Polished Wafer
PAM-XIAMEN может предложить полированные пластины типа n или p с ориентацией <100>, <110> или <111>. Полированные пластины FZ, в основном для производства кремниевых выпрямителей (SR), кремниевых управляемых выпрямителей (SCR), гигантских транзисторов (GTR), тиристоров (GRO).
- Description
Описание
Полированная пластина
PAM-XIAMEN может предложить полированные пластины типа n или p с ориентацией <100>, <110> или <111>. Дополнительные характеристики см. в таблицах ниже.
Наши преимущества с первого взгляда
- Современное оборудование для выращивания эпитаксии и испытательное оборудование.
- Обеспечивает высочайшее качество с низкой плотностью дефектов и хорошей шероховатостью поверхности.
- Сильная поддержка исследовательской группы и технологическая поддержка наших клиентов.
1. Характеристики полированных кремниевых пластин.
1.1 Технические характеристики полированных пластин FZ
Полированная кремниевая пластина FZ: в основном для производства кремниевых выпрямителей (SR), кремниевых управляемых выпрямителей (SCR), гигантских транзисторов (GTR), тиристоров (GRO).
| Тип | Тип проводимости | Ориентация | Диаметр области (мм) | Область удельного сопротивления (Ом см) | Зернистость геометрического параметра, поверхностный металл |
| ФЗ | Н & Р | <100>&<111> | 76.2-200 | >1000 | T≥260 (мкм) TTV≤2 （um） TIR≤2 （um） ПОМЕШИВАНИЕ≤1（мкм）(20*20) Зернистость≤10 шт. (≥0,3 мкм), ≤20 шт. (≥ поверхность металла≤5E10/см2 BSD: Плотность ямки травления>1E106шт/см2 Поли: 5000-12000 А |
| NTDFZ | N | <100>&<111> | 76.2-200 | 30-800 | |
| CFZ | Н & Р | <100>&<111> | 76.2-200 | 1-50 | |
| GDFZ | Н & Р | <100>&<111> | 76.2-200 | 0.001-300 |
1.2 Технические характеристики полированных пластин CZ
| Тип | Тип проводимости | Ориентация | Диаметр области (мм) | Область удельного сопротивления (Ом см) | Зернистость геометрического параметра, поверхностный металл |
| MCZ | Н & Р | <100> <110>&<111> | 76.2-200 | 1-300 | T≥260 (мкм) TTV≤2 （um） TIR≤2 （um） ПОМЕШИВАНИЕ≤1（мкм）(20*20) Зернистость≤10 шт. (≥0,3 мкм), ≤20 шт. (≥0,2 мкм) Поверхность металла≤5E10/см2 BSD: Плотность травильной ямы>1E106шт/см2LTO: 3500~8000±250А |
| CZ | Н & Р | <100> <110>&<111> | 76.2-200 | 1-300 | |
| MCZ сильно допингован | Н & Р | <100>&<111> | 76.2-200 | 0.001-1 |
2. О полированной пластине
Поликремний высокой чистоты электронного качества подвергается этапам вытягивания кристаллов, нарезки, снятия фасок, притирки, травления, полировки и очистки для получения полированной пластины, которая соответствует электрическим, поверхностным физическим свойствам, стандартам по примесям и другим спецификациям. На основе полированных пластин обрабатываются специальные процессы, такие как отжиг, эпитаксия и КНИ.
Полированная пластина (PW) — это кремниевый чип с атомной плоскостностью, представляющий собой полированную с одной или двух сторон кремниевую пластину, на которую приходится около 70% применений кремниевых пластин. После изготовления слитка монокристаллического кремния его разрезают на тонкие ломтики цилиндрического монокристаллического кремния слитка, который представляет собой пластину кремниевого элемента высокой чистоты. Целью полировки является дальнейшее удаление остаточного слоя повреждений на обрабатываемой поверхности. Полированная пластина монокристаллического кремния может использоваться непосредственно для изготовления устройств или в качестве материала эпитаксиальной подложки. Полированная кремниевая пластина широко используется в цифровых и аналоговых интегральных схемах, памяти, силовых устройствах и других микросхемах.
Кремниевая пластина, легированная Sb, типа N для производства интегральных схем
PAM XIAMEN предлагает кремниевые слитки и кремниевые пластины MCZ.
PAM XIAMEN предлагает черные пластины из ниобата лития для оптики и компонентов SAW.
