Международная технологическая дорожная карта для полупроводников (ITRS) определяет данные производственных испытаний как важный элемент совершенствования конструкции и технологий в контуре обратной связи производственного процесса. Одно из наблюдений, сделанных на основе данных крупносерийных производственных испытаний, заключается в том, что штампы, вышедшие из строя из-за систематического отказа, имеют [...]
Полное соединение кремниевых пластин с нанесенными атомными слоями промежуточными пленками диоксида титана и оксида алюминия. Пластины кремния на изоляторе (КНИ), изготовленные методом прямого соединения пластин, широко используются в качестве исходных подложек для изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). Добавление еще одного слоя рядом с SiO2 SOI или замена его другим материалом станет способом [...]
Компьютерное моделирование поверхностного взаимодействия и загрязнений. Основные моменты • Моделируется динамика удаления загрязнений с поверхности микро/нанотраншеи. • Траншея имеет прямоугольную форму и сделана из одного или двух разных материалов. • В модели учитываются различные коэффициенты диффузии и характеристики поверхности. • В траншеях с несколькими материалами динамика очистки сильно зависит от порядка укладки. • Динамика имеет два режима [...]
| печенье | Продолжительность | Описание |
|---|---|---|
| cookielawinfo-checkbox-analytics | 11 месяцев | Этот файл cookie устанавливается плагином GDPR Cookie Consent. Файл cookie используется для хранения согласия пользователя на использование файлов cookie в категории «Аналитика». |
| cookielawinfo-флажок-функционал | 11 месяцев | Файл cookie устанавливается согласием на использование файлов cookie GDPR для записи согласия пользователя на использование файлов cookie в категории «Функциональные». |
| cookielawinfo-checkbox-necessary | 11 месяцев | Этот файл cookie устанавливается плагином GDPR Cookie Consent. Файлы cookie используются для хранения согласия пользователя на использование файлов cookie в категории «Необходимые». |
| cookielawinfo-флажок-другие | 11 месяцев | Этот файл cookie устанавливается плагином GDPR Cookie Consent. Файл cookie используется для хранения согласия пользователя на использование файлов cookie в категории «Другое». |
| cookielawinfo-флажок-производительность | 11 месяцев | Этот файл cookie устанавливается плагином GDPR Cookie Consent. Файл cookie используется для хранения согласия пользователя на использование файлов cookie в категории «Производительность». |
| viewed_cookie_policy | 11 месяцев | Файл cookie устанавливается плагином GDPR Cookie Consent и используется для определения того, дал ли пользователь согласие на использование файлов cookie. Он не хранит никаких личных данных. |