Float-Zone Mono-tinh thể Silicon

Mô Tả Sản Phẩm

PAM-XIAMEN có thể cung cấp wafer silicon vùng nổi, thu được bằng phương pháp Float Zone. Các thanh silicon đơn tinh thể được nhận thông qua sự phát triển vùng nổi, và sau đó xử lý các thanh silicon đơn tinh thể thành các tấm silicon, được gọi là tấm silicon vùng nổi. Vì tấm silicon nóng chảy vùng không tiếp xúc với chén thạch anh trong quá trình silicon vùng nổi, vật liệu silicon ở trạng thái lơ lửng. Qua đó, nó ít bị ô nhiễm hơn trong quá trình nung chảy vùng nổi của silic. Hàm lượng cacbon và hàm lượng oxy thấp hơn, tạp chất ít hơn và điện trở suất cao hơn. Nó phù hợp để sản xuất các thiết bị điện và một số thiết bị điện tử cao áp.

1. Đặc điểm kỹ thuật wafer silicon vùng nổi 

ype	Loại dẫn	Sự định hướng	Đường kính (mm)	Độ dẫn điện (Ω • cm)
Sức đề kháng cao	N&P	<100> & <111>	76.2-200	>1000
NTD	N	<100> & <111>	76.2-200	30-800
CFZ	N&P	<100> & <111>	76.2-200	1-50
GD	N&P	<100> & <111>	76.2-200	0,001-300

1.1 Đặc điểm kỹ thuật wafer silicon vùng nổi

Thông số thỏi	Mục	Miêu tả
	Phương pháp trồng trọt	FZ
	Sự định hướng	<111>
	Không định hướng	4 ± 0,5 độ chính xác đến <110>
	Loại / Dopant	P / Boron
	Điện trở	10-20 W.cm
	RRV	≤15% (Cạnh tối đa-Cen) / Cen

 

1.2 Đặc điểm kỹ thuật wafer silicon FZ

Mét	Mục	Sự miêu tả
	Đường kính	150 ± 0,5 mm
	Độ dày	675 ± 15 um
	Tiểu Chiều dài phẳng	57,5 ± 2,5 mm
	Định hướng Flat chính	<011> ± 1 độ
	Chiều dài phẳng THCS	Không ai
	Định hướng Flat Secondary	Không ai
	TTV	≤5 um
	Cây cung	≤40 um
	Làm cong	≤40 um
	Hồ sơ cạnh	Tiêu chuẩn SEMI
	Mặt trước	Đánh bóng bằng hóa chất-Mechenical
	LPD	≥0.3 um@≤15 pcs
	Mặt sau	Axit khắc
	Chip cạnh	Không ai
	gói	Đóng gói chân không; Nhựa bên trong, nhôm bên ngoài

 

2. Silic đơn tinh thể vùng nổiphân loại

2.1 FZ-Silicon

Silicon đơn tinh thể với các đặc điểm của hàm lượng vật chất lạ thấp, mật độ khuyết tật thấp và cấu trúc tinh thể hoàn hảo được sản xuất bằng quy trình silicon vùng nổi; không có vật liệu lạ nào được đưa vào trong quá trình tăng trưởng tinh thể silicon vùng nổi. CácFZ-Siliconđộ dẫn điện thường trên 1000 Ω-cm, và silicon vùng nổi có điện trở suất cao như vậy chủ yếu được sử dụng để sản xuất các phần tử điện áp nghịch đảo cao và các thiết bị quang điện tử. Nó cũng có thể được sử dụng cho quá trình khắc khô.

2.2 NTDFZ-Silicon

Silicon đơn tinh thể có điện trở suất cao và tính đồng nhất có thể đạt được bằng cách chiếu xạ neutron của FZ-silicon, để đảm bảo năng suất và tính đồng nhất của các phần tử được tạo ra, và chủ yếu được sử dụng để sản xuất bộ chỉnh lưu silicon (SR), điều khiển silicon (SCR) , bóng bán dẫn khổng lồ (GTR), thyristor tắt cổng (GTO), thyristor cảm ứng tĩnh (SITH), bóng bán dẫn lưỡng cực cổng cách điện (IGBT), diode HV phụ (PIN), nguồn và IC nguồn thông minh, v.v.; nó là vật liệu chức năng chính cho các bộ biến tần, bộ chỉnh lưu, phần tử điều khiển công suất lớn, thiết bị điện tử công suất mới, máy dò, cảm biến, thiết bị quang điện tử và các thiết bị công suất đặc biệt.

FZ NTD Silicon Wafer với nồng độ pha tạp chất đồng nhất

2.3 GDFZ-Silicon

Sử dụng cơ chế khuếch tán vật chất lạ, thêm vật liệu lạ pha khí trong quá trình silicon đơn tinh thể vùng nổi, để giải quyết vấn đề pha tạp của quá trình vùng nổi từ gốc và để thu được GDFZ-silicon là loại N. hoặc loại P, có điện trở suất 0,001-300 Ω.cm, điện trở suất tương đối đồng đều và bức xạ nơtron. Nó được ứng dụng để sản xuất các phần tử điện bán dẫn khác nhau, bóng bán dẫn lưỡng cực cổng cách điện (IGBT) và pin mặt trời hiệu suất cao, v.v.