Стехиометрический нитрид LPCVD на кремниевых пластинах
4-дюймовая пластина Prime CZ Si с односторонним напылением слоя Cr/Au толщиной 10/50 нм
Кремниевая пластина с нулевой дифракцией диаметром 32 мм для рентгеновских измерений
Волновод из нитрида кремния – подложки и предоставляемые услуги
Нитрон со сверхнизким напряжением на кремниевых пластинах
Нитридно-кремниевые пластины с низким напряжением
Целенаправленный стресс LPCVD нитрид
Кремниевые пластины с (211) ориентацией
Раскалывание кремниевых пластин
Кремниевые пластины высшего качества
Кремниевые пластины для мягкой литографии
Платформы для микрожидкостных чипов кремниевых пластин PDMS
Ультратонкие кремниевые пластины
Что такое кремниевые пластины?
Кремниевые пластины с плавающей зоной
Нелегированные кремниевые пластины
Изготовленные на заказ кремниевые пластины
Полированная силиконовая пластина
Кремниевая пластина 1 ″ и 1,5 ″
Кремниевая пластина 150 мм и 200 мм
25,4 (1 дюйм) кремниевые пластины
Толщина кремниевой пластины: 275+- 25 мкм
Толщина кремниевой пластины: 1000 мкм
2-дюймовые кремниевые пластины. Толщина: 1000 ± 25 мкм.
Толщина пластины Si: 675 ± 25 мкм
4-дюймовая кремниевая пластина. Толщина: 500 ± 20 мкм.
3″ Толщина кремниевой пластины: 380±20 мкм
Кремниевые пластины 50,8 мм (2 дюйма)-1
Кремниевые пластины 50,8 мм (2 дюйма)-2
Кремниевые пластины 50,8 мм (2 дюйма)-3
Кремниевые пластины 50,8 мм (2 дюйма)-4
Кремниевые пластины 50,8 мм (2 дюйма)-5
Кремниевые пластины диаметром 76,2 мм (3 дюйма)
Кремниевые пластины 100 мм (4 дюйма)-1
Кремниевые пластины 100 мм (4 дюйма)-2
Кремниевые пластины 100 мм (4 дюйма)-3
Кремниевые пластины 100 мм (4 дюйма)-4
Кремниевые пластины 100 мм (4 дюйма)-5
Кремниевые пластины 100 мм (4 дюйма)-6
Кремниевые пластины диаметром 125 мм (5 дюймов)
150-мм (6-дюймовые) кремниевые пластины
Кремниевые пластины диаметром 200 мм (8 дюймов)
Нарезанные кубиками кремниевые пластины
(100) Пластины ориентированного кремния-1
(100) Пластины ориентированного кремния-2
(100) Пластины ориентированного кремния-3
(100) Пластины ориентированного кремния-4
(100) Пластины ориентированного кремния-5
(112) Ориентационные кремниевые пластины
2″Силиконовая пластина CZ Prime
3-дюймовая кремниевая пластина CZ Prime
4-дюймовая кремниевая пластина CZ Prime-6
4-дюймовая кремниевая пластина CZ Prime-8
4-дюймовая кремниевая пластина CZ Prime-11
4″CZ Prime Silicon пластина-15
4-дюймовая кремниевая пластина CZ Prime-16
6-дюймовая кремниевая пластина CZ Prime
6-дюймовая кремниевая пластина CZ Prime-3
8-дюймовая кремниевая пластина CZ Prime
2″ Внутренняя кремниевая пластина FZ
4-дюймовая кремниевая пластина FZ SSP
4-дюймовая кремниевая пластина FZ DSP
5-дюймовые кремниевые пластины FZ
6-дюймовая кремниевая пластина FZ
12-дюймовая кремниевая пластина
8-дюймовая кремниевая пластина
5-дюймовая кремниевая пластина
4-дюймовая кремниевая пластина-2
4-дюймовая кремниевая пластина-3
4-дюймовая кремниевая пластина-4
4-дюймовая кремниевая пластина-2
4-дюймовая кремниевая пластина-3
4-дюймовая кремниевая пластина-4
4-дюймовая кремниевая пластина-14
3-дюймовая кремниевая пластина-1
3-дюймовая кремниевая пластина-3
3-дюймовая кремниевая пластина-4
3-дюймовая кремниевая пластина-1
3-дюймовая кремниевая пластина-3
3-дюймовая кремниевая пластина-4
3-дюймовая кремниевая пластина-6
3-дюймовая кремниевая пластина-7
3-дюймовая кремниевая пластина-9
3-дюймовая кремниевая пластина-10
3-дюймовая кремниевая пластина-20
2-дюймовая кремниевая пластина-4
2-дюймовая кремниевая пластина-4
2-дюймовая кремниевая пластина-5
2-дюймовая кремниевая пластина-9
2-дюймовая кремниевая пластина-15
1-дюймовые кремниевые пластины
2-дюймовая пластина оксида кремния
3-дюймовая пластина оксида кремния
4-дюймовая пластина оксида кремния
4″ кремниевая пластина типа FZ N
Поликристаллическая полированная пластина с обратной запайкой
