Tag - wafer bán dẫn

Hệ thống nhận dạng cụm khiếm khuyết cho các tấm bán dẫn được chế tạo

Lộ trình công nghệ quốc tế cho chất bán dẫn (ITRS) xác định dữ liệu thử nghiệm sản xuất là một yếu tố thiết yếu trong việc cải thiện thiết kế và công nghệ trong vòng phản hồi quy trình sản xuất. Một trong những quan sát được thực hiện từ dữ liệu thử nghiệm sản xuất số lượng lớn là các khuôn bị hỏng do lỗi hệ thống có […]

2015-12-24 Đọc thêm...

Liên kết wafer toàn silicon với màng trung gian titan dioxide và nhôm oxit lắng đọng trong lớp nguyên tử

Liên kết wafer toàn silicon với màng trung gian titan dioxide và oxit nhôm lắng đọng lớp nguyên tử Các tấm wafer silicon trên chất cách điện (SOI) được chế tạo bằng liên kết wafer trực tiếp được sử dụng rộng rãi làm chất nền ban đầu cho chế tạo hệ thống vi cơ điện tử (MEMS). Thêm một lớp khác bên cạnh SiO2 SOI, hoặc thay thế bằng vật liệu khác, sẽ là một cách [...]

2014-10-13 , , Đọc thêm...

Mô hình hóa máy tính về tương tác bề mặt và vận chuyển chất gây ô nhiễm trong các cấu trúc vi mô trong quá trình rửa các tấm bán dẫn có hoa văn

Mô hình hóa máy tính về tương tác bề mặt và chất gây ô nhiễm Điểm nổi bật • Động lực loại bỏ chất gây ô nhiễm khỏi bề mặt của rãnh vi mô/nano được mô phỏng. • Rãnh có hình chữ nhật và được làm bằng một hoặc hai loại vật liệu khác nhau. • Các đặc tính bề mặt và độ khuếch tán khác nhau được xem xét trong mô hình. • Trong rãnh đa vật liệu, động lực làm sạch phụ thuộc rất nhiều vào thứ tự xếp chồng. • Động lực học có hai chế độ […]

2014-08-10 , , Đọc thêm...