Подложки для осаждения нитридных пленок III-V

Подложки для осаждения нитридных пленок III-V

Подложки для нанесения пленок нитридов III-V групп

Кристалл Состав депутат Плотность Несоответствие решетки GaN Тепловое расширение Технологии Роста. .& Максимальный размер Стандартный размер подложки (мм)
oC г / см3 (10-6/к)
SiC

(например, 6H)

Шестиугольный ~2700 3.21 3,5 % атор. 10.3 сердечно-сосудистые заболевания Ø2″ x 0,3, Ø3″x0,3
а=3,073 Å     20х20х0,3,15х15х0,3
с = 15,117 & Aring   Ø3“ 10х10х0,3,5х5х0,3
  субл.   1 сторона эпиполированная
Al2O3 Шестиугольный 2030 3.97 14% атори. 7.5 CZ Ø50 х 0,33
а=4,758 Å   Ø25 х 0,50
с=12,99 Å Ø2” 10х10х0,5
    1 или 2 стороны эпиполированные
LiAlO2 Тетрагональный 1900 ~ 2.62 1,4 % атор. / CZ 10х10х0,5
а=5,17 Å Ø20 мм 1 или 2 стороны эпиполированные
с=6,26 Å    
LiGaO2 Ортор. 1600 4.18 0,2 % атор. / CZ 10х10х0,5
а=5,406 Å Ø20 мм 1 или 2 стороны эпиполированные
б=5,012 Å    
с=6,379 Å    
MgO Кубический 2852 3.58 3% атори. 12.8 Поток 2”x2”x 0,5 мм,Ø2”x 0,5 мм
а=4,216 Å   1”x1”x 0,5 мм,Ø1”x 0,5 мм
  Ø2″ 10 х 10 х 0,5 мм
1 или 2 стороны эпиполированные
MgAl2O4 Кубический 2130 3.6 9% атори. 7.45 CZ Ø2″ х 0,5
а=8,083 Å Ø2“ 10х10х0,5
    1 или 2 стороны эпиполированные
ZnO Шестигранник 1975 5.605 2,2 % атор. 2.9 Гидротермальный 20х20х0,5
а=3,325 Å 20мм 1 или 2 стороны эпиполированные
с=5,213 Å    
GaN Шестиугольный   6.15   5.59   10x10x0,475 мм
    5x5x0,475 мм

Поделиться этой записью