Вафли Процесс:
Вафли роста кристаллов
При изготовлении кристаллических пластин, первый важный шаг одиночный рост кристаллов. Использование поликристалла в качестве исходного материала с малым процентом легирующей примеси, такие как азот, ванадий, бор или фосфор. (Это легирующей примеси определяют электрические свойства или сопротивление пластин, которые нарезают из кристалла), выращивание слитков через запечатанной печи роста.
вафли резки
Семена конец (верхние) и конусный конец (нижний) слитки удаляются, а затем слиток разрезал на короткие участки с целью оптимизации работы нарезки, которая будет следовать позже. Далее, каждая секция измельчают до заданного диаметра на механическом lathe.finally резки кристалла в пластинах.
вафли Полировка
Вафли полировки требуется для изготовления пластин на стадии полупроводниковой devices.First грубая притирка путем механической полировки, вторая стадия является тонкой полировки с помощью CMP (химико-механической полировки), чтобы улучшить плоскостность пластин и шероховатость поверхности, чтобы его поверхность, чтобы получить точность эпитаксиальных среза, наконец, эпи готовые пластины становится.
вафли Очистка
Во время полировки, пластины уже проследовать в серию очистки systems.But перед вафлями упакованы в контейнеры, они все еще должны проверить вафли, чтобы увидеть, если есть stratches, пятно и включение.
вафли эпитаксии
Эпитаксия представляет собой процесс, который растет тонким слоем на полированной поверхности полупроводниковой пластины подложки с помощью реактора, а затем становится epiwafer, которые обеспечивают нашим клиентам построить соединение полупроводниковых приборов в мире.
Рост и эпитаксии технологии
Паровой фазы гидридов эпитаксии Technology (HVPE)
Выращенный процессом и технологии HVPE для производства сложных полупроводников, таких как GaN, AlN и AlGaN. Они используются в широком применения: твердотельного освещения, короткой длины волны оптоэлектроники и устройства ВЧ мощности.
Если вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, смотрите: https://www.powerwaywafer.com/GaN-Templates.html
Молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) Технология
МПЭ представляет собой метод укладки слоев материалов с атомными толщинами на подложки. Это делается путем создания «молекулярный пучок» из материала, который падает на к подложке. Полученная в результате «сверхрешетка» имеет ряд технологически важные применения, включая квантовые также лазеры для полупроводниковых систем и Giant Magneto-сопротивления для металлических систем.
Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Технология
Металл Органическое химическое осаждение из паровых (MOCVD) или металл-органическая эпитаксия из паровой фазы (MOVPE) представляет собой метод химического осаждения из парового для эпитаксии осаждения атомов на подложке пластин.
Если вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, смотрите: https://www.powerwaywafer.com/GaAs-Epiwafer.html
А теперь мы дадим краткое введение МЛЭ и МОС.
1: MBE
МПЭ представляет собой метод укладки слоев материалов с атомными толщинами на подложки. Это делается путем создания «молекулярный пучок» из материала, который падает на к подложке. Полученная в результате «сверхрешетка» имеет ряд технологически важные применения, включая квантовые также лазеры для полупроводниковых систем и Giant Magneto-сопротивления для металлических систем.
В соединении полупроводниковой промышленности, с использованием технологии MBE, мы растем эпитаксиальных слоев на GaAs и других полупроводниковых соединений подложках, и предлагают эпитаксиальных пластин и создают многослойные подложки для микроволновых печей и применений РФ.
1-1: Характеристика молекулярно-лучевой эпитаксии:
Низкий темп роста ~ 1 монослоя (плоскости решетки) в секунду
Низкая температура роста (~ 550 ° С для GaAs)
Гладкая поверхность роста с шагом атомной высотой и большими плоскими террасами
Точный контроль поверхностного состава и морфологии
Резкое изменение химического состава на границе раздела
В месте контроля роста кристалла на атомном уровне
1-2: Преимущества MBE техники:
Чистая окружающая среда роста
Точный контроль потоков пучка
и условие роста
Простота внедрения в Ситу
диагностические приборы
Совместимость с другими высокого вакуума
методы обработки тонкой пленки (металл
Испарение, фрезерование ионного пучка, ионная имплантация)
1-3: МЛЭ Процесс:
2: MOCVD
Металл Органическое химическое осаждение из паровых (MOCVD) или металл-органическая эпитаксия из паровой фазы (MOVPE) представляет собой метод химического осаждения из парового для эпитаксии осаждения атомов на подложке пластин.
Принцип MOCVD довольно прост: Атомы, что вы хотели бы быть в вашем кристалле объединены со сложными молекулами органического газа и пропускают через горячую вафельную подложку. Тепла разбивает молекулы и депозиты желаемых атомов на поверхности, слой за слоем. Изменяя состав газа, мы можем изменить свойство кристалла при почти атомном масштабе. Она может расти высокого качества полупроводниковых слоев и кристаллическая структура этих слоев идеально выровнена с этим подложки.