PAM XIAMEN предлагает 12-дюймовую фиктивную кремниевую пластину:
Поверхность: двусторонняя полированная;
Толщина ≥750 мкм;
V-образный вырез (SEMI STD);
Незначительные царапины (без пятен или тяжелых / глубоких царапин);
О фиктивной вафле Si
В соответствии с различными сценариями применения в фабрике кремниевые пластины можно разделить на две категории:
1. Prime Wafer, который непосредственно используется для обработки полупроводников, включая полированные пластины, эпитаксиальные пластины и т. Д .;
2. Кремниевые пластины для мониторинга и тестирования, включая пластины для мониторов, фиктивные пластины / тестовые пластины.
В процессе производства полупроводниковая пластина из кремния играет роль в мониторинге, тестировании и поддержании стабильности, что является важным компонентом.
Основная функция силиконовых вафель-пустышек - занимать позицию. Если определенная партия кремниевых пластин недостаточна с зазорами, особенно в трубе печи (PVD / CVD / диффузия окисления и т. Д.), Это может повлиять на стабильность и однородность воздушного потока. Следовательно, необходимо добавить несколько пластин фиктивного сорта Si, чтобы уменьшить вакансию.
Для получения дополнительной информации отправьте нам электронное письмо по адресуsales@powerwaywafer.comиpowerwaymaterial@gmail.com