Với sự tiến bộ không ngừng của công nghệ bán dẫn, các thiết bị bán dẫn như đèn Led, tế bào quang điện, laze bán dẫn,… đã được sử dụng rộng rãi trong sinh hoạt và làm việc của con người. Để đảm bảo chất lượng và kiểm soát chi phí trong quá trình sản xuất thiết bị bán dẫn, nói chung cần phải thực hiện các thử nghiệm hiệu suất trực tuyến khác nhau trên thiết bị bán dẫn trong quá trình sản xuất. Lấy LED làm ví dụ, trong quá trình sản xuất LED, thông thường cần thực hiện kiểm tra điện phát quang (EL) trên tấm wafer hình tròn LED.
Để đảm bảo hiệu suất của tấm wafer LED do chúng tôi cung cấp (thêm thông số kỹ thuật wafer vui lòng xem:https://www.powerwaywafer.com/gan-wafer/epitaxial-wafer.html), chúng tôi sẽ kiểm tra hiệu suất wafer sau khi nó được tạo ra. Dưới đây, chúng tôi mô tả các kỹ thuật kiểm tra điện phát quang được thực hiện trên tấm nền LED GaAs của chúng tôi:
1. Wafer LED đỏ dựa trên GaAs để kiểm tra EL
| Kết cấu | Độ dày (nm) |
| C-GaP | – |
| Mg-GaP | – |
| Mg-AlGaInP (lớp chuyển tiếp) | – |
| Mg-AlInP | – |
| AlInP | – |
| MQW: AlGaInP | – |
| Si-AlInP | – |
| Si-Al0.6GaInP | – |
| Si-GaInP | 8.8 |
| Si-GaAs (lớp tiếp xúc ohm) | – |
| Si-GaInP (lớp khắc) | – |
| Si-GaAs (lớp đệm) | – |
| GaAs chất nền |
2. Electroluminescence là gì?
Điện phát quang còn được gọi là phát quang trường. Hiện nay, công nghệ hình ảnh điện phát quang đã được nhiều nhà sản xuất pin mặt trời và mô-đun sử dụng để phát hiện các khuyết tật tiềm ẩn của sản phẩm và kiểm soát chất lượng sản phẩm.
Đối với phim điện phát quang LED, quang phổ điện phát quang là một kỹ thuật quan trọng để xác định đặc điểm của các đèn LED mới và tạo điều kiện cho sự phát triển của chúng. Hiệu suất của các thiết bị phát sáng có thể được nghiên cứu bằng phương pháp điện phát quang và quang phổ phân giải theo thời gian. Theo phổ phát xạ, tọa độ sắc độ và chỉ số hoàn màu của đèn LED, cũng như các đặc tính cơ bản như độ rộng vùng cấm của chất bán dẫn có thể được tính toán.
3. How to Do the Electroluminescence Testing?
Phép đo EL thường được thực hiện trên các thiết bị đã hoàn thiện (chẳng hạn như đèn LED) vì nó yêu cầu cấu trúc thiết bị để đưa dòng điện vào. Công cụ kiểm tra điện phát quang áp dụng dòng điện thuận từ 1-40mA vào tế bào, tác động lên cả hai mặt của điểm tiếp giáp khuếch tán và năng lượng điện kích thích các nguyên tử ở trạng thái cơ bản, làm cho chúng ở trạng thái kích thích và các nguyên tử ở trạng thái kích thích trạng thái không ổn định và thực hiện bức xạ tự phát. Thông qua chức năng của bộ lọc và mức độ phơi sáng của phim để hiểu được sự chuyển đổi nội tại trong phát xạ tự phát; thông qua mối quan hệ giữa tuổi thọ sóng mang thiểu số, mật độ và cường độ ánh sáng, từ mức độ phơi sáng của phim, để đánh giá liệu có khuyết tật trên tấm wafer epi LED GaAs hay không.
Khi thực hiện kiểm tra El cho tấm LED wafer ở trên, chúng tôi thử nghiệm ở giữa tấm wafer, chọn một số điểm và sau đó thử nghiệm ở dòng điện 20mA. Dữ liệu điện phát quang mà chúng tôi đã kiểm tra được hiển thị như hình dưới đây:
4. FAQ for GaAs LED Wafer
Q: How do you typically make contact to the GaP:C p-contact layer of GaAs LED wafer? For example, ITO or Ti/Pt/Au?
A: Usually we make ITO as contact for GaAs LED epitaxy.
Remark：
The Chinese government has announced new limits on the exportation of Gallium materials (such as GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs, and GaSb) and Germanium materials used to make semiconductor chips. Starting from August 1, 2023, exporting these materials is only allowed if we obtains a license from the Chinese Ministry of Commerce. Hope for your understanding and cooperation!
Để biết thêm thông tin, vui lòng liên hệ với chúng tôi qua email victorchan@powerwaywafer.com và powerwaymaterial@gmail.com.