بالنسبة للفيلم الرقيق المنتج ، من بين خصائصه العديدة ، يعد سمك وتوحيد الفيلم من أهم العوامل. لذلك ، أصبحت مراقبة سماكة وتوحيد الأغشية الرقيقة والتحكم فيها جزءًا مهمًا لا غنى عنه من الإنتاج الصناعي.إذا كنت في حاجة إليها ، يمكن لـ PAM-XIAMEN توفيرهارقائق أشباه الموصلاتمع خدمات القياس البصري.خذ فيلم LiNbO3 على رقاقة السيليكون على سبيل المثال.
1. تم اختبار سمك فيلم LiNbO3 بواسطة القياس البصري
نحن ننتج الرقاقة ونختبر سماكة الفيلم لعملائنا. يتم اختبار البيانات الموضحة بالشكل أدناه بواسطة تقنية القياس البصري. لطرق الاختبار المحددة ، يرجى إرسال بريد إلكتروني علىtech@powerwaywafer.com.
تم اختبار سمك فيلم LiNbO3 بواسطة القياس البصري
2. أنظمة القياس البصري غير المتلامسة
من بين الطرق المختلفة للكشف عن سماكة الفيلم ، يعد القياس البصري أحد أكثر الطرق استخدامًا بسبب عدم الاتصال والحساسية العالية والدقة العالية والمقاييس ثنائية الأبعاد للصور البصرية. بالإضافة إلى ذلك ، تتميز بالسرعة والدقة وعدم إتلاف الفيلم مقارنة بالطرق الأخرى.
من وجهة النظر النظرية ، وفقًا للمبدأ البصري الذي تستند إليه طريقة القياس ، يمكن تصنيفها إلى تداخل وانحراف ونقل وانعكاس واستقطاب وطرق أخرى. في هذا الصدد ، تشتمل تقنيات القياس البصري على أطراف تداخل حلقة نيوتن ، ومقياس تداخل ميكلسون ، وقياس القطع الناقص ، وتداخل الضوء الأبيض ، وطرق أخرى. لمعرفة الطريقة بشكل أفضل ، يتم سرد مزايا وعيوب هذه الطرق في الجدول.
| عيب | ميزة | |
| حلقات نيوتن | القياس الفعلي صعب | الصك بسيط ومحمول |
| مقياس ميكلسون للتداخل | حلقات الأرقام اليدوية من السهل أن تسبب أخطاء كبيرة | يمكن تطويره ليصبح قياسًا آليًا خفيف الوزن ومحمولًا لسمك الفيلم |
| مقياس القطع | يتأثر بعوامل مثل طبقة الواجهة ، مطلوب نموذج رياضي معقد لحل السماكة | لديها حساسية أعلى |
| مقياس التداخل للضوء الأبيض | ضوء التنجستن الديوتيريوم والهالوجين ضعيف ويتأثر بسهولة بالبيئة | تتميز بالدقة العالية ، مما يتيح المراقبة عبر الإنترنت لسمك الفيلم |
نقدم على وجه التحديد نظام القياس البصري لقياس القطع الناقص وقياس التداخل للضوء الأبيض على النحو التالي:
2.1 قياس Ellipsometry لقياس سماكة الأغشية الرقيقة
يعد قياس Ellipsometry طريقة بصرية لدراسة ظاهرة الضوء عند واجهة وسيطين وخصائص الوسيط. مبدأها هو استخدام تغيير حالة الاستقطاب الذي يحدث عندما ينعكس الضوء المستقطب أو ينتقل على الواجهة.
قياس Ellipsometry لديه مجموعة واسعة من التطبيقات ، مثل دراسة الخصائص البصرية مثل أشباه الموصلات ، والأقنعة الضوئية ، والرقائق ، والمعادن ، والأفلام العازلة ، والزجاج (أو الطلاءات) ، ومرايا الليزر ، والأفلام الضوئية ذات المساحة الكبيرة ، والأفلام العضوية ، وما إلى ذلك. يمكن استخدامها أيضًا لقياسات الكهرباء وأشباه الموصلات غير المتبلورة وأفلام البوليمر والمراقبة في الوقت الفعلي لعمليات نمو الأفلام. إلى جانب جهاز الكمبيوتر ، فإنه يتمتع بمزايا التغيير اليدوي لزاوية الحادث ، والقياس في الوقت الفعلي ، والحصول على البيانات بسرعة.
2.2 قياس سماكة الفيلم عن طريق قياس التداخل بالضوء الأبيض
مقياس التداخل هو أداة بصرية تستخدم مبدأ التداخل لقياس الفرق في المسارات الضوئية لتحديد الكميات الفيزيائية ذات الصلة. أي تغيير في اختلاف المسار البصري بين حزمتين متماسكتين سيؤدي بحساسية شديدة إلى حركة هامش التداخل ، وتغيير المسار البصري لحزمة معينة من الضوء المتماسك ناتج عن المسار الهندسي الذي ينتقل إليه أو التغيير في معامل الانكسار من الوسط ، لذلك من خلال التداخل ، تقيس التغييرات في الحواف التغيرات الصغيرة في الطول الهندسي أو معامل الانكسار ، وبالتالي يتم قياس الكميات الفيزيائية الأخرى المتعلقة بذلك.
يتم تحديد دقة القياس من خلال دقة قياس فرق المسار البصري. في كل مرة تتحرك فيها أطراف التداخل بمسافة هامشية واحدة ، يتغير اختلاف المسار البصري بطول موجة واحد (~ 10-7 أمتار) ، لذلك يقيس مقياس التداخل فرق المسار البصري بوحدات أطوال موجات الضوء. دقة القياس العالية لا مثيل لها بأي طريقة قياس أخرى.
باستخدام معدات القياس البصري على أساس مبدأ تداخل الضوء الأبيض لتحديد سمك الفيلم البصري ، فإن سمك الفيلم الذي يمكن قياسه هو 10 نانومتر ~ 50 ميكرومتر والدقة 1 نانومتر.
لمزيد من المعلومات ، يرجى الاتصال بنا على البريد الإلكتروني علىvictorchan@powerwaywafer.com و powerwaymaterial@gmail.com.