Lộ trình Công nghệ Quốc tế về Chất bán dẫn (ITRS) xác định dữ liệu thử nghiệm sản xuất là một yếu tố thiết yếu trong việc cải tiến thiết kế và công nghệ trong vòng phản hồi quy trình sản xuất. Một trong những quan sát được thực hiện từ dữ liệu thử nghiệm sản xuất khối lượng lớn là các khuôn chết do lỗi hệ thống có xu hướng hình thành các mẫu độc đáo nhất định biểu hiện dưới dạng các cụm khuyết tật ở cấp wafer. Xác định và phân loại các cụm như vậy là một bước quan trọng đối với việc cải thiện năng suất sản xuất và thực hiện kiểm soát quá trình thống kê theo thời gian thực. Giải quyết nhu cầu của ngành công nghiệp bán dẫn, nghiên cứu này đề xuất một hệ thống nhận dạng cụm khuyết tật tự động cho các tấm bán dẫn đạt độ chính xác lên đến 95% (tùy thuộc vào loại sản phẩm).

Từ khóa
Chế tạo wafer bán dẫn; Phân loại cụm khiếm khuyết; Sự công nhận; Khai thác tính năng
Nguồn: Scazedirect

For more information, please visit our website:www.powerwaywafer.com, send us email at sales@powerwaywafer.com.