2-11.Edge chip

2-11.Edge chip

Bất kỳ dị thường nào về cạnh (bao gồm cả các vết thoát ra từ xẻ rãnh) vượt quá 1,0 mm theo chiều sâu hoặc chiều rộng xuyên tâm. Khi quan sát dưới ánh sáng khuếch tán, các phoi cạnh được xác định là vật liệu không chủ ý bị thiếu khỏi rìa của tấm wafer.

Chia sẻ bài này