P Typ Dopad GaAs Epitaxi med tjock tillväxt

P Typ Dopad GaAs Epitaxi med tjock tillväxt

GaAs (gallim arsenid) epitaxial wafer med specifik tillväxt för högspännings (HV) diodstackar kan tillhandahållas av PAM-XIAMEN. Galliumarsenidstruktur ger erforderlig effekttäthet, effektivitet och tillförlitlighet för extremt kompakta system.GaAs-diodskivoruppfylla kraven för kraftelektronik i moderna industriella applikationer, kraftgenerering från förnybar energi eller helelektriska eller hybridfordon. Speciellt i mellan- och högspänningsområdet mellan 600 och 1700 volt, ökar GaAs epitaxial tillväxt energieffektiviteten samtidigt som vikten, storleken och totalkostnaden för motsvarande kompletta system minskar. Följande är specifikationen för GaAs-epitaxi med en ovanlig och mycket tjock tillväxt:

GaAs epitaxi

1. Specifikation av GaAs-epitaxi

GaAs Homoepitaxy för HV-dioderPAMP16076-GAAS
Lager Material Dopingkoncentration Tjocklek Mark
Substrat GaAs n-dopad 2×1018 centimeter-3 tjocklek ej relevant > 250 mikron
Epi 1 GaAs n-dopad 5 mikron
Epi 2 GaAs p-dopad (1-3)E15
Epi 3 GaAs p-dopad

 

Anmärkningar för GaAs homoepitaxialfilmer:

Tjockleksavvikelse för varje lager: +/-10%;

Koncentrationsavvikelse för varje lager: +/-30%;

Total tjocklek: 15um.

LPE (liquid phase epitaxy) teknologilösningar kan göra den växande processen av diodstruktur med hög effektivitet och högkvalitativa GaAs-epilager kan erhållas.

2. P-typ doping GaAs-epitaxi på GaAs-substrat

GaAs epi wafer med hög dopningskoncentration av p-typ används ofta i enheter som bipolära transistorer. Bland p-typdopade GaAs-halvledarmaterial är Be en idealisk p-typ dopingkälla med många fördelar. Används som en dopingkälla kan förbereda högdopad GaAs epiwafer med kontrollerbar dopningskoncentration för att uppfylla enhetens krav. Samtidigt är Be också en typisk dopningskälla av p-typ i AlGaAs, InGaAs materialsystemenheter. Används som en dopningskälla av p-typ för högkoncentrationsdopning har goda fördelar i enhetsapplikationer, såsom heterojunction-bipolära transistorer med låg resistans, olegerade olegerade kontakter av p-typ, etc.

Det finns ett stort antal hängande bindningar på ytan av GaAs, och GaAs- och As-oxider bildas lätt när de utsätts för luft. Dessa oxider kommer att bilda icke-strålande rekombinationscentra och minska luminescensegenskaperna hos GaAs-material. Därför är det av stor betydelse att reducera ytrekombinationscentrum och yttillståndstäthet hos GaAs-material för att förbättra luminescensprestandan hos GaAs-baserade enheter. Svavelpassivering är en effektiv behandlingsmetod för att förbättra luminescensegenskaperna hos GaAs. Efter att GaAs-epitaxin har utsatts för svavelpassiveringsbehandling avlägsnas oxidskiktet på ytan, och samtidigt kombineras Ga och As på ytan med S för att bilda sulfid, vilket minskar yttillståndstätheten, förbättrar strålningsrekombinationen på ytan av den epitaxiella tillväxten av galliumarsenid, och förbättrar fotoluminescensegenskaperna för epitaxi i GaAs.

3. Instabil tillväxt i GaAs (001) Homoepitaxi

Vi använder atomkraft och scanning tunnelmikroskopi för att studera MBE-odlad GaAs (001) epitaxi. När de epitaxiella tillväxtförhållandena gynnar öns kärnbildning, kan utvecklingen av flerskikt hittas. När tjockleken på GaAs epistrukturer ökar, växer funktionerna i alla dimensioner och lutningsvinkeln håller sig på 1°. Inga stötar uppstår på ytor som odlas i stegflöde. Vi antar att egenskaperna hos flera lager av GaAs-epitaxi beror på ökärnbildning och förekomsten av stegkantbarriär på grund av det instabila tillväxtläget.

powerwaywafer

För mer information, kontakta oss via e-post på victorchan@powerwaywafer.com och powerwaymaterial@gmail.com.

Dela det här inlägget