يشير مستشعر أشباه الموصلات إلى جهاز استشعار مصنوع باستخدام الخصائص الفيزيائية والكيميائية والبيولوجية المختلفة لمواد أشباه الموصلات. غالبية المواد شبه الموصلة المستخدمة هي السيليكون، بالإضافة إلى مركبات العناصر III-V وII-VI. استخدم الباحثون الأداء الممتاز وتوافر رقائق SiC لتطوير مستشعر أشباه الموصلات المعتمد على SiC المناسب للبيئات القاسية. تتمتع المستشعرات القائمة على أشباه الموصلات SiC بفجوة نطاق كبيرة ممتازة، والتي يمكن أن تقضي على تسرب حامل الأقلية الناتج عن الحرارة وتعمل في درجات حرارة أعلى. يمكن أن توفر PAM-XIAMEN حسب الطلبكربيد النمو الفوقيلإعداد أجهزة استشعار أشباه الموصلات (على سبيل المثال، جهاز استشعار فان دير باو)، مع الهياكل الفوقي محددة مثل:
1. نمو الفوقية SiC لمستشعر Van Der Pauw
طبقة Epi | سماكة | المقوي |
طبقة epilayer من النوع p | 1um | آل:1018سم-3 |
طبقة عازلة من النوع n | 1um | ن:1018سم-3 |
ن نوع 4H-SiC (0001) الركيزة |
2. تطبيقات استشعار أشباه الموصلات SiC
يمكن لمستشعر أشباه الموصلات ذو الغشاء السميك SiC أن يعوض عيوب أداء المستشعر المعتمد على Si في البيئات القاسية مثل ارتفاع درجة الحرارة والضغط العالي، وبالتالي الحصول على مساحة تطبيق أوسع. والتفاصيل هي على النحو التالي:
1) يمكن استخدام مستشعرات درجة الحرارة العالية SiC، نظرًا لنطاق قياس درجة الحرارة الكبير (0-500 ℃) وسهولة التكامل، على نطاق واسع لمراقبة درجة الحرارة في صناعة المعالجة، والصناعة الميكانيكية، وصناعة البتروكيماويات، والتحكم في درجة الحرارة في الأجهزة المنزلية وصناعة الأغذية، ومراقبة درجات الحرارة الحرجة في صناعات الطيران والسيارات؛
2) تتمتع مستشعرات الضغط ذات درجة الحرارة العالية SiC بآفاق تطبيق واسعة في التطبيقات المدنية نظرًا لمقاومتها لدرجة الحرارة العالية والإشعاع القوي. تُستخدم مستشعرات الضغط SiC بشكل أساسي لقياس الضغط في الغلايات وخطوط الأنابيب وأوعية التفاعل ذات درجة الحرارة العالية وغرف المحركات المختلفة وآبار النفط؛
3) يمكن لأجهزة استشعار غاز SiC، وخاصة أجهزة الاستشعار السعوية، أن تعمل عند درجات حرارة تصل إلى 1000 درجة مئوية ولها وقت استجابة بالمللي ثانية. في الوقت الحاضر، حققت مستشعرات الغاز SiC التشغيل العادي عند درجات حرارة عالية تصل إلى 500 درجة مئوية، وتلبي بشكل أساسي متطلبات تطبيقات درجات الحرارة المرتفعة مثل مراقبة محرك الاحتراق الداخلي، وانبعاثات عوادم السيارات، وتشخيص عادم محرك المركبات الفضائية.
لمزيد من المعلومات، يرجى الاتصال بنا على البريد الإلكترونيvictorchan@powerwaywafer.com و powerwaymaterial@gmail.com.