2.4 CFZ-Silicon

Silicon đơn tinh thể được sản xuất với sự kết hợp của quá trình Czochralski và vùng nổi, và có chất lượng giữa silicon đơn tinh thể CZ và silicon đơn tinh thể FZ; các nguyên tố đặc biệt có thể được pha tạp, chẳng hạn như Ga, Ge và những nguyên tố khác. Các tấm silicon năng lượng mặt trời CFZ thế hệ mới tốt hơn các tấm silicon khác nhau trong ngành PV toàn cầu về từng chỉ số hiệu suất; hiệu suất chuyển đổi của bảng điều khiển năng lượng mặt trời lên đến 24-26%. Các sản phẩm chủ yếu được ứng dụng trong pin năng lượng mặt trời hiệu suất cao với cấu trúc đặc biệt, tiếp xúc ngược, HIT và các quy trình đặc biệt khác, và được sử dụng rộng rãi hơn trong đèn LED, các phần tử điện, ô tô, vệ tinh và các sản phẩm và lĩnh vực khác.

lợi thế của chúng tôi trong nháy mắt

1. thiết bị thử nghiệm và thiết bị tăng trưởng epitaxy tiên tiến.

2.Cung cấp chất lượng cao nhất với mật độ khuyết tật thấp và độ nhám bề mặt silicon vùng nổi tốt.

3. hỗ trợ nhóm nghiên cứu mạnh mẽ và hỗ trợ công nghệ cho khách hàng của chúng tôi

Si MEMS Wafer Grown bởi FZ
4 ″ FZ Prime Silicon Wafer

4 "FZ Thủ Silicon wafer

4 inch FZ Prime Silicon Wafer-2

4 ″ FZ Prime Silicon Wafer-3

4 "FZ Thủ Silicon wafer-4

4 "FZ Thủ Silicon wafer-5

4 "FZ Thủ Silicon wafer-6

4 "FZ Thủ Silicon wafer-7

4 "FZ Thủ Silicon wafer-8

4 inch FZ Prime Silicon Wafer-9

2 "FZ Thủ Silicon wafer

3 "FZ Thủ Silicon wafer

6 "FZ Thủ Silicon wafer

6 "FZ Thủ Silicon wafer

6 FZ Prime Silicon wafer-1

6 FZ Prime Silicon wafer-2

6 FZ Prime Silicon wafer-3

Tấm silicon 5 inch FZ

6 "FZ Silicon Wafer

6 inch FZ Silicon Wafer-1

6 "FZ Silicon wafer-4

6 "FZ Silicon wafer-5

6 ″ FZ Silicon Wafer-6

6 inch FZ Silicon Wafer-7

6 "FZ Silicon Wafer-8

8 "FZ Thủ Silicon wafer

3 ″ FZ Prime Silicon Wafer Độ dày: 350 ± 15um

Độ dày Wafer Silicon 4 ″ FZ Prime: 400µm +/- 25µm

Độ dày Wafer Silicon 4 ″ FZ Prime: 400µm +/- 25µm-2

Thỏi silicon 4 ″ FZ có đường kính 100,7 ± 0,3mm

3 "FZ Silicon wafer Độ dày: 229-249μm -1

3 "FZ Silicon wafer Độ dày: 229-249μm -2

Intrinsic tấm Silicon undoped FZ

Thỏi FZ Si 80 + 1mm

80 + 1mm FZ Si Ingot-1

80 + 1mm FZ Si Ingot-2

80 + 1mm FZ Si Ingot-3

FZ Si 80 + 1mm

80 + 1mm FZ Si Thỏi-5

Thỏi 60 + 1mm FZ Si -1

60 + 1mm FZ Si Thỏi -2

60 + 1mm FZ Si Ingot -3

60 + 1mm FZ Si thỏi -4

Thỏi Si 60 + 1mm -5

Thỏi Si 60 + 1mm -6

Kích thước khối silicon 5x20mm

1 Ing FZ Silicon Thỏi có đường kính 25mm

2 Ing FZ Silicon Thỏi có đường kính 50mm

2 FZ Si wafer với SSP

2 ″ FZ Silicon Wafer nội tại

2 ″ FZ Nội tại Si Wafer SSP

2 inch FZ nội tại Si Wafer DSP

4 ″ FZ Silicon Wafer nội tại SSP

4 ″ FZ Silicon Wafer nội tại DSP

Tấm lót Si nội tại 4 inch FZ

4 ″ FZ N loại Si wafer

3 Ing FZ Silicon Thỏi có đường kính 76mm

Bánh wafer silicon 6 inch FZ với đường kính 150mm, cả hai mặt được khắc

6 Ing FZ Silicon Thỏi có đường kính 150,7 ± 0,3mmØ