пленка для поверхностей, соединенных пленок а-Ge-а-Ge. Анализ структуры пленки и свободной поверхностной энергии на границе связанного показали более высокий потенциал сцепления при подключенном интерфейсе а-Ge-а-Ge, чем у Si-пленок. Электрическое удельное сопротивление пленок Ge-0,62 Ом · м, что ниже, чем у Si-пленки (4,7 Ом · м), но 7-8 порядка выше, чем у типичных материалов, используемых пленок для склеивания в вакууме. Наши результаты показывают, что температура в помещении склеивание использования Ge-пленок полезно вафли облигаций без какого-либо заметного влияния на электрических свойствах устройств на пластине поверхностей, вызванная электропроводностью пленок, используемые для склеивания.

Источник: IOPscience

Для получения дополнительной информации, пожалуйста, посетите наш веб-сайт:https://www.powerwaywafer.com,
отправить нам письмо по адресуsales@powerwaywafer.comиpowerwaymaterial@gmail.com

Поделиться этой записью