Vật tư PAM-XIAMENTấm epitaxy GaN HEMTvà dịch vụ chế tạo GaN. Các dịch vụ chế tạo GaN của chúng tôi được cung cấp bao gồm quy trình front-end và quy trình back-end. Thông tin chi tiết về quy trình chế tạo GaN cho HEMT vui lòng xem bên dưới:

1. Dịch vụ OEM – Các tấm wafer GaN Epitaxy dựa trên Si cho các thiết bị điện tử nguồn và RF

GaN fab của chúng tôi có thể epitaxy các tấm GaN 4-8 inch, phù hợp với nguồn điện, các thiết bị điện tử RF theo yêu cầu cấu trúc OEM của bạn. 

2. Dịch vụ đúc chip GaN cho các thiết bị nguồn và RF

Chúng tôi có thể cung cấp quang khắc, khắc ion phản ứng, khắc ion phản ứng (SiO2, Si3N4), PECVD (SiO2, Si3N4), bay hơi chùm tia điện tử (Au, Ni, Cr, Al, Ti), bay hơi chùm tia điện tử (ITO), ủ nhanh, Các dịch vụ CMP (pha loãng, mài, đánh bóng) và v.v. cho quy trình chế tạo GaN của các thiết bị HEMT.

2.1 Quang khắc

Chúng tôi có thể kiểm soát chính xác quá trình quang khắc với 1μm cho các tấm GaN có kích thước từ 4 inch trở xuống. Ngoài ra, chúng tôi có thể thực hiện quang khắc chính xác dựa trên nhu cầu của bạn.

2.2 Khắc plasma kết hợp cảm ứng (ICP)

Chúng tôi có thể thực hiện khắc mẫu cho các vật liệu GaN, AlN và AlGaN.

2.3 Ăn mòn ion phản ứng (RIE)

Chúng ta có thể đặt các màng mỏng SiO2 và SiNx lên các tấm GaN HEMT bằng cách khắc mẫu.

2.4 Lắng đọng hơi hóa chất tăng cường plasma (PECVD)

Chúng ta có thể epitaxy một màng SiO2 hoặc SiNx đồng nhất, đậm đặc và có thể kiểm soát độ dày trên bề mặt của GaN HEMT epi từ 6 inch trở xuống bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học được tăng cường bằng Plasma.

2.5 Lớp phủ bay hơi chùm tia điện tử (E-Beam)

Vật liệu mục tiêu bị bắn phá bởi chùm tia điện tử của súng điện tử và màng ITO (Au, Ni, Cr, Al, Ti, v.v.) bị bốc hơi trên bề mặt GaN.

Hoặc lắng đọng hơi các màng kim loại như Ag và Pt.

2.6 Ủ nhanh (RTA)

Chúng tôi có thể ủ nhanh dựa trên nhu cầu của bạn, chọn các loại khí như N2 và O2 để phù hợp với yêu cầu quy trình của bạn.

Hiện tại, để đạt được các yêu cầu về điện của các thiết bị GaN mà bạn cần, chúng tôi sẽ thiết lập các tốc độ làm nóng và làm mát khác nhau, nhiệt độ và thời gian ủ để hợp kim và nung chảy các điện cực kim loại.

3. Dịch vụ thử nghiệm GaN

Chúng tôi cung cấp dịch vụ thử nghiệm cho các tấm wafer epiticular GaN để đảm bảo chất lượng của quy trình chế tạo GaN, đó là:

3.1 Kiểm tra XRD của vật liệu màng mỏng bán dẫn

Chúng tôi sử dụng tính năng quét ω để quét các mặt phẳng tinh thể khác nhau của vật liệu HEMT màng mỏng 2-4 inch GaN. Dựa trên nguyên tắc hình ảnh không gian đảo ngược của thử nghiệm đường cong rung chuyển, chúng tôi sẽ đạt được phép đo ánh xạ không gian đảo ngược, lấy thành phần và ứng suất của AlGaN và đo độ dày màng.

3.2 Thử nghiệm AFM cho tấm xốp

Có 2 chế độ để kiểm tra AFM: một là chạm và một là tiếp xúc. AFM được trang bị mô-đun C-AFM có thể phát hiện địa hình bề mặt của GaN và cũng có thể thăm dò các kênh hiện tại trong GaN.

Chức năng làm việc của vật liệu kim loại và tiềm năng bề mặt của chất bán dẫn GaN có thể được kiểm tra bằng KPFM. Trong khi lực ma sát của các miền vi mô trên GaN epi có thể được đo bằng chức năng LFM. Để phân phối miền từ, chúng ta có thể sử dụng chức năng MFM để kiểm tra.

3.3 Thiết bị quét quang phổ PL Epitaxy wafer

Thiết bị chụp ảnh quét quang phổ PL của wafer epitaxy của chúng tôi trong xưởng đúc có thể kiểm tra các tấm bán dẫn mỏng có kích thước dưới 6 inch.

