PAM-XIAMEN có thể cung cấp tản nhiệt kim cương kim loại hóa để giải quyết lực liên kết kém giữa kim cương và ma trận và sự sụp đổ sớm của kim cương do năng lượng giao diện cao với hầu hết các kim loại, gốm sứ, v.v. Hợp chất tản nhiệt kim cương kim loại đề cập đến kim loại mạ trên bề mặt kim cương để giảm năng lượng mặt phân cách giữa kim cương và chất nền. Dưới đây là bảng dữ liệu tản nhiệt kim cương kim loại để tham khảo.
1. Đặc điểm kỹ thuật của tản nhiệt kim cương kim loại
| Sản phẩm | Tản nhiệt kim cương kim loại |
| Phương pháp phát triển | MPVCD |
| Hệ số giãn nở nhiệt | 1,3 (10-6K-1) |
| Phương pháp phát hiện TDTR dẫn nhiệt | 1500 ± 200W / mK |
| Kích thước | 1 * 1 cm, 2 * 2 cm, kích thước tùy chỉnh |
| Độ dày có thể được tùy chỉnh | Kim cương 0 ~ 500μm |
| Dung sai độ dày | ± 20μm |
| Độ nhám bề mặt tăng trưởng | <30 nm Ra |
| FWHM (D111) | 0.446 |
2. Làm thế nào để có được tản nhiệt kim cương bằng kim loại?
Tiếp điểm kim loại-bán dẫn là một trong những cấu trúc cốt lõi của tất cả các thiết bị điện tử bán dẫn và thiết bị quang điện tử, bao gồm cả các thiết bị kim cương bán dẫn. Chúng có thể được chia thành hai loại: danh bạ Schottky và danh bạ ohmic. Tiếp điểm Ohmic yêu cầu điện trở tiếp xúc giao diện càng nhỏ càng tốt. Tiếp xúc ohmic của kim cương bán dẫn rất khó đạt được, điều này có liên quan đến việc khó hình thành sự pha tạp nặng trên lớp bề mặt kim cương. Tiếp điểm Schottky yêu cầu rào cản giao diện cao, dòng điện rò rỉ thấp và điện áp đánh thủng cao.
2.1 Tiếp điểm Ohmic của Kim cương loại N
Tiếp điểm ohmic của kim cương loại n cho bộ tản nhiệt sử dụng 30 keV ion Ga để bắn phá kim cương loại n có nồng độ pha tạp phốt pho 3 × 1018 cm3để có được điện trở tiếp xúc 4,8 × 106Ω / c㎡. Cho đến nay, giá trị thấp nhất của điện trở tiếp xúc ohmic của chất bán dẫn loại n dựa trên tản nhiệt kim cương CVD là 10-3Ω / c㎡, thu được bằng cách lắng một lớp kim loại Pt / Ti lên một lớp pha tạp nặng (nồng độ phốt pho 1020cm³) lớp biểu mô kim cương và ủ.
2.2 Thiết bị đầu cuối oxy Kim cương loại P
Rào cản giao diện kim loại / kim cương có liên quan chặt chẽ đến các đặc tính bề mặt. Hầu hết các nghiên cứu trong lĩnh vực này của PAM-XIAMEN đều tập trung vào viên kim cương (100). Chiều cao rào cản Schottky của bề mặt sạch và bề mặt kim cương kết thúc bằng hydro có liên quan đến độ âm điện hoặc hàm làm việc của kim loại. Au hiện là vật liệu kim loại tiếp xúc ohmic được sử dụng phổ biến nhất cho lớp p-loại bề mặt kim cương kết thúc bằng hydro. Mức Fermi của kim cương p được kết thúc bằng oxy (100) được ghim ở khoảng 1,7eV trên vùng hóa trị. Rào cản giao diện kim loại / kim cương có ít mối quan hệ với loại kim loại và giá trị báo cáo thử nghiệm là 1,5-2eV.
Chiều cao chắn của bề mặt kim cương kết thúc bằng oxy (111) về cơ bản không phụ thuộc vào kim loại tiếp xúc và giá trị được báo cáo trong thực nghiệm là khoảng 1eV. Tiếp xúc ohmic của kim cương loại p được kết thúc bằng oxy thường chọn các kim loại có thể tạo cacbit với kim cương ở nhiệt độ cao, chẳng hạn như Ti, Mo, v.v. Chúng có thể tạo thành TiCx, MoCx và các cacbit khác với kim cương ở nhiệt độ cao, dẫn đến trạng thái giao diện hẹp hoặc giảm chiều cao rào cản. Một cách khác để tạo ra các tiếp điểm ohmic kim cương là cấy ion năng lượng cao, gây ra tổn thương mạng tinh thể trên bề mặt của khu vực tiếp xúc. Hiện tại, điện trở tiếp xúc của kim cương Ti / p (với nồng độ bo là 1018cm3) thu được bằng cách xử lý nhiệt nhỏ hơn 10-6Ω / c㎡.
3. Ứng dụng của tản nhiệt kim cương kim loại
Tản nhiệt kim cương tổng hợp / đa tinh thể được kim loại hóa có thể được sử dụng cho các thiết bị điện tử công suất và các thiết bị điện vi sóng rắn, cải thiện đáng kể công suất làm việc và nhiệt độ làm việc.
Khuyến nghị:
Vật liệu tản nhiệt siêu cấp – Vật liệu kim cương
Để biết thêm thông tin, vui lòng liên hệ với chúng tôi qua email victorchan@powerwaywafer.com và powerwaymaterial@gmail.com.