12″ Test Grade Silicon Wafer

PAM-XIAMEN предлагает фиктивные кремниевые пластины без покрытия диаметром 300 мм (12 дюймов), испытательный класс, тип n или тип p. По сравнению с другими поставщиками кремниевых пластин Powerway Wafer предлагает профессиональные услуги по конкурентоспособным ценам.

  • Description

Описание продукта

PAM-XIAMEN предлагает тестовые кремниевые пластины типа P или N диаметром 300 мм (12 дюймов). Толщина кремниевой тестовой пластины составляет 775 ± 25 мкм. По сравнению с другими поставщиками кремниевых пластин Powerway Wafer предлагает профессиональные услуги по конкурентоспособным ценам.

1. Спецификация тестовой кремниевой пластины

Параметры Значение
Тип слитка Выращен по методу Чохральского.
Диаметр, мм 300 ± 0,2
добавка B (бор)
Тип проводимости P
Oxigen max, OLD-PPMA 40
Углерод, PPMA 1
Проверка ориентации кристаллов кремниевой пластины <100>
Отклонение от заданной поверхностной ориентации плоскости кристалла, град 1
Удельное объемное сопротивление, Ом · см 10-40
Первичный надрез Да
Расположение выемки 110
Размер надреза, мм 2,3
Форма выемки V
Толщина пластины, мкм 775±25
Тип маркировки лазер
Расположение кремниевой лазерной маркировки Оборотная сторона
Кромочный профиль Автор: SEMI T / 4
Царапины на лицевой стороне нет на месте
Полировка лицевой стороны да
Полировка тыльной стороны да
Суммарное изменение толщины пластины (TTV), мкм 5
Прогиб (WARP), мкм 60
Количество частиц на поверхности крупнее 0,09 мкм 50
Поверхностное содержание алюминия, E10AT/CM2 1

 

Требования к упаковке:

Параметры  
Тип упаковки MW300GT-A
Материал внутреннего контейнера полиэтилен
Наружный упаковочный материал Алюминий
Количество штук в одной упаковке 25
Возможность повторного использования да

 

2. Проверка использования кремниевой пластины

Кремниевые пластины размером более 150 мм классифицируются как механические (фиктивные) испытательные пластины и технологические испытательные пластины, а отраслевые стандарты для тестовых кремниевых пластин соответствуют следующим стандартам SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International, глобальная ассоциация полупроводников, предлагающая оборудование, материалы и услуги для производство во всем мире полупроводниковых, фотоэлектрических (PV), светодиодных, MEMS и плоских дисплеев (FPD), а также микро- или нанотехнологий).

3.О классе испытаний кремниевых пластин

Однако для разных приложений требуются разные параметры для пластины для механических или технологических испытаний:

Кремниевые пластины для испытаний на технологический процесс

Process Silicon Wafer Test Grade называется Monitor wafer, который предназначен для мониторинга процесса и некоторых приложений обработки при изготовлении пластин. Фабрика вафель также использует контрольные тестовые пластины для оценки чистоты оборудования, поддержки измерения частиц или оценки металлического загрязнения и т. д.

Фиктивная кремниевая пластина

Макет кремниевой пластины, также называемой тестовой пластиной механического класса, предназначен для тестирования оборудования только на предмет размерных и структурных характеристик пластины, которая используется для проведения тестов автоматизации обработки оборудования, марафонов надежности и тестов программного обеспечения, а также для оценки характеристик совместимости оборудования для работы с пластинами.

Кроме того, фабрика по производству кремниевых пластин использует кремниевые тестовые пластины механического качества для обработки приложений разработки, которые не чувствительны к частицам и дефектам.

Тестовые кремниевые пластины класса частиц

Тестовые кремниевые пластины класса частиц предназначены для мониторов тестирования частиц для измерения частиц пластин для приложений, таких как процессы CVD и ALD.

В соответствии со стандартом SEMI, частицы кремниевой пластины должны иметь размер < 0,6 частиц при >0,125 мкм/см2 и < 0,15 частиц при >0,25 мкм/см2 для процесса 250 нм и использования правил проектирования 130 нм, пластины диаметром 300 мм должны иметь ≤60 LLS при > = 90 нм. для 130-нм процесса.

Кремниевые пластины для фотолитографии или тестирования рисунка

Тестовые кремниевые пластины для фотолитографии или тестирования шаблонов в основном сосредоточены на требованиях к изменению толщины пластины, TTV, WARP, BOW и плоскостности. Например, дизайн кристалла пластины 250 нм, соответствующий стандарту SEMI M24: плоскостность на площадку (SFSR) ≤ 0,2 мкм при размере площадки 25 x 25 мм.

Класс печиТестКремнийВафли

Полупроводниковая вафельная пластина для испытаний в печи предъявляет строгие требования к электрическим характеристикам, но не к характеристикам твердых частиц.

Удельное сопротивление испытательной кремниевой пластины для печи должно быть выше 1 Ом·см и очень равномерно легировано со сроком службы>=200 мкс.

Также вафли печного сорта строго контролируются по содержанию кислорода и углерода, а также по радиальному градиенту удельного сопротивления.

Девственница Тестовые вафли

Первичные тестовые кремниевые пластины не используются в производстве полупроводников, а используются для мониторинга процесса производства пластин в соответствии с SEMI M8-93.

Солнечная кремниевая пластина

По сравнению с кремниевой пластиной класса IC, кремниевая пластина класса Solar имеет более низкие требования,

его чистота составляет >=99,9999%, а чистота по классу IC >=99999999,99%

 

4. Часто задаваемые вопросы:

Q:В чем разница между основной, тестовой и фиктивной кремниевой пластиной?

A: Кремниевая пластина высшего качества - это кремниевая пластина лучшего качества для формального производства пластин и фотолитографии.

Тестовая кремниевая пластина - это кремниевая пластина для тестирования оборудования или управления производством и тестирования.

Кремниевая пластина фиктивного качества - это кремниевая пластина для оценки производственного процесса или меры безопасности на производственной линии.

По сравнению с кремниевой пластиной испытательного качества, параметры кремниевой пластины фиктивного качества намного проще или свободны для испытательного оборудования только для размерных и структурных характеристик пластины. Но иногда не так строго различать.

 

PAM-XIAMEN может предложить вам технологию и поддержку пластин.

Для получения более подробной информации, пожалуйста, посетите наш веб-сайт:https://www.powerwaywafer.com/silicon-wafer,

отправить нам письмо по адресу sales@powerwaywafer.com и powerwaymaterial@gmail.com