Nội dung kiểm tra bao gồm độ dày màng epitaxy và hệ số phản xạ (PR); hiển thị và xuất giá trị trung bình của từng tham số được đo (Mean), sai số bình phương trung bình (Std), tỷ lệ độ lệch chuẩn (CV), v.v. Ngoài ra, thử nghiệm có thể hiển thị phân bố ánh xạ của từng tham số và độ cong vênh của các tấm wafer.

3.4 Kính hiển vi lực thăm dò Kelvin

Kính hiển vi lực nguyên tử có chức năng kiểm tra KPFM. Nó có thể đo chức năng làm việc của vật liệu kim loại và tiềm năng bề mặt của tấm GaN HEMT. Nó có thể kiểm tra sự thay đổi tiềm năng bề mặt của các thiết bị HEMT dưới ánh sáng khi được lắp đặt với hệ thống kiểm tra hỗ trợ ánh sáng.

3.5 Kiểm tra hiệu ứng Hall ở nhiệt độ cao và thấp

Có sẵn phép đo Hall nhiệt độ cao của vật liệu màng mỏng bán dẫn. Nhiệt độ thử nghiệm là 90-700K và cường độ từ trường của nam châm là 0,5 T, điện trở tấm đo được tối đa là 10^11 ohm/sq, dòng điện thử nghiệm tối thiểu là 1μA, dải DC từ 1μA đến 20 mA, và chế độ AC cũng khả dụng (các mẫu có điện trở cao không thể đo được ở chế độ AC).

3.6 Quang phổ thoáng qua ở mức độ sâu

Chúng tôi cung cấp phương pháp quang phổ thoáng qua ở mức độ sâu ở nhiệt độ cao và thử nghiệm quang phổ thoáng qua ở mức độ sâu có sự hỗ trợ của ánh sáng, có thể phát hiện các chất bán dẫn Các mức năng lượng sâu và trạng thái giao diện của các tạp chất và khuyết tật trung bình và vết. Phổ thoáng qua mức độ sâu có thể được đưa ra để mô tả khoảng cách dải bán dẫn Phổ DLTS của tạp chất, mức độ khuyết tật sâu và trạng thái giao diện trong phạm vi phân bố theo nhiệt độ.

3.7 Kiểm tra vận chuyển lượng tử

Chúng tôi có thử nghiệm vận chuyển lượng tử ở nhiệt độ thấp và từ trường mạnh, thử nghiệm điện trở từ trường Line và thử nghiệm Hall. Các mẫu đầu tiên đo nhiệt độ thay đổi IV, sau đó đo điện trở từ trường. Phạm vi đo điện trở từ là 0,1ohm-100ohm.

Đối với chất bán dẫn III-V, độ linh động của mẫu và sự thay đổi nồng độ electron theo nhiệt độ có thể được kiểm tra bằng phép đo Hall ở nhiệt độ thấp và từ trường mạnh.

Đối với các mẫu số lượng của các hiệu ứng giam cầm phụ như khí điện tử hai chiều, từ trường mạnh và ấm thấp có thể dẫn đến sự phân tách Zeeman, do đó có thể đo các hiệu ứng lượng tử như dao động SdH và tính chất vận chuyển của các băng con khác nhau (nồng độ điện tử di động Chi tiêu ) có thể thu được.

3.8 Phân tích các thông số điện của vật liệu và cấu trúc màng mỏng bán dẫn

Phân tích thông số điện của vật liệu và cấu trúc màng mỏng bán dẫn được cung cấp. Chúng tôi phân tích nó dựa trên thông số điện sau đây

Các chỉ số đơn vị đo lường nguồn DC: điện áp tối đa 210V, dòng điện tối đa 100mA, công suất tối đa 2W; các chỉ số đơn vị đo xung: tần số bộ tạo xung hệ thống: 50MHz-1Hz; độ rộng xung tối thiểu: 10ns; điện áp xung tối đa: 80V, -40V-40V.

3.9 Máy quang phổ Raman tăng cường đầu tip

Chúng tôi có thể thực hiện thử nghiệm Raman vi vùng, sở hữu máy quang phổ Raman tăng cường đầu mũi Neaspec (TERS), với độ phân giải không gian 10nm và cường độ Raman tăng lên.

Thiết bị kiểm tra mạnh hơn 1000 lần và có thể đo cường độ trường gần và độ tin cậy bit của bậc thứ ba trở lên.

 

Remark：
The Chinese government has announced new limits on the exportation of Gallium materials (such as GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs, and GaSb) and Germanium materials used to make semiconductor chips. Starting from August 1, 2023, exporting these materials is only allowed if we obtains a license from the Chinese Ministry of Commerce. Hope for your understanding and cooperation!

Để biết thêm thông tin, vui lòng liên hệ với chúng tôi qua email victorchan@powerwaywafer.com và powerwaymaterial@gmail.com.