Halvledersensor refererer til en sensor lavet ved at bruge forskellige fysiske, kemiske og biologiske egenskaber ved halvledermaterialer. Størstedelen af de anvendte halvledermaterialer er silicium samt III-V og II-VI grundstofforbindelser. Forskerne brugte SiC-skivernes fremragende ydeevne og tilgængelighed til at udvikle SiC-baseret halvledersensor, der er egnet til barske miljøer. SiC-halvlederbaserede sensorer har fremragende stort båndgab, som kan eliminere varmeinduceret minoritetsbærerlækage og fungere ved højere temperaturer. PAM-XIAMEN kan levere tilpassedeSiC epitaksial væksttil klargøring af halvledersensorer (f.eks. van der Pauw sensor) med specifikke epitaksiale strukturer såsom:
1. SiC Epitaxy Growth for Van Der Pauw Sensor
| Epi-lag | Tykkelse | dopingmiddel |
| p-type epilag | 1um | Al: 1018cm-3 |
| n-type bufferlag | 1um | N:1018cm-3 |
| n type 4H-SiC (0001) substrat |
2. SiC-halvledersensorapplikationer
SiC tykfilm halvledersensor kan kompensere for ydeevnedefekterne af Si-baseret sensor i barske miljøer såsom høj temperatur og højt tryk, og har dermed et bredere anvendelsesrum. Detaljerne er som følger:
1) SiC højtemperatursensorer, på grund af deres store temperaturmåleområde (0-500 ℃) og lette integration, kan i vid udstrækning bruges til temperaturovervågning i forarbejdningsindustrien, mekanisk industri og petrokemisk industri, temperaturkontrol i husholdningsapparater og fødevareindustrien og kritisk temperaturovervågning i rumfarts- og bilindustrien;
2) SiC højtemperaturtryksensorer har brede anvendelsesmuligheder i civile applikationer på grund af deres modstandsdygtighed over for høje temperaturer og stærk stråling. SiC-tryksensorer bruges hovedsageligt til trykmåling i kedler, rørledninger, højtemperaturreaktionsbeholdere, forskellige motorkamre og oliebrønde;
3) SiC-gassensorer, især kapacitive sensorer, kan fungere ved temperaturer op til 1000 ℃ og har en responstid på millisekunder. På nuværende tidspunkt har SiC-gassensorer opnået normal drift ved høje temperaturer på 500 ℃, hvilket grundlæggende opfylder kravene til højtemperaturapplikationer, såsom overvågning af forbrændingsmotorer, udstødningsemissioner fra biler og udstødningsdiagnose af rumfartøjer.
For mere information, kontakt os venligst e-mail påvictorchan@powerwaywafer.com og powerwaymaterial@gmail.com.