Высококачественные толстые слои гидридной парофазной эпитаксии с низкой плотностью дислокаций (HVPE) GaN
Высококачественная толстая гидридная парофазная эпитаксия с низкой плотностью дислокаций (HVPE). Слои GaN. Толстые высококачественные слои нитрида галлия (GaN), имеющие плотность дислокаций, уменьшенную до 6×106 см-2, были выращены методом гидридной парофазной эпитаксии (HVPE). Характеристики сканирующей электронной микроскопии (SEM), измерения двойной рентгеновской дифракции (XRD), эксперименты по фотолюминесценции и отражательной способности, оба при 4,5 К, имеют...