Cảm biến bán dẫn được chế tạo trên tấm wafer Epiticular SiC

Cảm biến bán dẫn được chế tạo trên tấm wafer Epiticular SiC

Cảm biến bán dẫn dùng để chỉ một cảm biến được chế tạo bằng cách sử dụng các đặc tính vật lý, hóa học và sinh học khác nhau của vật liệu bán dẫn. Phần lớn vật liệu bán dẫn được sử dụng là silicon, cũng như các hợp chất nguyên tố III-V và II-VI. Các nhà nghiên cứu đã sử dụng hiệu suất tuyệt vời và tính sẵn có của tấm wafer SiC để phát triển cảm biến bán dẫn dựa trên SiC phù hợp với môi trường khắc nghiệt. Cảm biến dựa trên chất bán dẫn SiC có dải thông lớn tuyệt vời, có thể loại bỏ sự rò rỉ chất mang thiểu số do nhiệt gây ra và hoạt động ở nhiệt độ cao hơn. PAM-XIAMEN có thể cung cấp tùy chỉnhTăng trưởng epiticular SiCđể chuẩn bị các cảm biến bán dẫn (ví dụ cảm biến van der Pauw), với các cấu trúc epiticular cụ thể như:

Tấm wafer SiC cho cảm biến bán dẫn

1. Tăng trưởng epit Wax SiC cho cảm biến Van Der Pauw

Lớp Epi Độ dày dopant
lớp biểu bì loại p 1um Al:1018cm-3
lớp đệm loại n 1um N:1018cm-3
n loại 4H-SiC (0001) Chất nền    

 

2. Ứng dụng cảm biến bán dẫn SiC

Cảm biến bán dẫn màng dày SiC có thể bù đắp những khiếm khuyết về hiệu suất của cảm biến dựa trên Si trong môi trường khắc nghiệt như nhiệt độ cao và áp suất cao, do đó có không gian ứng dụng rộng hơn. Cac chi tiêt như sau:

1) Cảm biến nhiệt độ cao SiC, do phạm vi đo nhiệt độ lớn (0-500oC) và dễ tích hợp, có thể được sử dụng rộng rãi để theo dõi nhiệt độ trong ngành chế biến, công nghiệp cơ khí và công nghiệp hóa dầu, kiểm soát nhiệt độ trong thiết bị gia dụng và công nghiệp thực phẩm, cũng như giám sát nhiệt độ tới hạn trong ngành hàng không vũ trụ và ô tô;

2) Cảm biến áp suất nhiệt độ cao SiC có triển vọng ứng dụng rộng rãi trong các ứng dụng dân dụng do khả năng chịu nhiệt độ cao và bức xạ mạnh. Cảm biến áp suất SiC chủ yếu được sử dụng để đo áp suất trong nồi hơi, đường ống, bình phản ứng nhiệt độ cao, buồng động cơ khác nhau và giếng dầu;

3) Cảm biến khí SiC, đặc biệt là cảm biến điện dung, có thể hoạt động ở nhiệt độ lên tới 1000oC và có thời gian phản hồi tính bằng mili giây. Hiện tại, cảm biến khí SiC đã đạt được hoạt động bình thường ở nhiệt độ cao 500oC, về cơ bản đáp ứng yêu cầu của các ứng dụng nhiệt độ cao như giám sát động cơ đốt trong, khí thải ô tô và chẩn đoán khí thải động cơ phản lực tàu vũ trụ.

đường điện

Để biết thêm thông tin, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi email tạivictorchan@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com.

Chia sẻ bài đăng này