يمكن أن يوفر PAM-XIAMEN المشتت الحراري الماسي الممعدن لحل قوة الترابط الضعيفة بين الماس والمصفوفة والسقوط المبكر للماس بسبب طاقة الواجهة العالية مع معظم المعادن والسيراميك وما إلى ذلك. يشير مجمع المشتت الحراري الماسي الممعدن إلى طلاء المعدن على سطح الماس لتقليل طاقة الواجهة بين الماس والركيزة. فيما يلي ورقة بيانات بالوعة الحرارة الماسية الممعدنة للرجوع إليها.
1. مواصفات المشتت الحراري الماسي المعدني
| نتاج | بالوعة الحرارة الماس الممعدنة |
| طريقة النمو | MPVCD |
| معامل التمدد الحراري | 1.3 (10-6 ك -1) |
| طريقة الكشف عن الموصلية الحرارية TDTR | 1500 ± 200W / م ك |
| حجم | 1 * 1 سم ، 2 * 2 سم ، أحجام مخصصة |
| يمكن تخصيص السماكة | الماس 0 ~ 500 ميكرومتر |
| سمك التسامح | ± 20 ميكرومتر |
| خشونة سطح النمو | <30 نانومتر رع |
| FWHM (D111) | 0.446 |
2. كيفية الحصول على أحواض الحرارة الماسية الممعدنة؟
تعد ملامسات أشباه الموصلات المعدنية واحدة من الهياكل الأساسية لجميع الأجهزة الإلكترونية أشباه الموصلات والأجهزة الإلكترونية الضوئية ، بما في ذلك أجهزة الماس شبه الموصلة. يمكن تقسيمها إلى فئتين: جهات اتصال Schottky وجهات الاتصال الأومية. يتطلب الاتصال الأومي أن تكون مقاومة التلامس للواجهة صغيرة بقدر الإمكان. يصعب تحقيق التلامس الأومي لألماس أشباه الموصلات ، وهو مرتبط بصعوبة تكوين المنشطات الثقيلة على الطبقة السطحية للماس. يتطلب اتصال Schottky حاجزًا عاليًا للواجهة ، وتيار تسرب منخفضًا ، وجهدًا عاليًا للانهيار.
2.1 ملامسة أومية للماس من النوع N.
يستخدم التلامس الأومي للماس من النوع n للمشتت الحراري 30 كيلو فولت من أيونات الجا لقصف الماس من النوع n بتركيز منشط من الفوسفور يبلغ 3 × 1018 سم3للحصول على مقاومة تلامس 4.8 × 106Ω / c. حتى الآن ، فإن أدنى قيمة لمقاومة التلامس الأومية لأشباه الموصلات من النوع n على أساس المشتت الحراري الماسي CVD هي 10-3Ω / c㎡ ، والتي يتم الحصول عليها عن طريق ترسيب طبقة معدنية Pt / Ti على مادة مخدرة بشدة (تركيز الفوسفور 1020 سم مكعب) طبقة فوقية الماس والصلب.
2.2 الماس نوع P محطة الأكسجين
يرتبط حاجز الواجهة المعدنية / الماسية ارتباطًا وثيقًا بخصائص السطح. تركز معظم الأبحاث في هذا المجال بواسطة PAM-XIAMEN على الماس (100). يرتبط ارتفاع حاجز Schottky للسطح النظيف وسطح الماس المنتهي بالهيدروجين بالقدرة الكهربية أو وظيفة عمل المعدن. تعد Au حاليًا أكثر المواد المعدنية الملامسة الأومية شيوعًا لطبقة السطح الماسية من النوع p الهيدروجينية. يتم تثبيت مستوى فيرمي من الماس p المنتهي بالأكسجين (100) عند حوالي 1.7 فولت فوق نطاق التكافؤ. حاجز واجهة المعدن / الماس له علاقة قليلة مع نوع المعدن ، وقيمة التقرير التجريبي 1.5-2 eV.
ارتفاع الحاجز لسطح الماس المنتهي بالأكسجين (111) مستقل بشكل أساسي عن معدن التلامس ، والقيمة المبلغ عنها تجريبياً حوالي 1 إلكترون فولت. يختار التلامس الأومي للماس من النوع p المنتهي بالأكسجين المعادن التي يمكن أن تشكل كربيدات مع الماس في درجات حرارة عالية ، مثل Ti ، Mo ، إلخ. حالات واجهة ضيقة أو انخفاض في ارتفاع الحاجز. هناك طريقة أخرى لعمل التلامس الأومي الماسي وهي غرس الأيونات عالي الطاقة ، والذي يتسبب في تلف الشبكة على سطح منطقة التلامس. حاليًا ، مقاومة التلامس لألماس Ti / p (بتركيز بورون يبلغ 1018 سم3) التي تم الحصول عليها بالمعالجة الحرارية أقل من 10-6Ω / cΩ.
3. تطبيق المشتت الحراري الماسي الممعدن
يمكن استخدام المشتت الحراري الماسي متعدد البلورات / المعدني للأجهزة الإلكترونية للطاقة وأجهزة طاقة الميكروويف الصلبة ، مما يحسن بشكل كبير من قوة العمل ودرجة حرارة العمل.
التوصيات:
مادة فائقة لتبديد الحرارة - مادة الماس
لمزيد من المعلومات ، يرجى الاتصال بنا على البريد الإلكتروني على victorchan@powerwaywafer.com و powerwaymaterial@gmail.com.